隨著電子技術(shù)的發(fā)展,芯片的集成度不斷提高,電路布線也越來越細(xì)。因此,每單位面積的功耗增加,導(dǎo)致發(fā)熱增加和潛在的設(shè)備故障。直接粘合銅(DBC)陶瓷基板因其優(yōu)異的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性而成為重要的電子封裝材料,特別是在功率模塊(IGBT)和集成電力電子模塊中。
直接敷銅陶瓷基板(DBC)由陶瓷基片與銅箔在高溫下(1065℃)共晶燒結(jié)而成,最后根據(jù)布線要求,以刻蝕方式形成線路。由于銅箔具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱能力,而氧化鋁能有效控制 Cu-Al2O3-Cu復(fù)合體的膨脹,使DBC基板具有近似氧化鋁的熱膨脹系數(shù)。
DBC陶瓷基板分為3層,中間的絕緣材料是Al2O3或者AlN。Al2O3的熱導(dǎo)率通常為24W/(m·K),AlN的熱導(dǎo)率則為170W/(m·K)。DBC基板的熱膨脹系數(shù)與Al2O3/AlN相類似,非常接近LED外延材料的熱膨脹系數(shù),可以顯著降低芯片與基板間所產(chǎn)生的熱應(yīng)力。
DBC工藝原理:DBC技術(shù)主要基于氧化鋁陶瓷基板的金屬化,由J.F. Burgess和Y.S. Sun于1970年代首次推出。直接銅鍵合是一種金屬化方法,將銅箔直接粘合到陶瓷基板(主要是Al2O3和AlN)的表面上。其基本原理是將氧引入銅與陶瓷的界面中,然后在1065~1083°C下形成Cu/O共晶液相,與陶瓷基體和銅箔反應(yīng)生成CuAlO2或Cu(AlO2)2,并借助中間相實(shí)現(xiàn)銅箔與基板之間的結(jié)合。由于AlN是非氧化物陶瓷,因此在其表面沉積銅的關(guān)鍵是形成Al2O3的過渡層,這有助于實(shí)現(xiàn)銅箔與陶瓷基板之間的有效結(jié)合。DBC熱壓鍵合中使用的銅箔一般較厚,范圍從100到600μm,并且具有很強(qiáng)的載流能力,使其適用于高溫和高電流等極端環(huán)境下的器件密封應(yīng)用。
DBC陶瓷基板的性能:DBC陶瓷基板具有陶瓷特有的高導(dǎo)熱性、高電絕緣性、高機(jī)械強(qiáng)度、低膨脹的特點(diǎn)。它還結(jié)合了無氧銅的高導(dǎo)電性和出色的可焊性,允許蝕刻各種圖案。
1.優(yōu)良的絕緣性能:
使用DBC基板作為芯片載體,有效地將芯片與模塊的散熱基座隔離開來。DBC基板中的Al2O3陶瓷層或AlN陶瓷層增強(qiáng)了模塊的絕緣能力(絕緣電壓>2.5KV)。
2.優(yōu)異的導(dǎo)熱性:
DBC基材具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性。在IGBT模塊的操作中,芯片表面會產(chǎn)生大量的熱量。這些熱量可以通過DBC基板有效地傳遞到模塊的散熱底座,再通過導(dǎo)熱硅脂進(jìn)一步傳導(dǎo)到散熱器,實(shí)現(xiàn)模塊整體散熱。
3.熱膨脹系數(shù)與硅相似:
DBC襯底具有與硅(芯片的主要材料)相似的熱膨脹系數(shù)(7.1ppm / K)。這種相似性可防止應(yīng)力損壞芯片。DBC基材具有優(yōu)異的機(jī)械性能、耐腐蝕性和最小的變形,適用于廣泛的溫度應(yīng)用。
4.良好的機(jī)械強(qiáng)度:厚銅箔和高性能陶瓷材料為DBC基板提供了良好的機(jī)械強(qiáng)度和可靠性。
5.強(qiáng)大的載流能力:由于銅導(dǎo)體優(yōu)越的電氣性能和高載流能力,DBC基板可以支持高w功率容量。
DBC陶瓷基板的應(yīng)用:DBC陶瓷基板具有廣泛的應(yīng)用,包括大功率白光LED模塊,UV/深UV LED器件封裝,激光二極管(LD),汽車傳感器,冷凍紅外熱成像,5G光通信,高端冷卻器,聚光光伏(CPV),微波射頻器件和電子功率器件(IGBT)等眾多領(lǐng)域。雖然出現(xiàn)了像AMB和DBA這樣的12345.型陶瓷基板,但這并不意味著它們可以完全取代DBC。每個在功率和成本方面都有自己的應(yīng)用場景,DBC仍然具有巨大的市場潛力。
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