離子和電子探測(cè)器類型

電子倍增器技術(shù)

顧名思義，電子倍增器的作用是將檢測(cè)到的離子或電子信號(hào)倍增(或放大)到可以處理成數(shù)據(jù)的水平。

電子倍增器依靠“倍增電極”和“二次發(fā)射”的原理?！氨对鲭姌O”只是真空中的電極，當(dāng)具有足夠 m/z(質(zhì)荷比)和動(dòng)能的離子或電子撞擊電子倍增器內(nèi)通道壁表面時(shí)，它會(huì)發(fā)射電子。此過(guò)程中發(fā)射的電子稱為“二次發(fā)射”。電子倍增器將這些倍增電極(連續(xù)倍增電極)串聯(lián)在一起，以便二次發(fā)射過(guò)程反復(fù)發(fā)生，從而沿途每一步都以指數(shù)方式放大電子數(shù)量。

微通道板

微通道板是微型電子倍增器通道陣列，每個(gè)通道都充當(dāng)連續(xù)的倍增電極鏈。緊湊的通道結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)較高的空間和時(shí)間分辨率以及對(duì)磁場(chǎng)的穩(wěn)定性。

40 多年來(lái)，Photonis 憑借微通道板技術(shù)引領(lǐng)電子倍增產(chǎn)品行業(yè)。如今，Long-Life? 微通道板正在為性能和使用壽命樹(shù)立行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)計(jì)和制造 MCP 方面無(wú)與倫比的專業(yè)知識(shí)確?？蛻臬@得最靈敏、最可靠的放大設(shè)備。Photonis 專門提供定制格式的 MCP，以滿足特定儀器的要求。下表顯示了 Photonis 的一些功能：

基于 MCP 的探測(cè)器(高級(jí)性能探測(cè)器)

每個(gè) Photonis MCP 探測(cè)器均采用 LongLife? 微通道板設(shè)計(jì)，可提供市場(chǎng)上最高的靈敏度。這些完整的探測(cè)器組件可用于各種應(yīng)用，以檢測(cè)帶電粒子和電磁輻射，范圍從質(zhì)譜到紫外線和 X 射線天文學(xué)。這些探測(cè)器設(shè)計(jì)用于真空系統(tǒng)，并在高溫條件下繼續(xù)有效運(yùn)行(300°C - 腔體清潔時(shí)達(dá)到的溫度)，因此節(jié)省了從儀器中移除探測(cè)器所需的時(shí)間。

Channeltron? 通道電子倍增器

Channeltron? 通道電子倍增器 (CEM) 使用與微通道板相同的工作原理，但設(shè)計(jì)為使用單通道而不是陣列進(jìn)行電子倍增。Photonis 擁有各種各樣的 Channeltrons?，由內(nèi)部開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的特殊配方玻璃制成。由于其質(zhì)量低、增益高，Channeltrons? 還用于許多核物理實(shí)驗(yàn)室和空間應(yīng)用中，以脈沖模式操作計(jì)數(shù)電子和帶電粒子。其他應(yīng)用包括殘余氣體分析、等離子分析、俄歇、電子能譜儀、SEM、FIB 和泄漏檢測(cè)器。

電子顯微鏡和電子束系統(tǒng)的探測(cè)器

Exosens 提供多種電子和離子檢測(cè)平臺(tái)，適用于掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、聚焦離子束工具和半導(dǎo)體行業(yè)的電子束系統(tǒng)。

基于閃爍體的電子探測(cè)器將電子吸引到閃爍體板上，從而產(chǎn)生放大的光子信號(hào)。然后，照片被導(dǎo)向光子傳感器，光子傳感器將信號(hào)轉(zhuǎn)換回電子并進(jìn)行放大。

這種基本檢測(cè)方案可以通過(guò)各種閃爍體和各種光子傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)。傳統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方式是 Everhart Thornley 檢測(cè)方案，通常用于檢測(cè) SEM 腔中的二次電子并提供樣本的地形圖像。

更先進(jìn)的實(shí)現(xiàn)是柱內(nèi)背散射電子 (BSE) 探測(cè)器，它可以濾除低能電子并提供干凈的 BSE 信號(hào)，從而在 SEM 圖像中提供材料對(duì)比度。

其他實(shí)現(xiàn)將信號(hào)分成幾個(gè)部分，并使用 ScintiFast? 和超快無(wú)機(jī)閃爍體來(lái)支持快速掃描和成像。此類實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體行業(yè)的計(jì)量和檢查電子束系統(tǒng)中很常見(jiàn)。

固態(tài)檢測(cè)技術(shù)也已推出。該技術(shù)允許靈活設(shè)計(jì)和分割探測(cè)器的有效區(qū)域。它常用于背散射電子探測(cè)器以及 SEM 和高能掃描透射電子顯微鏡 (TEM) 中的透射電子探測(cè)器。

審核編輯 黃宇