300毫米大硅片國產(chǎn)化項(xiàng)目
半導(dǎo)體晶圓
“02專項(xiàng)”,這個(gè)簡單到不能再簡單的名字,卻是事關(guān)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈能否完整、自我做主的國家重大科技專項(xiàng)。在上海浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)云水路上,藏著一家名不見經(jīng)傳的上?!靶∑髽I(yè)”——新昇半導(dǎo)體科技有限公司。穿過樸實(shí)無華的工廠大門,一幢幢廠房里蘊(yùn)藏著我國破解極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝的諸多創(chuàng)新密碼。
作為 “02專項(xiàng)”的深度參與者,新昇半導(dǎo)體承擔(dān)著國家 “02專項(xiàng)”的核心工程之一,40~28納米集成電路制造用300毫米硅片。隨著科技攻關(guān)的一步步推進(jìn),產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)一步步實(shí)現(xiàn),國外對(duì)集成電路關(guān)鍵材料的壟斷堅(jiān)冰正在融化,我國開始起步形成完整的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,長期困擾中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”問題有望被破解。
“螞蟻”撼“大樹”
我們手邊的筆記本電腦、智能手機(jī)、互聯(lián)網(wǎng)電視等各種移動(dòng)終端越來越發(fā)達(dá),但若深入其內(nèi)部芯片,中國的半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)及制造業(yè)的進(jìn)步卻沒有趕上世界步伐。在半導(dǎo)體完整產(chǎn)業(yè)鏈中,我國在芯片制造、切割、封裝的數(shù)量上已經(jīng)達(dá)到世界第一,作為源頭的硅片生產(chǎn)卻還牢牢掌握在他國手中。一旦海外供應(yīng)商因種種原因中斷硅片供應(yīng),中國投入上千億美元建設(shè)起來的半導(dǎo)體芯片制造業(yè),隨時(shí)可能面臨“巧婦難為無米之炊”的尷尬。
根據(jù)國際預(yù)測(cè),到2020年左右,市場需要能制造14納米、10納米甚至7~5納米的大硅片,然而中國到目前為止,還沒有實(shí)現(xiàn)線寬45納米集成電路以下的300毫米大硅片量產(chǎn)化能力。300毫米大硅片是什么?原來在集成電路芯片制造領(lǐng)域,作為關(guān)鍵原材料的硅片直徑變得越大,集成電路芯片設(shè)計(jì)線寬就可以越小。從成本與芯片功能角度來看,300毫米硅片是目前業(yè)界成本和效益的最佳平衡點(diǎn)。
為了解決“卡脖子”的300毫米大硅片國產(chǎn)化問題,“十二五”期間國家科技部拿出一筆經(jīng)費(fèi),向全國5個(gè)有能力的團(tuán)隊(duì)發(fā)出邀請(qǐng)書。最后,有3個(gè)團(tuán)隊(duì)響應(yīng)了國家號(hào)召,業(yè)內(nèi)“新兵”上海新昇就是其中之一。因?yàn)椋龀鲋袊约旱拇蠊杵?,就是他們最初的?mèng)想。
突破層層“包圍圈”
半導(dǎo)體硅的制造工藝,是上世紀(jì)50年代出現(xiàn)的,美、德、日、韓等國早已為本國的制作工藝申請(qǐng)了層層專利保護(hù)。作為“后來者”,中國想要在全鏈條上實(shí)現(xiàn)國產(chǎn),必須沖破國外設(shè)置的專利“包圍圈”。經(jīng)多方艱苦卓絕的努力,創(chuàng)業(yè)之初的新昇在知識(shí)產(chǎn)權(quán)上重重突圍。目前,新昇已經(jīng)在拉晶生長、硅晶圓襯底工藝、外延材料生長等以及先進(jìn)CMOS器件與工藝,大功率器件結(jié)構(gòu),材料與工藝等方面進(jìn)行了專利布局。累計(jì)完成發(fā)明專利申請(qǐng)425件,獲得發(fā)明專利授權(quán)47件。
然而,專利問題的解決還只是創(chuàng)新長征的“第一步”。這次“02專項(xiàng)”計(jì)劃的要求,是承辦單位不但要研發(fā)成功,還要達(dá)成量產(chǎn)化的目標(biāo)。在國際壟斷者看來:你們產(chǎn)品即使做出來了,如果成本高了,賣不出去,照樣也撐不下去!
事實(shí)上,在半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)及制造業(yè)的關(guān)鍵領(lǐng)域,技術(shù)攻關(guān)之后的量產(chǎn),才是品質(zhì)、穩(wěn)定性和成本控制等多尺度的綜合實(shí)力競賽。在國家的大力支持下,新昇作為全球領(lǐng)先的12寸大硅片制造商之一,也是中國內(nèi)地唯一一家規(guī)模最大、技術(shù)完善的12英寸大硅片生產(chǎn)企業(yè),大硅片項(xiàng)目進(jìn)展順利,推進(jìn)速度符合預(yù)期,未來將加快擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度。
-
新昇半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
1文章
9瀏覽量
3924
原文標(biāo)題:上海新昇“拼圖”中國半導(dǎo)體完整產(chǎn)業(yè)鏈
文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
評(píng)論