據(jù)韓國(guó)媒體TheElec報(bào)導(dǎo),三星已著手在下一代DRAM極紫外線(EUV)光刻工藝中引入金屬氧化物抗蝕劑(MOR)技術(shù)。
據(jù)悉,MOR作為被廣泛看好的下一代光刻膠(PR)解決方案,有望替代現(xiàn)今先進(jìn)芯片光刻工藝中的化學(xué)放大膠(CAR)。然而,CAR在提升PR分辨率、增強(qiáng)抗蝕能力及降低線邊緣粗糙度上的表現(xiàn)已無法滿足當(dāng)前晶圓制造的產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
因此,三星計(jì)劃在第6代10納米DRAM(1c DRAM)中采用MOR技術(shù),并在六至七層運(yùn)用EUV PR。預(yù)計(jì)相關(guān)產(chǎn)品將在今年下半年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
此外,三星還計(jì)劃從多家供應(yīng)商處采購(gòu)EUV MOR光刻膠材料,包括Inpria、杜邦、東進(jìn)半導(dǎo)體以及三星SDI等公司均在進(jìn)行相關(guān)研發(fā)與測(cè)試工作。
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