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基于范德華隧道二極管的寬帶微型光譜儀開發(fā)

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-01-24 09:35 ? 次閱讀

微型光譜儀對于各類片上(on-chip)和植入式光子及光電子應(yīng)用具有巨大的吸引力。目前,最先進(jìn)的傳統(tǒng)光譜儀設(shè)計(jì)嚴(yán)重依賴于體積龐大的色散組件(例如光柵、光電探測器陣列和干涉光學(xué)元件)來捕獲不同的輸入光譜分量,從而增加了其集成的復(fù)雜性。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,由芬蘭阿爾托大學(xué)(Aalto University)、上海交通大學(xué)、浙江大學(xué)和英國劍橋大學(xué)(University of Cambridge)共同組成的科研團(tuán)隊(duì)在Nature Communications期刊上發(fā)表了以“Broadband miniaturized spectrometers with a van der Waals tunnel diode”為主題的論文。該論文的第一作者為阿爾托大學(xué)的Md Gius Uddin,通訊作者為阿爾托大學(xué)的孫志培教授。

這項(xiàng)研究提出了一種基于簡單緊湊的范德華(vdW)異質(zhì)結(jié)構(gòu)二極管的高性能寬帶光譜儀,該異質(zhì)結(jié)構(gòu)二極管由精心選擇的活性范德華材料二硫化鉬(MoS?)與黑磷(BP)共同構(gòu)成,具備電可調(diào)諧光響應(yīng),同時(shí)采用了用于光譜重建的先進(jìn)計(jì)算算法。該器件尺寸為30 μm × 20 μm,工作波段覆蓋500 nm至1600 nm,峰值波長精度極高為2 nm。這種基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀方案為傳感、監(jiān)測以及光譜成像等各類應(yīng)用提供了更具吸引力的選擇。

圖1展示了基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀的工作原理。該光譜儀方案包含三個(gè)步驟:學(xué)習(xí)、測試、重建。BP/MoS?二極管的光電特性可以通過在結(jié)上施加可調(diào)諧的外電偏置電位來以可控的方式進(jìn)行調(diào)諧。如圖1a所示,二極管的響應(yīng)首先通過多個(gè)已知單色光輸入進(jìn)行了研究。然后在測試步驟中,與未知光譜入射光對應(yīng)的器件的偏置相關(guān)光電流響應(yīng)被測量(如圖1b)。

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圖1 基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀的工作原理示意圖

圖2a呈現(xiàn)了基于BP/MoS?二極管的光譜儀的示意圖,該光譜儀在300 nm熱生長SiO?覆蓋層的硅襯底上制備。該光譜儀的光學(xué)顯微鏡圖像如圖2b所示。圖2c和圖2d顯示了該光譜儀的特性表征。圖2e和圖2f展示了該光譜儀的能帶圖和載流子輸運(yùn)機(jī)制。

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圖2 基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀的表征

隨后,研究人員分別在可見光波段和近紅外波段對基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀進(jìn)行了測試。該光譜儀在可見光波段的測試結(jié)果如圖3所示,在近紅外波段的測試結(jié)果如圖4所示。

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圖3 基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀在可見光波段的演示

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圖4 基于BP/MoS?二極管的寬帶光譜儀在近紅外波段的演示

最后,研究人員將本研究的光譜儀性能與目前最先進(jìn)的微型光譜儀性能進(jìn)行了比較,相關(guān)結(jié)果如圖5所示?;贐P/MoS?二極管的寬帶光譜儀主要有以下三項(xiàng)優(yōu)勢:(1)器件結(jié)構(gòu)簡單緊湊,無需柵極端子;(2)驅(qū)動(dòng)電壓低(<2 V)且功耗低;(3)工作波段覆蓋可見光至中紅外,應(yīng)用范圍更廣。

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圖5 帶隙工程的不同重建型微型光譜儀的比較結(jié)果

綜上所述,這項(xiàng)研究成功展示了一種基于范德華隧道二極管的重建型寬帶光譜儀。該光譜儀具有電可重構(gòu)性,無需任何濾波器、光電探測器陣列或其它笨重的色散組件,即可實(shí)現(xiàn)納米精度的高分辨率。這種光譜儀的低工作電壓、緊湊型等特性為許多便攜式應(yīng)用集成提供了廣闊的前景,例如消費(fèi)類光子學(xué)、經(jīng)濟(jì)型片上光譜成像(例如智能農(nóng)業(yè)、遙感技術(shù)以及環(huán)境監(jiān)測)等應(yīng)用。

論文鏈接:
https://doi.org/10.1038/s41467-024-44702-8





審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:基于范德華隧道二極管的寬帶微型光譜儀

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