芯動(dòng)聯(lián)科介紹陀螺儀發(fā)展之路，闡述MEMS陀螺儀優(yōu)勢(shì)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，安徽芯動(dòng)聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司（簡(jiǎn)稱：芯動(dòng)聯(lián)科）舉行投資者關(guān)系活動(dòng)，公司董事會(huì)秘書(shū)林明參與交流，具體如下：

1、公司概況

芯動(dòng)聯(lián)科已形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能MEMS慣性傳感器產(chǎn)品體系并批量生產(chǎn)及應(yīng)用，在MEMS慣性傳感器芯片設(shè)計(jì)、MEMS工藝方案開(kāi)發(fā)、封裝與測(cè)試等主要環(huán)節(jié)形成了技術(shù)閉環(huán)，建立了完整的業(yè)務(wù)流程和供應(yīng)鏈體系。

芯動(dòng)聯(lián)科MEMS傳感器芯片已達(dá)到導(dǎo)航級(jí)精度，是目前國(guó)產(chǎn)最優(yōu)性能的硅基MEMS慣性傳感器，主要技術(shù)指標(biāo)與國(guó)際主流廠商處于同一梯隊(duì)，在高性能硅基MEMS慣性傳感器領(lǐng)域填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

目前，芯動(dòng)聯(lián)科主要產(chǎn)品為MEMS慣性傳感器，包括陀螺儀和加速度計(jì)，均屬于慣性系統(tǒng)的核心器件。其中，陀螺儀和加速度計(jì)作為基礎(chǔ)的慣性器件，通過(guò)下游模組廠商、系統(tǒng)廠商等環(huán)節(jié)的組裝加工后，向行業(yè)客戶提供為行業(yè)用戶實(shí)現(xiàn)導(dǎo)航定位、姿態(tài)感知、狀態(tài)監(jiān)測(cè)，平臺(tái)穩(wěn)定等多項(xiàng)應(yīng)用功能。目前已應(yīng)用于無(wú)人系統(tǒng)、機(jī)器人、自動(dòng)駕駛、商業(yè)航天、船舶、石油勘探、高速鐵路、地質(zhì)勘探、應(yīng)急通信、災(zāi)情預(yù)警等諸多領(lǐng)域。

2、介紹陀螺儀的發(fā)展情況？

答：按不同測(cè)量原理和發(fā)明先后，慣性技術(shù)發(fā)展通常分為四代，MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表。

第一代，基于牛頓經(jīng)典力學(xué)原理。典型代表為靜電陀螺以及動(dòng)力調(diào)諧陀螺，其特點(diǎn)是種類(lèi)多、精度高、體積質(zhì)量大、系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)復(fù)雜、性能受機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜性和極限精度制約、產(chǎn)品制造維護(hù)成本昂貴。

第二代，基于薩格奈克效應(yīng)。典型代表是激光陀螺和光纖陀螺，其特點(diǎn)是反應(yīng)時(shí)間短、動(dòng)態(tài)范圍大、可靠性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、易維護(hù)、壽命長(zhǎng)。光學(xué)陀螺技術(shù)較為成熟，精度高，隨著產(chǎn)品迭代，光學(xué)陀螺及其系統(tǒng)應(yīng)用從戰(zhàn)術(shù)級(jí)應(yīng)用逐步拓展到導(dǎo)航級(jí)應(yīng)用，在陸、海、空、天等多個(gè)領(lǐng)域中得到批量應(yīng)用，但由于其成本高、體積大，應(yīng)用領(lǐng)域受到一定限制。

第三代，基于哥氏振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù)。典型代表是半球諧振陀螺儀和 MEMS陀螺儀。半球諧振陀螺儀是哥式振動(dòng)陀螺儀中的一種高精度陀螺儀，正逐步在空間、航空、航海等領(lǐng)域開(kāi)展應(yīng)用，但受限于結(jié)構(gòu)及制造技術(shù)，市場(chǎng)上可規(guī)?；a(chǎn)的企業(yè)較少。MEMS陀螺儀具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價(jià)格低、易于大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，率先在汽車(chē)和消費(fèi)電子領(lǐng)域得到了大量應(yīng)用。隨著性能的進(jìn)一步提高，MEMS陀螺儀應(yīng)用也被拓展到了工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域，使得慣性系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域大為擴(kuò)展。

第四代，基于現(xiàn)代量子力學(xué)技術(shù)。典型代表為核磁共振陀螺儀、原子干涉陀螺儀。其目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)高精度、高可靠、小型化和更廣泛應(yīng)用領(lǐng)域的導(dǎo)航系統(tǒng)，目前仍處于早期研究階段。

MEMS陀螺儀具有小型化、高集成、低成本的優(yōu)勢(shì)，解決了第一、二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的不足，并隨著精度和穩(wěn)定性的持續(xù)提升，在陀螺儀市場(chǎng)中占據(jù)了重要的位置。

3、芯動(dòng)聯(lián)科如何看待慣性傳感器市場(chǎng)空間？

答：慣性傳感器根據(jù)統(tǒng)計(jì)口徑不同，市場(chǎng)空間和容量也不同。公司產(chǎn)品為高性能MEMS慣性傳感器，主要應(yīng)用于高可靠領(lǐng)域、高端工業(yè)和無(wú)人系統(tǒng)（包括無(wú)人駕駛、無(wú)人機(jī)等），其中高可靠領(lǐng)域市場(chǎng)空間可參考兩光陀螺的市場(chǎng)空間，MEMS傳感器對(duì)兩光陀螺有逐步替代的趨勢(shì)；從國(guó)外情況來(lái)看，高端工業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模和高可靠領(lǐng)域空間接近；此外，無(wú)人駕駛市場(chǎng)的規(guī)模取決于無(wú)人駕駛等級(jí)的提升，無(wú)人駕駛發(fā)展至L3級(jí)別以上，高性能MEMS慣性傳感器應(yīng)用會(huì)比較普及，目前公司也正在致力于相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)。

4、芯動(dòng)聯(lián)科的慣性傳感器和激光陀螺儀的關(guān)系？

答：公司高性能MEMS陀螺儀核心性能指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，亦可達(dá)到部分光纖陀螺儀和激光陀螺儀等傳統(tǒng)陀螺儀精度水平，同時(shí)公司MEMS陀螺儀借助半導(dǎo)體技術(shù)，體積、重量和功耗相比上述傳統(tǒng)陀螺儀優(yōu)勢(shì)明顯，有力推動(dòng)了MEMS陀螺儀在高性能慣性領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。

5、芯動(dòng)聯(lián)科MEMS傳感器的工藝？

答：公司MEMS芯片采用的MEMS體硅加工工藝具有非標(biāo)準(zhǔn)化的特點(diǎn)，MEMS晶圓代工廠只提供基礎(chǔ)工藝模塊，公司需要根據(jù)自身MEMS芯片設(shè)計(jì)的特點(diǎn)開(kāi)發(fā)與之匹配的MEMS工藝方案，并導(dǎo)入晶圓代工廠，以達(dá)到批量生產(chǎn)目標(biāo)。