西安電子科技大學(xué)馬曉華團(tuán)隊(duì)：蹚出寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新之路

來(lái)源：西安電子科技大學(xué)

6月24日，2023年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)在京揭曉，共評(píng)選出250個(gè)項(xiàng)目和12名科技專家。其中，國(guó)家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)2人，國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)49項(xiàng)，國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)62項(xiàng)，國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)139項(xiàng)，授予10名外國(guó)專家中華人民共和國(guó)國(guó)際科學(xué)技術(shù)合作獎(jiǎng)。本報(bào)記者采訪了部分獲得國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)的高校團(tuán)隊(duì)。

西安電子科技大學(xué)馬曉華團(tuán)隊(duì)：

蹚出寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新之路

6月24日，2023年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)揭曉，西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院教授馬曉華牽頭的“高能效超寬帶氮化鎵功率放大器關(guān)鍵技術(shù)及在5G通信產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。該項(xiàng)目有效解決了氮化鎵功率放大器在高效率、寬帶寬、線性度等方面的問(wèn)題，形成了全鏈條自主可控的氮化鎵射頻功放技術(shù)體系，實(shí)現(xiàn)了全球最大規(guī)模的5G通信產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

成績(jī)的背后，凝聚著西安電子科技大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體團(tuán)隊(duì)數(shù)十年的研發(fā)心血。多年來(lái)，這支擁有30多名教授、副教授，30多名青年教師，以及150多名碩博研究生的科研團(tuán)隊(duì)，瞄準(zhǔn)寬禁帶半導(dǎo)體前沿技術(shù)，勇?lián)鷱?qiáng)“芯”使命，深化產(chǎn)學(xué)研用合作，推動(dòng)我國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)研究邁向國(guó)際先進(jìn)行列，為我國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展樹起了新的里程碑。

瞄準(zhǔn)國(guó)家重大戰(zhàn)略，會(huì)聚高水平創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)——

20多年來(lái)，寬禁帶半導(dǎo)體團(tuán)隊(duì)主動(dòng)服務(wù)國(guó)家高水平科技自立自強(qiáng)，持續(xù)深耕化合物半導(dǎo)體材料和器件領(lǐng)域，努力突破“卡脖子”技術(shù)，走出了一條“頂天立地”的科技創(chuàng)新之路。

團(tuán)隊(duì)聚力建設(shè)國(guó)內(nèi)一流寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域人才中心和創(chuàng)新高地。建立老中青“傳幫帶”機(jī)制，形成“華山領(lǐng)軍教授—特聘教授—菁英教授—準(zhǔn)聘副教授”多層次人才培育網(wǎng)絡(luò)，幫助優(yōu)秀人才脫穎而出。團(tuán)隊(duì)帶頭人郝躍院士發(fā)起設(shè)立“芯緣科創(chuàng)基金”，鼓勵(lì)“從0到1”突破，激勵(lì)青年人才科研創(chuàng)新。

團(tuán)隊(duì)瞄準(zhǔn)新一代半導(dǎo)體射頻器件、功率器件、探測(cè)傳感器件等重大關(guān)鍵技術(shù)，致力于攻克頻率、功率、效率、可靠性等亟待解決的關(guān)鍵科技問(wèn)題，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)突破，氮化鎵器件效率持續(xù)刷新世界紀(jì)錄，近5年獲省部級(jí)以上成果獎(jiǎng)8項(xiàng)，帶動(dòng)我國(guó)第三代半導(dǎo)體達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。近兩年來(lái)，團(tuán)隊(duì)多名成員先后入選國(guó)家級(jí)和省部級(jí)各類人才支持計(jì)劃。

深化教育教學(xué)改革，提升思政課育人實(shí)效——

“發(fā)絲上建高樓”的半導(dǎo)體制造人才，是當(dāng)前全球高科技領(lǐng)域較量的制高點(diǎn)。

為了打造符合時(shí)代和行業(yè)發(fā)展需求的高水平育人體系，寬禁帶半導(dǎo)體教師團(tuán)隊(duì)緊跟行業(yè)發(fā)展前景，及時(shí)增設(shè)“納米電子學(xué)基礎(chǔ)”等前沿課程13門、新增新實(shí)驗(yàn)35個(gè)，組織開展青年教師示范觀摩課、教學(xué)質(zhì)量提升研討會(huì)、華山學(xué)者引領(lǐng)計(jì)劃、一流課程傳承與發(fā)展等研討會(huì)，力圖將團(tuán)隊(duì)人才優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化為人才培養(yǎng)新勢(shì)能。

團(tuán)隊(duì)將思想政治工作貫穿教育教學(xué)全過(guò)程，幫助“芯”青年厚植家國(guó)情懷，傳承“芯”火希望。2017年，在學(xué)院黨委號(hào)召下，微電子學(xué)院一群學(xué)生組成紅色朝陽(yáng)班，由郝躍擔(dān)任班主任，形成特色鮮明的黨建導(dǎo)學(xué)思政工作體系。微電子學(xué)院院長(zhǎng)鄭雪峰說(shuō)：“要讓學(xué)生對(duì)于解決材料、器件、工藝等基礎(chǔ)性問(wèn)題有一種責(zé)任感和使命感，激發(fā)他們深入探索專業(yè)知識(shí)的興趣和主動(dòng)性?！?/p>

基于此，他們建設(shè)課程思政典型案例庫(kù)，修訂融合思政元素的培養(yǎng)方案和課程大綱，構(gòu)建以興趣為導(dǎo)向的“1+3+10”的網(wǎng)格導(dǎo)學(xué)體系和“五位一體”的育人活動(dòng)體系等，在探索全過(guò)程思政育人方面拓寬載體、豐富內(nèi)容、強(qiáng)化師資，將思政元素融入課堂教學(xué)、日常生活各個(gè)環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)立德樹人潤(rùn)物無(wú)聲。

產(chǎn)學(xué)研用深度融合，協(xié)同突破共性難題——

晶圓加工、氧化、光刻、刻蝕、薄膜沉積……在西安電子科技大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體國(guó)家工程研究中心實(shí)驗(yàn)室，身穿超凈服的師生有條不紊地忙碌著。作為產(chǎn)學(xué)研用一體化平臺(tái)，中心對(duì)標(biāo)國(guó)際一流科研機(jī)構(gòu)，整體規(guī)劃建設(shè)2.2萬(wàn)平方米實(shí)驗(yàn)大樓和2800平方米超凈實(shí)驗(yàn)室，高標(biāo)準(zhǔn)搭建“材料—器件—分測(cè)”研究工藝線，建成全國(guó)高校內(nèi)唯一兼容4至6英寸的寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)。

“依托這個(gè)平臺(tái)，學(xué)生可以通過(guò)半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、制備、測(cè)試等全流程的工藝實(shí)踐，將一些創(chuàng)新的想法落地?！蔽㈦娮訉W(xué)院教授祝杰杰說(shuō)，整個(gè)研究與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用結(jié)合得非常緊密，這些創(chuàng)新性成果能夠顯著提升產(chǎn)品應(yīng)用性能。

為推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研用深度融合，寬禁帶半導(dǎo)體團(tuán)隊(duì)積極與區(qū)域經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和行業(yè)、產(chǎn)業(yè)需求對(duì)接，共同探索重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)升級(jí)發(fā)展中的前瞻性、先導(dǎo)性、探索性技術(shù)問(wèn)題。同時(shí)，積極與龍頭企業(yè)開展全鏈條合作，協(xié)同開展行業(yè)共性技術(shù)攻關(guān)。

團(tuán)隊(duì)還與企業(yè)在師資培養(yǎng)、課程設(shè)置、教材開發(fā)及工具培訓(xùn)等方面深入合作，構(gòu)建起校企深度融合、產(chǎn)教協(xié)同育人體系。目前，寬禁帶半導(dǎo)體團(tuán)隊(duì)年均畢業(yè)本碩博學(xué)生近千名，是國(guó)內(nèi)高校集成電路領(lǐng)域人才培養(yǎng)規(guī)模最大、培養(yǎng)質(zhì)量一流的人才基地。

審核編輯 黃宇