萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通半導(dǎo)體：離子注入機基本自主可控！

零部件本土化新質(zhì)生產(chǎn)力研討會暨協(xié)同創(chuàng)新戰(zhàn)略合作簽約儀式在上海浦東成功舉辦。萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱凱世通）攜手國內(nèi)頂尖的集成電路制造企業(yè)、中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等離子體物理研究所，元禾璞華投資管理有限公司，以及眾多國內(nèi)集成電路零部件企業(yè)共同參與了此次盛會。通過簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，各方將聯(lián)合推動技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)學(xué)研合作，促進(jìn)上游零部件企業(yè)一體化發(fā)展，進(jìn)而幫助下游用戶解決本土芯片制造的連續(xù)性挑戰(zhàn)。

芯片制造國產(chǎn)化，裝備先行；裝備國產(chǎn)化，零部件是基礎(chǔ)。集成電路產(chǎn)業(yè)作為國家綜合實力的關(guān)鍵標(biāo)志之一是新質(zhì)生產(chǎn)力，上下游協(xié)同創(chuàng)新是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈整體突破的必由之路。離子注入機是集成電路前道設(shè)備中系統(tǒng)復(fù)雜度最高的核心設(shè)備之一，包含數(shù)以萬計的零部件。凱世通在這一領(lǐng)域積極發(fā)揮“鏈主”功能，與上游眾多零部件供應(yīng)商建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系，并且聯(lián)合下游應(yīng)用企業(yè)開展新技術(shù)和新產(chǎn)品研發(fā)，從而打造了一個具有韌性、多元化特征的供應(yīng)鏈體系。

萬業(yè)企業(yè)總裁兼旗下凱世通董事長李勇軍博士表示，凱世通提早布局，目前已基本實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機供應(yīng)鏈自主可控。此次戰(zhàn)略合作的簽約項目，包括微波等離子體噴槍、靜電吸盤材料、真空自動化機器人、超高能射頻加速器、射頻電源、高精度氣體流量計等多款關(guān)鍵零部件，致力于填補國內(nèi)空白，為客戶提供性能更優(yōu)、成本更低、自主可控的產(chǎn)品與服務(wù)解決方案。

在上下游產(chǎn)業(yè)鏈的緊密協(xié)作下，凱世通多個關(guān)鍵零部件項目已開花結(jié)果。其中，微波等離子體噴槍主要用于離子注入靜電中和，相對于傳統(tǒng)的燈絲型等離子體噴槍，可有效降低金屬污染，從而提升芯片制造的良品率。這一零部件是滿足AI、HBM、傳感器為代表的新質(zhì)生產(chǎn)力芯片嚴(yán)苛制造要求的關(guān)鍵。經(jīng)過系列科技攻關(guān)與研發(fā)創(chuàng)新，凱世通已實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，產(chǎn)品測試性能表現(xiàn)優(yōu)異，維護(hù)成本低，并已交付給客戶進(jìn)行產(chǎn)線驗證。

凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉介紹，離子注入機零部件種類繁多、技術(shù)要求極高。凱世通扎實推進(jìn)離子注入機國產(chǎn)化工作，發(fā)揮鏈主作用，積極拓寬零部件本土化路徑。基于正向設(shè)計與協(xié)同創(chuàng)新的理念，凱世通聯(lián)合下游應(yīng)用單位與上游零部件廠商緊密合作，共同開發(fā)關(guān)鍵零部件，有序推進(jìn)國產(chǎn)零部件的驗證工作，從而逐步提升對離子注入機零部件核心技術(shù)的掌控性、創(chuàng)新性、領(lǐng)先性。

元禾璞華董事總經(jīng)理陳瑜表示，凱世通以鏈主為橋梁將眾多關(guān)鍵部件企業(yè)聚合在一起，不僅有助于提高設(shè)備國產(chǎn)化率，還可以加速半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、增強產(chǎn)業(yè)安全性、增厚半導(dǎo)體新質(zhì)生產(chǎn)力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)同升級、自主可控提供了一個新的范式。

面向未來，凱世通將繼續(xù)堅持創(chuàng)新突破，不斷支撐集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)健運營，為新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展提供不竭“芯”動力，不斷帶動更多國產(chǎn)零部件產(chǎn)業(yè)鏈，推動中國制造邁向高端。