中國石化與晶瑞電材合作推動集成電路用異丙醇國產(chǎn)化

12月27日，中國石化與晶瑞電材合作的產(chǎn)能達1萬噸的集成電路用G5級異丙醇項目正式啟動。此舉將助推我國集成電路關鍵技術(shù)如超凈高純異丙醇制備、金屬雜質(zhì)控制和水分控制等方面的突破。

異丙醇作為濕電子化學品的主要有機溶劑，被廣泛用于集成電路制程中的清洗和干燥步驟，是高端芯片制造的關鍵原料。值得注意的是，由于我國超凈高純異丙醇仍需大量進口，這成為產(chǎn)業(yè)鏈中的一環(huán)短板。

據(jù)了解，該集成電路用G5級異丙醇項目計劃建立嚴格的產(chǎn)品評估和生產(chǎn)驗證系統(tǒng)，以確保達到14納米及以上集成電路生產(chǎn)線的產(chǎn)業(yè)化需求，從而實現(xiàn)國產(chǎn)化的技術(shù)和產(chǎn)品。

湖北省潛江市市委書記盛文軍表示，兩大巨頭的攜手將推動工藝擴大的技術(shù)突破，并進一步完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。自2019年來，潛江市政府與晶瑞電材聯(lián)手設立了長江微電子材料產(chǎn)業(yè)基金，推動園區(qū)由零起步、逐漸壯大，與武漢的京東方、長江存儲、華星光電、天馬微電子等大企業(yè)形成上下產(chǎn)業(yè)鏈配套。

迄今為止，晶瑞電材已成功研發(fā)出半導體濕電子化學品中的高純硫酸、雙氧水、氨水等產(chǎn)品，其中金屬雜質(zhì)含量低于10ppt，達到G5等級，已可滿足目前主流的先進集成電路技術(shù)節(jié)點需求，有實力與國際前列企業(yè)競爭。同時，其在光刻膠產(chǎn)品上也有所突破，可提供紫外寬譜和部分g線、i線、KrF光刻膠等產(chǎn)品。