美能晶化率測試儀：拉曼光譜成像技術在HJT工藝中的應用與優(yōu)化

拉曼光譜成像主要用于獲取物質的化學信息及其空間分布。美能晶化率測試儀通過高光譜分辨率和低雜散光光譜儀，大幅提升了拉曼光譜成像的質量和速度，確保數據的準確性和重復性。該設備支持HJT工藝，通過優(yōu)化工藝參數硅薄膜晶化率，提高電池效率和鈍化效果。

拉曼光譜成像對提高成像質量和速度的影響

拉曼光譜是一種無損、無標記、高靈敏的物質化學信息表征手段,而拉曼成像則是探知化學信息在物理空間分布狀態(tài)的功能性成像技術。使用拉曼成像技術來成像樣品時，不需要對樣品進行額外的預處理。拉曼成像獲取的多維高(超)光譜數據集通常包含著幾百、幾千甚至是百萬數量的相互獨立且含有空間位置信息的拉曼指紋光譜。對于簡單的單層樣品，拉曼成像最終獲取的數據是三維的，二維平面空間加上第三維的散射光波長信息，即空間坐標信息加上物質光譜信息，高維的拉曼成像數據一般稱之為拉曼光譜數據集。

掃描拉曼成像系統光學設計及超光譜數據集結構示意圖

拉曼光譜處理與分析

雖然拉曼光譜與物質的化學特性息息相關，高靈敏的拉曼光譜可以用來表征物質的化學信息，但是實際上具有相似化學結構的樣品的光譜特征差異很小，要區(qū)分這些差異需用到不同光譜分析方法。

拉曼光譜相關數據分析與處理的主要過程與方法。拉曼光譜的預處步驟主要有：去除尖峰噪聲、去除高斯熱噪聲 、光譜基線 校正、光譜歸一化 (Spectral normalization)。拉曼光譜的單變量分析是指，拉曼光譜蘊含著樣品的分子指紋信息，即拉曼光譜中的每一個光譜特征峰與特定的化學基團相對應，將拉曼光譜數據集中表示化學特異性的一層或者幾層提取出來用以代替龐大的光譜數據集所包含化學系的分析方式即是單變量分析法。

拉曼光譜與拉曼成像數據的處理與分析示例

美能晶化率測試儀可同時適用于光譜和成像，具有高光譜分辨率、極低雜散光的光譜儀保證光譜數據的準確性和重復性，可極大地提升了拉曼光譜成像的質量和速度，有效提煉光譜信息。

HJT晶化率測試的功能主要體現

提高電池效率：通過晶化，可以減小非晶硅與單晶硅間的帶隙失配，并調整勢壘高度，幫助少數載流子順利躍遷。

改善鈍化效果：在HJT電池中，非晶硅層具有良好的鈍化效果，能夠避免電極與硅基體的直接接觸，從而減少界面復合和表面復合損失，進一步提高電池性能。

優(yōu)化工藝參數：通過晶化率測試，可以精確控制通入硅烷與氫氣的稀釋率，以實現更高比例的氫氣，從而提高硅薄膜的晶化率。同時，引入VHF電源代替?zhèn)鹘y的RF電源，有助于提高微晶薄膜的沉積速率。

美能晶化率測試儀

美能晶化測試有強大的適應HJT晶化率測試的功能，設備針對HJT工藝獨立研發(fā)和優(yōu)化，可以支持過程片原位測試，以適配HJT的研發(fā)和生產，并且配備擬合軟件可以一鍵擬合譜圖的同時計算晶化率，簡單直觀。

紫外靈敏度:硅一階峰的信號計數好于1000(1秒積分時間)檢測條件

300 nm處量子效率高于60%，700nm處量子效率好于58%

325 nm激光器，激光功率≥12mW，低波數到≤150 cmm-1

光譜重復性:單品硅校準后，≤520±0.02cm-1

拉曼光譜成像技術能無損地獲取物質的化學和空間信息。美能晶化率測試儀通過高光譜分辨率和低雜散光的技術，提升了成像質量和速度，確保數據準確和重復性。此設備支持HJT工藝，優(yōu)化工藝參數，提高電池效率和鈍化效果，是HJT研發(fā)和生產的重要工具。