高效在線監(jiān)測(cè)POLY膜厚方案——POLY5000在線膜厚測(cè)試儀

對(duì)于Poly膜厚的精準(zhǔn)把控和實(shí)時(shí)檢測(cè)一直是提升太陽(yáng)能電池性能過(guò)程中的一個(gè)難點(diǎn)。為了解決膜厚精準(zhǔn)測(cè)量和分析，各類膜厚測(cè)量手段和設(shè)備層出不窮，但數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度不高、測(cè)試范圍不滿足、測(cè)試時(shí)間太長(zhǎng)等缺陷依然制約著膜厚檢測(cè)。面對(duì)這些困難，美能POLY5000在線膜厚測(cè)試儀的應(yīng)對(duì)方式有哪些？

0.5nm超高重復(fù)性精度

美能專為光伏客戶研發(fā)出一款光譜范圍為300nm-1100nm，光斑為70μm的「光譜儀」，專為適應(yīng)光伏行業(yè)的測(cè)試環(huán)境及條件。搭配美能創(chuàng)新的「光譜擬合法」，擬合獲得薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及膜厚均勻性等信息,實(shí)現(xiàn)超廣測(cè)量范圍20nm-2000nm和0.5nm超高重復(fù)性精度。

光強(qiáng)均勻，頻譜穩(wěn)定

傳統(tǒng)的LED光源，平均有效光譜范圍只有400nm-780nm，且在480nm附近會(huì)有光譜缺失，導(dǎo)致頻譜不穩(wěn)定，無(wú)法保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。POLY5000采用獨(dú)特的鎢鹵素?zé)簦行?strong>光譜范圍可達(dá)320nm-2400nm。該光源可涵蓋從紫外線到紅外線的所有光波段，并且能發(fā)射出連續(xù)光譜，保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。

快速、自動(dòng)的5點(diǎn)同步掃描

POLY5000是專為光伏工藝監(jiān)控設(shè)計(jì)的在線POLY膜厚測(cè)試儀。不同于其他的膜厚測(cè)試設(shè)備，POLY5000可以對(duì)樣品進(jìn)行快速、自動(dòng)的5點(diǎn)同步掃描，獲得樣品不同位置的膜厚分布信息。并且根據(jù)不同客戶、不同樣品大小，POLY5000能夠定制測(cè)量尺寸，滿足絕大部分電池片測(cè)試需求。

在線監(jiān)控設(shè)備，保證生產(chǎn)效率

POLY5000可100%監(jiān)控LPCVD和PECVD沉積工藝，設(shè)備自動(dòng)測(cè)試代替人工離線測(cè)試，非接觸、無(wú)損測(cè)量，保證零碎片率。單片測(cè)試時(shí)間＜0.5s，保證生產(chǎn)效率。

在光伏行業(yè)全面發(fā)展的今天，我們?cè)概c客戶一起提升產(chǎn)品質(zhì)量、成本競(jìng)爭(zhēng)力和量產(chǎn)優(yōu)勢(shì)。在這一過(guò)程中，「美能光伏」致力于研發(fā)各種精密檢測(cè)設(shè)備，并提出多種電池組件研發(fā)解決方案，為客戶提供更多選擇。