漢威科技半導體工廠氣體檢測儀助力企業(yè)安全生產(chǎn)

半導體產(chǎn)業(yè)的制造過程涉及上百種電子氣體，這些氣體往往具有易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性等特點，如何保障用氣安全？

01半導體產(chǎn)業(yè)爆發(fā)式發(fā)展

隨著AI、人形機器人等行業(yè)的爆發(fā)式發(fā)展，半導體產(chǎn)業(yè)迎來巨量增長空間，預計2030年其市場規(guī)模將突破1萬億美元大關。

半導體產(chǎn)業(yè)是以硅、鍺、氮化鎵等半導體材料為基礎的戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)，也是典型的技術密集、資金密集型產(chǎn)業(yè)。其制造工藝復雜，涵蓋硅片制造、芯片設計、光罩制作、芯片制造、封裝測試等環(huán)節(jié)的上千道工序，下游涉及集成電路、顯示面板、醫(yī)療健康、消費電子、照明、通信、光伏、新能源汽車等眾多應用領域。

由于半導體晶圓制程的不斷發(fā)展，線寬越來越窄，對生產(chǎn)工藝的要求也越來越高，這些因素都對半導體晶圓工廠各個系統(tǒng)的持續(xù)無故障運行能力以及所提供給生產(chǎn)工藝制程相關的原料的品質提出了更高的要求。

02電子氣體安全問題不容忽視

在半導體生產(chǎn)制造過程中，電子氣體是僅次于硅片的第二大制造材料，品類多達上百種，被譽為“芯片血液”。

電子氣體包括電子大宗氣體和電子特種氣體兩大類，其中電子大宗氣體是生產(chǎn)制造過程中的環(huán)境氣、保護氣和載體，而電子特種氣體主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等芯片制造工藝之中。

與此同時，在半導體生產(chǎn)制造過程中，還可能產(chǎn)生酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、一般尾氣等氣體。

電子氣體與廢氣多為易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性氣體，而半導體制造車間多為無塵密閉環(huán)境，且配備回風系統(tǒng)，一旦發(fā)生危險氣體泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。因此，用氣安全問題不容忽視，必須進行氣體檢測。

《特種氣體系統(tǒng)工程技術標準》(GB50646-2020)中有強制性規(guī)定，儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應設置特種氣體探測裝置：

①自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處；

②生產(chǎn)工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設備的排風管口處；

③生產(chǎn)工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處；

④惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；

⑤自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間；

⑥其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

此外，該標準還對報警設定值、響應時間、安裝位置等進行了相關規(guī)定。

03漢威半導體工廠氣體檢測儀

漢威科技集團推出的半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的高端產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點，可檢測氨氣、砷化氫、氯氣、硅烷等上百種氣體，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。

高精度微小泄漏檢測

每種氣體都有對應的溫度補償及融合算法，零點自動校準，可實現(xiàn)精準微小泄漏檢測，性能達行業(yè)領先水平。

支持上百種氣體

支持電化學、催化燃燒、光學等多種原理傳感器，支持上百種氣體，可滿足客戶個性化檢測需求。

電磁泵吸設計

采用電磁泵吸原理吸氣，磨損小，壽命長，流量恒定，30米超長進氣管，快插接頭設計，安裝便捷。

點陣式LCD大屏顯示

界面美觀易讀，氣體名稱、濃度、報警情況等一目了然，適合國內用戶習慣。

目前，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于多家半導體行業(yè)制造工廠，并獲得用戶的一致認可。

結語

后摩爾時代，半導體行業(yè)的生產(chǎn)工藝難度不斷加大，生產(chǎn)制造成本不斷升高，電子特種氣體的成本占比高達13%，部分高端進口氣體價格非常昂貴，每公斤價格可達數(shù)萬元，氣體泄漏不僅會造成財產(chǎn)損失，還可能造成工傷事故。漢威科技集團在有毒有害、易燃易爆等氣體安全監(jiān)測領域擁有深厚的技術積淀與服務經(jīng)驗，將以半導體工廠氣體檢測儀為支撐，助力半導體企業(yè)安全生產(chǎn)，降本增效。