北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“半導(dǎo)體設(shè)備及其晶舟”專利公布
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司于2024年4月5日公開了一項名為“半導(dǎo)體設(shè)備及其晶舟”的專利，專利號CN117832112A。這項發(fā)明涉及一種晶舟，可以配合半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量半導(dǎo)體工藝處理，同時也能提高設(shè)備良率和減少污染風(fēng)險。
具體來說，這種晶舟包括副晶舟支架，能夠在批量半導(dǎo)體工藝處理達(dá)到預(yù)定進(jìn)度時，以上下層疊的方式支撐多個晶圓，使其暫時離開主晶舟支架。當(dāng)主晶舟支架旋轉(zhuǎn)至特定角度后，副晶舟支架會進(jìn)行復(fù)位操作，讓晶圓重新回到主晶舟支架。這樣做不僅可以改變晶圓與主晶舟支架的接觸位置，防止晶邊局部薄膜缺失，還能消除因顆粒污染而導(dǎo)致的半導(dǎo)體設(shè)備故障，從而提高設(shè)備良率。此外，這種設(shè)計并未增加半導(dǎo)體設(shè)備在處理晶圓時的制程道數(shù)。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
4815瀏覽量
127670 -
半導(dǎo)體工藝
+關(guān)注
關(guān)注
19文章
107瀏覽量
26204 -
北方華創(chuàng)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
55瀏覽量
10623
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
全芯微電子半導(dǎo)體高端設(shè)備研發(fā)制造基地動工儀式順利舉行！
來源：全芯微 8月28日，全芯微電子半導(dǎo)體高端設(shè)備研發(fā)制造基地動工儀式順利舉行。余姚市委常委毛丕顯、陽明街道黨工委書記羅浩杰、舜宇光學(xué)科技（集團(tuán)）有限公司董事長葉遼寧 、市經(jīng)濟(jì)和信息化
華芯微電子取得一種過流保護(hù)電路專利
創(chuàng)新引領(lǐng)，技術(shù)突破！蘇州華芯微電子股份有限公司近日榮獲《一種過流保護(hù)電路》發(fā)明專利，標(biāo)志著公司在微電子
北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司獲半導(dǎo)體加工腔室專利
此項發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工腔室，主要由腔體、可升降的基座以及內(nèi)襯組件構(gòu)成。內(nèi)襯組件包含上內(nèi)襯及下內(nèi)襯，上內(nèi)襯環(huán)繞腔體側(cè)壁，下內(nèi)襯則固定在外周基座上，并設(shè)有導(dǎo)氣通道，通道包括第一環(huán)形通氣口和第二環(huán)形通氣口，第二環(huán)形通氣口直徑較小。
北方華創(chuàng)微電子獲加熱器及設(shè)備專利
這項申請致力于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的新型加熱器及其適用范圍，包括了加熱盤和第一冷卻元件兩個關(guān)鍵部件。其中，加熱盤被設(shè)計成可放置在半導(dǎo)體設(shè)備的腔
北方華創(chuàng)微電子：晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置專利
該發(fā)明涉及一種晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置、定位方法。其中，晶圓定位裝置主要用于帶有定位部的晶圓定位，其結(jié)構(gòu)包括密封腔體、密封蓋、承載組件、定
深圳必易微電子股份有限公司獲低頻紋波抑制電路及控制方法專利
深圳市必易微電子股份有限公司近日榮獲一項低頻紋波抑制電路及其控制技術(shù)的專利，專利號CN108513407B，公示日期2024年5月7日。該
北京北方華創(chuàng)微電子裝備公司研發(fā)新型電源控制技術(shù)與裝置、半導(dǎo)體
此項技術(shù)主要涉及到電源控制以及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域。具體而言，該專利包括如下步驟：首先，啟動待控制電源；接著確定該待控制電源是作為上極電源還是下極電源工作；然后，獲取待控制電源的反射功率信息；
北方華創(chuàng)微電子裝備公司半導(dǎo)體工藝設(shè)備傳輸腔室專利公示
此項專利主要涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備改進(jìn)，包含腔室主體、機(jī)械手和環(huán)狀體等部件。其中，機(jī)械手的固定端與腔室主體的底壁緊固銜接；而環(huán)狀體則呈環(huán)繞狀布置在腔室主體底部，并圍繞著機(jī)械手的旋轉(zhuǎn)軸組件。
北方華創(chuàng)微電子獲新專利：半導(dǎo)體腔室設(shè)備簡化調(diào)平步驟
近日，北京北方華創(chuàng)新型微電子旗下的子公司——北京北方華創(chuàng)
半導(dǎo)體放電管TSS：原理及在電子領(lǐng)域的應(yīng)用？|深圳比創(chuàng)達(dá)電子EMC a
深圳比創(chuàng)達(dá)這邊。今天就先說到這，下次給各位講解些別的內(nèi)容，咱們下回見啦！也可以關(guān)注我司wx公眾平臺：深圳比創(chuàng)達(dá)EMC！以上就是深圳市比創(chuàng)達(dá)電子科技有
發(fā)表于 03-06 10:07
晶亦精微科創(chuàng)板IPO成功過會，募資近13億投入半導(dǎo)體裝備研發(fā)
上海證券交易所（上交所）近日宣布，北京晶亦精微科技股份有限公司（以下簡稱“晶亦精微”）的首次公開募股（IPO）已經(jīng)成功過會，未來該公司將在科創(chuàng)
半導(dǎo)體設(shè)備廠商晶亦精微科創(chuàng)板成功過會
北京晶亦精微科技股份有限公司（簡稱“晶亦精微”）在科創(chuàng)板IPO審核中成功過會，為其進(jìn)軍高端半導(dǎo)體設(shè)備
華微電子榮獲實(shí)用新型專利授權(quán)，使晶圓脫膜更穩(wěn)定可靠
近日，華微電子再次涉足半導(dǎo)體科技創(chuàng)新領(lǐng)域。公司成功獲批“晶圓脫膜輔助裝置”實(shí)用新型專利，這將
北方華創(chuàng)：公司控股股東將由七星集團(tuán)變更為北京電控
據(jù)披露，北方華創(chuàng)于2023年11月16日接受公司實(shí)際統(tǒng)治者北京電子控制《關(guān)于無償劃轉(zhuǎn)北方
北方華創(chuàng)“半導(dǎo)體晶片處理腔室及半導(dǎo)體處理設(shè)備”專利獲授權(quán)
根據(jù)發(fā)明專利要點(diǎn)，該公司提供的一種半導(dǎo)體晶片處理腔室及半導(dǎo)體處理設(shè)備；半導(dǎo)體晶片處理腔室包括腔體
工商網(wǎng)監(jiān)
評論