以北方華創(chuàng)為代表的“高端裝備中國造”

如果說，“ 沒有IC制造就沒有中國的IC產(chǎn)業(yè)”是成立的，那么“沒有IC裝備就沒有中國的IC制造業(yè)”，也是順理成章的。只可惜，目前的中國IC裝備業(yè)與國際水平整體差距可不是一點點。不過，以北方華創(chuàng)為代表的國內(nèi)設(shè)備商的持續(xù)努力，也讓國人對“高端裝備中國造”的信心與日俱增。整合優(yōu)勢資源，盡快加大體量。今年2月，“七星華創(chuàng)”與“北方微電子”正式合二為一，整合為“北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司”，將“高端裝備中國制造”的使命“據(jù)為己有”，已建立起國內(nèi)覆蓋領(lǐng)域最廣、產(chǎn)品種類最多、建設(shè)規(guī)模最大、綜合實力最強的高端裝備供應(yīng)平臺。北方華創(chuàng)總經(jīng)理趙晉榮說，“七星”與“北方微”的整合不僅沒有流失客戶，反而讓客戶增添了對北方華創(chuàng)的信心和信任?？蛻舻挠唵?，就是對北方華創(chuàng)最大的肯定。在國家極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝重大專項中，北方華創(chuàng)以絕對主力，相繼完成了ETCH、PVD等工藝的驗證和產(chǎn)業(yè)化，清洗機、氧化爐、LPCVD( 低氣壓化學(xué)氣相沉積)、ALD(原子層沉積)和氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)等多個項目，在獲得政府科研項目資助同時，關(guān)鍵是多種高端集成電路的關(guān)鍵設(shè)備均批量進入了大生產(chǎn)線，并取得了良好的使用效果。趙晉榮介紹，目前，在IC制造領(lǐng)域北方華創(chuàng)擁有刻蝕機、PVD、單片退火設(shè)備、氧化爐、退火（合金）爐、LPCVD以及清洗機7類產(chǎn)品，已經(jīng)全面在國內(nèi)主流生產(chǎn)線上穩(wěn)定量產(chǎn)。不過趙晉榮強調(diào)，我們在集成電路衍生市場取得的進步更為明顯，如MEMS、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、先進封裝、LED照明、平板顯示、光伏等市場領(lǐng)域的從無到有、從弱至強。在先進封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng)刻蝕機和PVD設(shè)備在主要的先進封裝廠已得到全面應(yīng)用，在全球排名前三的WLCSP封裝企業(yè)中，北方華創(chuàng)刻蝕機和PVD均是主力機臺；在LED領(lǐng)域，北方華創(chuàng)刻蝕機、PVD和PECVD三類設(shè)備的市場占有率實現(xiàn)了多項全球第一獨占鰲頭；MEMS芯片制造用的深硅刻蝕設(shè)備以及金屬刻蝕設(shè)備，已批量銷往多家科研機構(gòu)及生產(chǎn)線；在光伏領(lǐng)域，北方華創(chuàng)研發(fā)的國內(nèi)首臺應(yīng)用于高效光伏電池生產(chǎn)的負壓擴散爐，已經(jīng)得到市場認可，光伏交鑰匙工程還獲得海外客戶訂單；北方華創(chuàng)作為國內(nèi)首家進入TFT-LCD生產(chǎn)線的設(shè)備商，自主研發(fā)的Grind Cleaner、Indexer等設(shè)備均在主流客戶端占據(jù)重要份額，所提供的設(shè)備在客戶端的5、6、8.5、10.5代線上均穩(wěn)定規(guī)模生產(chǎn)。重點發(fā)展刻蝕設(shè)備、PVD、CVD、清洗和擴散設(shè)備，在應(yīng)用于集成電路制造的同時，著力在先進封裝、LED、MEMS、光伏等市場領(lǐng)域取得“農(nóng)村包圍城市”的突破，這種與國際業(yè)者反向而行的發(fā)展策略，應(yīng)該也是北方華創(chuàng)被迫的“明智選擇”，這也是中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)取得里程碑式跨越發(fā)展的必由之路。趙晉榮認為，就目前現(xiàn)狀而言， 我們在IC主流市場還只是個技術(shù)跟蹤者，幾乎不可能成為一個市場引領(lǐng)者，但在半導(dǎo)體周邊市場，還是有國內(nèi)集成電路高端工藝裝備龍頭企業(yè)話語權(quán)的，進而占據(jù)市場主導(dǎo)地位，如今已經(jīng)成為現(xiàn)實。在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的快速推廣應(yīng)用，使北方華創(chuàng)有了更強的市場競爭力、更完善的客戶服務(wù)體系和持續(xù)自主研發(fā)的實力。在集成電路領(lǐng)域從易到難的產(chǎn)品切入，也走了“農(nóng)村包圍城市”的路子，從8英寸到12英寸，從Hardmask到Al pad再到CuBS研發(fā)，從zero mark到STI再到poly刻蝕，從65nm到28nm再到14nm。目前，應(yīng)用于14nm先進制程的多項核心設(shè)備已正式進入國際主流芯片廠工藝研發(fā)線?？梢哉f，北方華創(chuàng)已挑起重擔(dān)兌現(xiàn)“推進綱要”中所列的硬性指標(biāo)。趙晉榮表示，在集成電路高端工藝裝備市場，“近水樓臺先得月”是北方華創(chuàng)獨特的優(yōu)勢。北方華創(chuàng)的近鄰——中國最大芯片代工廠中芯國際、中國最大的面板制造商京東方產(chǎn)線上諸多設(shè)備早期并不來自北方華創(chuàng)，但通過不斷提供能夠精準(zhǔn)符合客戶需求的卓越產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)服務(wù)，建立起產(chǎn)業(yè)鏈的上下游合作關(guān)系，就是北方華創(chuàng)發(fā)揮地域優(yōu)勢取得突破的所在?，F(xiàn)在再去參觀中芯國際12寸廠和京東方8.5代線的時候，可以看到成片的區(qū)域里，都充滿了NAURA的標(biāo)識。在左鄰京東方8.5代線中，Grind Cleaner和Indexer設(shè)備正在24小時無間斷運轉(zhuǎn)；在右舍中芯國際12寸廠，北方華創(chuàng)數(shù)十臺硅刻蝕設(shè)備、PVD、LPCVD、清洗機和氧化爐在生產(chǎn)線上量產(chǎn)。最近，北方華創(chuàng)收購Akrion相關(guān)資產(chǎn)，以達到與公司目前清洗設(shè)備品種實現(xiàn)較好互補之目的。北方華創(chuàng)很看重Akrion在精密清洗技術(shù)方面擁有多年技術(shù)積累和客戶基礎(chǔ)，因此，有了一定實力的北方華創(chuàng)，在國際市場出手也就不足為奇了。相信，今后發(fā)生在國內(nèi)設(shè)備廠家身上的類似新聞，會越來越多。趙晉榮認為，國產(chǎn)高端裝備要實現(xiàn)“量變” 較為容易，三年內(nèi)在集成電路行業(yè)的份額就會顯著提升，但是要真正的取代國外廠家，實現(xiàn)躋身全球前十大的“質(zhì)變”卻并不容易，但只要我們堅持把“農(nóng)村包圍城市”戰(zhàn)略的路子走下去，用上五年時間國內(nèi)設(shè)備商就會有實現(xiàn)“質(zhì)變”的實力。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的這種國際競爭格局下，國內(nèi)的半導(dǎo)體企業(yè)需要加大體量來應(yīng)對全球的競爭。在國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)向中國轉(zhuǎn)移的趨勢下，北方華創(chuàng)作為國內(nèi)半導(dǎo)體裝備最大的制造企業(yè)，在未來一定會迎來更好的發(fā)展，帶給中國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)無限可能。