日本住友重工將推出SiC離子注入機

住友重工離子技術(shù)公司，作為住友重工的子公司，計劃在2025年向市場推出專為碳化硅（SiC）功率半導(dǎo)體設(shè)計的離子注入機。SiC制程雖與硅生產(chǎn)線有諸多相似之處，但由于其高硬度等獨特性質(zhì)，對生產(chǎn)設(shè)備提出了特殊要求。

高溫離子注入機、碳膜濺射儀及高溫退火爐等設(shè)備在SiC生產(chǎn)中扮演著關(guān)鍵角色。特別是高溫離子注入機，已成為衡量SiC生產(chǎn)線水平的重要標(biāo)志。住友重工的這一創(chuàng)新技術(shù)，不僅將推動SiC半導(dǎo)體制造技術(shù)的進步，更有望促進整個半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

隨著新材料的不斷涌現(xiàn)，傳統(tǒng)的生產(chǎn)設(shè)備已無法滿足日益增長的技術(shù)需求。住友重工的這項突破，正是為了解決這一難題。未來，隨著SiC離子注入機的推出，我們有望看到更高效、更穩(wěn)定的SiC功率半導(dǎo)體問世，為電子科技領(lǐng)域注入新的活力。住友重工的這一步，無疑將為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來新的發(fā)展機遇。