據(jù)韓媒ETNews 12月26日報道,三星電子研發(fā)新型“智能傳感器系統(tǒng)”,旨在精準(zhǔn)控制半導(dǎo)體工藝。此舉將在提升芯片制作良品率與產(chǎn)能效益方面發(fā)揮重要作用。
據(jù)悉,維持半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中等離子體均勻性和密度的精細(xì)控制對于增強良率至關(guān)重要。三星新版智能傳感器可深入挖掘每個環(huán)節(jié)如蝕刻、沉積及清洗的工藝效果,確保整個流程高度科學(xué)、高效。
當(dāng)前,市面上大多數(shù)晶圓智能傳感器源自海外市場,例如美國等地。為有效應(yīng)對日漸增長的產(chǎn)量需求,三星決定采取自主研發(fā)策略,降低對進(jìn)口傳感器的依靠度。
據(jù)悉,三星電子正在研發(fā)的智能傳感器體積小巧,對現(xiàn)有設(shè)備占用空間無顯著影響,從而實現(xiàn)產(chǎn)能的有效提升。
此外,三星電子計劃拓寬該技術(shù)的開發(fā)與應(yīng)用領(lǐng)域,不僅局限于等離子體,還將著手研發(fā)適用于各類半導(dǎo)體工藝的SMART傳感器與系統(tǒng)。
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