KLA Instruments?為儀器行業(yè)提供值得信賴的量測技術(shù)

01

2024一開年，科學(xué)儀器行業(yè)便迎面而來一大新政策。3月13日國務(wù)院印發(fā)《推動大規(guī)模設(shè)備更新和消費品以舊換新行動方案》。其中明確了“推動符合條件的高校、職業(yè)院校(含技工院校)更新置換先進教學(xué)及科研技術(shù)設(shè)備，提升教學(xué)科研水平?！?/p>

KLA Instruments作為儀器行業(yè)的優(yōu)質(zhì)提供商，將積極響應(yīng)國家政策，助力設(shè)備更新與以舊換新行動，為行業(yè)專家、學(xué)術(shù)界和其他創(chuàng)新者提供值得信賴的量測技術(shù)，助力中國乃至世界實現(xiàn)科學(xué)技術(shù)上的突破性發(fā)展。

探針式輪廓儀

KLA InstrumentsAlpha-Step，TencorP系列和HRP系列探針式臺階儀提供高精度的2D和3D表面形貌量測，可為您的研發(fā)和生產(chǎn)提供臺階高度、表面粗糙度、彎曲度和應(yīng)力等測量，具有良好的穩(wěn)定性和可靠性。

光學(xué)輪廓儀

我們豐富的光學(xué)輪廓儀系列產(chǎn)品涵蓋多種光學(xué)測量技術(shù)，包含白光干涉技術(shù)，真彩色成像和ZDot點陣專利技術(shù)，我們可以幫助您找到滿足您測量需求的正確解決方案。Profilm3D和Zeta光學(xué)輪廓儀可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。

納米壓痕儀

KLAInstruments的納米壓痕儀可對硬度、楊氏模量和其它力學(xué)性能進行精確測量。從發(fā)布市場上第一款納米壓痕儀，到將納米壓痕技術(shù)擴展到快速、高溫和高應(yīng)變速率測試中，我們一直在開發(fā)新的靜態(tài)與動態(tài)測量方案，推動下一代納米力學(xué)測試儀的發(fā)展。

薄膜厚度儀

我們就可以通過分析薄膜的反射光譜來測量薄膜的厚度，通過非可見光的測量，我們可以測量薄至1納米或厚至3毫米的薄膜。測量結(jié)果可在幾秒鐘顯示：薄膜厚度、顏色、折射率甚至是表面粗糙度。

方塊電阻測試儀

KLA方塊電阻測試儀能夠滿足各種測量需求，包括：金屬薄膜及背面工藝層厚度測量，襯底電阻率，方塊電阻，薄膜厚度或電阻率，薄層和體材料的導(dǎo)電率，等等。

對于較薄的金屬和離子注入層，建議采用接觸式四探針(4PP)測量方法，對于較厚的金屬層和柔性或軟性的導(dǎo)電表面，建議采用非接觸式渦流(EC)測量方法。

Candela 缺陷檢測系統(tǒng)

Candela系統(tǒng)對化合物半導(dǎo)體襯底（GaN，GaAs，InP，藍寶石，SiC等）和硬盤驅(qū)動器上的各種關(guān)鍵缺陷進行檢測和分類，保證生產(chǎn)過程中檢測的高靈敏度和高效率。

審核編輯：劉清