英特爾成為全球首家購(gòu)買3.8億美元高數(shù)值孔徑光刻機(jī)的廠商

英特爾最近因決定從荷蘭 ASML 購(gòu)買世界上第一臺(tái)高數(shù)值孔徑(High-NA)光刻機(jī)而成為新聞焦點(diǎn)。到目前為止，英特爾是全球唯一一家訂購(gòu)此類光刻機(jī)的晶圓廠，據(jù)報(bào)道它們的售價(jià)約為3.8億美元。

該公司發(fā)布了一段視頻，顯示這臺(tái)笨重的機(jī)器被運(yùn)往俄勒岡州的工廠以及隨后的拆箱。這是半導(dǎo)體晶圓廠業(yè)務(wù)幕后的有趣景象，同時(shí)也展示了機(jī)器拆箱后的復(fù)雜程度

該視頻展示了通過貨機(jī)機(jī)頭卸載Twinscan EXE:5000光刻機(jī)，然后將其運(yùn)輸?shù)接⑻貭柖砝諏莨S的快速延時(shí)拍攝。從光刻機(jī)被抬進(jìn)了進(jìn)建筑物內(nèi)，看到它是如何像禮物一樣被打開的，以及工廠如何擁有開始組裝過程的機(jī)械？

據(jù)Tom's Hardware 稱，EXE:在250個(gè)板條箱中運(yùn)輸，總重為330,000磅。該機(jī)器預(yù)計(jì)將在2025年全面投入使用，這很好，因?yàn)榻M裝至少需要六個(gè)月。組裝完成后，英特爾將對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)并準(zhǔn)備開始制造芯片

這種漫長(zhǎng)而艱巨的組裝和測(cè)試過程可能是英特爾的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手目前使用高數(shù)值孔徑保持干燥狀態(tài)的原因之一。讓機(jī)器啟動(dòng)并運(yùn)行，然后了解如何制造無缺陷的硅晶圓是一個(gè)非常漫長(zhǎng)且具有破壞性的過程，一些分析師表示，不值得為此付出成本和中斷晶圓廠的生產(chǎn)線。

然而，英特爾認(rèn)為這是對(duì)其未來的明智投資，因?yàn)樗梢燥@著增加晶圓密度。它還假設(shè)整個(gè)行業(yè)最終將過渡到高數(shù)值孔徑，因此，如果英特爾能夠先于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手實(shí)現(xiàn)高數(shù)值孔徑量產(chǎn)，那么英特爾將比臺(tái)積電和三星更具優(yōu)勢(shì)。

英特爾計(jì)劃在 High-NA 機(jī)器上測(cè)試即將推出的英特爾 18A 工藝，只是為了看看它是如何工作的，而不是為客戶制造可行的芯片。該公司已宣布計(jì)劃于2026年在其 14A 工藝（1.4nm）中采用 High-NA 工藝，隨后于2027年采用英特爾 10A 工藝（即 1nm）。