央視看中圖|從納米到百米的精密測(cè)量?jī)x，18年打磨硬核科技“尺”

12月6日晚上9:21，央視財(cái)經(jīng)頻道《經(jīng)濟(jì)信息聯(lián)播》欄目“專精特新 制造強(qiáng)國(guó)”系列節(jié)目報(bào)道深圳市中圖儀器股份有限公司18年用心打磨15把硬核科技“尺”，從納米到百米，從接觸式到非接觸式，鑄光為尺，見微知著，不斷拓展工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域全尺寸鏈條。

幾何尺寸測(cè)量的精度，直接決定了工業(yè)制造的高度。不論小如芯片，還是大如飛機(jī)，精密測(cè)量?jī)x器，就像量體裁衣時(shí)裁縫的尺子。深圳一家專精特新企業(yè)里有一位高人，研發(fā)出了能測(cè)量從1納米到1百米的工業(yè)“尺子”。

馬俊杰從業(yè)18年來，雖然只做了15臺(tái)測(cè)量?jī)x，但每一臺(tái)都獨(dú)具特色。其中測(cè)量最快的一臺(tái)，叫閃測(cè)儀。

深圳中圖儀器股份有限公司董事長(zhǎng) 馬俊杰：我手上拿的就是手機(jī)上一塊精密的結(jié)構(gòu)件，幾秒測(cè)量，幾百個(gè)尺寸直接顯示出來，而且達(dá)到了微米級(jí)的精度。

馬俊杰畢業(yè)于清華大學(xué)精密儀器專業(yè)，后在研究所工作期間，他發(fā)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室里的精密儀器全都來自國(guó)外，這讓他產(chǎn)生了創(chuàng)業(yè)做國(guó)產(chǎn)幾何測(cè)量?jī)x的想法。這臺(tái)指示表檢測(cè)儀，是馬俊杰當(dāng)年研發(fā)出的第一款精密測(cè)量?jī)x器。

但這些都還不是精度最高的“尺子”。這枚看似光滑的晶圓，放在顯微測(cè)量?jī)x下，表面變得錯(cuò)落有致起來，經(jīng)過測(cè)量，高度差僅有6.1納米。但它還將被切割成更小的方塊，才能使用。

深圳中圖儀器股份有限公司董事長(zhǎng) 馬俊杰：這臺(tái)儀器它的精度非常高，達(dá)到了0.1納米的分辨率，半導(dǎo)體領(lǐng)域已經(jīng)大量使用。

這家企業(yè)的測(cè)量絕活可不止于微小領(lǐng)域。馬俊杰的團(tuán)隊(duì)潛心研究6年，研發(fā)出可測(cè)百米尺寸的激光跟蹤儀，解決了大型、超大型工件或裝置的高精度測(cè)量問題。

深圳中圖儀器股份有限公司副總經(jīng)理 張和君：這是一架飛機(jī)模型，關(guān)鍵部件測(cè)量精度必須控制在0.1毫米至0.2毫米之間，飛機(jī)的裝配才能保證嚴(yán)絲合縫。激光跟蹤儀是唯一同時(shí)具有微米級(jí)別測(cè)量精度，和百米工作空間的高性能光電儀器。

本期專精特新·高人：18年用心打磨15把硬核科技“尺”，從納米到百米，從接觸式到非接觸式。鑄光為尺，見微知著，不斷拓展工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域全尺寸鏈條。

來源：央視財(cái)經(jīng)。