蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的高分辨率高效檢測(cè)

蔡司代理三本精密儀器小編介紹掃描電子顯微鏡作為最常見的電子顯微儀器之一，不僅在微觀形貌表征方面大放異彩，也在各種元素表征、晶相分析、原位測(cè)試等領(lǐng)域有著諸多應(yīng)用，已經(jīng)成為微區(qū)分析的重要手段。

一、高分辨能力
蔡司熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(ZEISS, Sigma 500)采用肖特基型熱場(chǎng)發(fā)射電子槍及GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，電子束能量均勻穩(wěn)定，在保證成像分辨能力同時(shí)還能產(chǎn)出足夠強(qiáng)的信號(hào)用于呈現(xiàn)較高的成像質(zhì)量，目前廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、地球科學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡sigma
其關(guān)鍵性能指標(biāo)如下：
加速電壓：20V~30kV;
電子束束流：5 pA~20nA;
極限分辨率：0.8 nm@15kV 1.6 nm @1kV;
放大倍數(shù)：10~106×。

二、廣泛的適用性
蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡要求待測(cè)樣品為干燥的固體，且無(wú)揮發(fā)性物質(zhì)，對(duì)樣品的包容性較強(qiáng)。對(duì)于大多數(shù)干燥且導(dǎo)電的固體樣品無(wú)需特殊制備過(guò)程，只要根據(jù)樣品大小、形狀和觀察需求，用適當(dāng)方法固定在相應(yīng)樣品臺(tái)上即可。為應(yīng)對(duì)不同的表征需要，本實(shí)驗(yàn)室配置的樣品臺(tái)包括12.5mm釘形臺(tái)、25mm釘形臺(tái)、12.5mm全碳釘形臺(tái)、帶夾片釘形臺(tái)、可夾持樣品臺(tái)、90°/45°樣品臺(tái)、90°帶夾片樣品臺(tái)、EBSD專用樣品臺(tái)。

此外，實(shí)驗(yàn)室還可配置如下制樣設(shè)備，可用于樣品的前處理：
1. 離子濺射儀(Bright KAS-2000F)：配有鉑靶材，用于在樣品表面濺射鍍導(dǎo)電層，增加樣品導(dǎo)電性。
2. 臨界點(diǎn)干燥儀(Quorum K850)：用于生物組織樣品梯度脫水后，用液態(tài)二氧化碳置換樣品中的丙酮，并實(shí)現(xiàn)無(wú)張力的干燥過(guò)程。

三、強(qiáng)大的功能擴(kuò)展性
蔡司掃描電鏡Sigma系列的大腔體設(shè)計(jì)可以容納更大的樣品，并為表征實(shí)驗(yàn)提供更多的擴(kuò)展空間。除用于成像的E-T二次電子探頭和Inlens二次電子探頭外，儀器還配有背散射電子探頭(BSE)、牛津儀器X-Max能譜探頭(EDS)、牛津儀器Nordlys電子背散射衍射探頭(EBSD)、透射電子探頭(STEM)、Gatan C1003冷熱臺(tái)等附件，可用于元素表征、晶相分析、透射成像、原位變溫實(shí)驗(yàn)等多種實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景。