薄膜作為一種重要的材料形態(tài),在各個領域中都有著廣泛的應用。在電子器件方面,薄膜被廣泛應用于集成電路、顯示器件、太陽能電池等領域。薄膜提供了更高的集成度和靈活性,使得電子器件在體積和性能上都有了顯著的提升。
薄膜未來發(fā)展也具有廣闊的前景。首先,納米薄膜在材料研究和應用中扮演著重要角色。納米級薄膜能夠充分利用尺寸效應和界面效應,具有優(yōu)異的物理和化學性能,因此在光電器件、傳感器、儲能器件等方面有著廣泛的應用前景。其次,功能化薄膜的發(fā)展是薄膜研究的一個重要方向。
電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)
電子薄膜種類多,電阻率特性不同
- 需選擇適合的SMU進行測試
被測樣品形狀復雜,需選擇適當?shù)男拚?a target="_blank">參數(shù)
- 厚度修正系數(shù)對測試結果的影響F(W/S)
- 圓片直徑修正系數(shù)對測試結果的影響
- 溫度修正系數(shù)對測試結果的影響
環(huán)境對測試結果有影響
- 利用電流換向測試消除熱電勢誤差
利用多次平均提高測試精度
- 需考慮測試成本
電子薄膜材料表面電阻率測試
表面電阻率測試常用方法是四探針法與范德堡法,但對電子薄膜材料,范德堡法很少應用。多數(shù)情況下,電子薄膜材料表面電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高,用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。
審核編輯:劉清
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原文標題:直播回顧 | 薄膜材料電阻率與霍爾遷移率測試詳解
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