改變?nèi)虬雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)路徑,沒(méi)有他就沒(méi)有今天的臺(tái)積電！

他改變了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)路徑，讓老大哥英特爾（Intel）及設(shè)備商艾斯摩爾（ASML）、尼康（Nikon）等業(yè)內(nèi)巨頭，舍棄耗費(fèi)逾10 億美元和數(shù)年的研究心力，跟著他與臺(tái)積電一起轉(zhuǎn)彎。 不但全球半導(dǎo)體制程得以往下推進(jìn)6 到7 個(gè)世代，約14 年時(shí)光，臺(tái)積電也因此躋身一線大廠、主導(dǎo)業(yè)界規(guī)格。

他是中研院院士林本堅(jiān)，臺(tái)積電前研發(fā)副總經(jīng)理。 臺(tái)積電董事長(zhǎng)張忠謀曾稱，假如沒(méi)有林本堅(jiān)及其團(tuán)隊(duì)，「臺(tái)積電的微影（半導(dǎo)體關(guān)鍵制程之一）不會(huì)有今天這規(guī)模。 」

退休后在清華大學(xué)擔(dān)任特聘研究講座教授的林本堅(jiān)，近日出版他第一本半自傳式著作，并與我們一起重溫當(dāng)年他是如何扭轉(zhuǎn)乾坤。

林本堅(jiān)在越南出生，至青春期才來(lái)***求學(xué)，說(shuō)話語(yǔ)調(diào)細(xì)軟，過(guò)去部屬昵稱他「Burn（其英文名）爺爺」。 他待人和善，但對(duì)所相信的事物和理念，卻不輕言退讓。

時(shí)間回溯到2002年，林本堅(jiān)受邀參加一場(chǎng)國(guó)際光電學(xué)會(huì)技術(shù)研討會(huì)，會(huì)中他發(fā)表這項(xiàng)發(fā)現(xiàn)，語(yǔ)驚四座，因?yàn)楫?dāng)時(shí)的半導(dǎo)體設(shè)備商多研發(fā)焦點(diǎn)放在如何延續(xù)干式機(jī)臺(tái)的生命，并已耗費(fèi)數(shù)十億美元進(jìn)行開(kāi)發(fā)。林本堅(jiān)的理論無(wú)疑是在業(yè)界投出一顆炸彈，但經(jīng)過(guò)他無(wú)數(shù)研討會(huì)努力奔走、尋找與設(shè)備商合作，最后，臺(tái)積電在2004年與ASML共同完成開(kāi)發(fā)全球第一臺(tái)潤(rùn)式微影機(jī)臺(tái)，讓業(yè)界在震驚之余也刮目相看。

如今，浸潤(rùn)式顯影不但是英特爾（Intel）等半導(dǎo)體龍頭、設(shè)備商所認(rèn)定的跨入45納米制程之后的解決方案，也已正式納入國(guó)際半導(dǎo)體藍(lán)圖架構(gòu)成為主流。

林本堅(jiān)曾說(shuō)，22納米制程之后多重直接式電子束（E-Beam Direct Write）將是最佳解決方案，他說(shuō)航太工程的演進(jìn)給了他許多靈感，他巧妙地比喻，現(xiàn)在許多設(shè)備商投入的EUV設(shè)備就像是太空梭一樣成本太昂貴，又不適合載客，E-Beam就是向不需要飛行跑道的直升機(jī)，可以直接空降在晶圓上，靈巧又符合成本效益?？磥?lái)“一沙一世界、一納米一宇宙”這句話用在他身上再洽當(dāng)也不過(guò)了。

「雖千萬(wàn)人，吾往矣！ 」林本堅(jiān)如此形容他2002 到 04 年那改寫(xiě)歷史的一役。

當(dāng)時(shí)狀況是這樣的：隨著半導(dǎo)體制程往下演進(jìn)，關(guān)鍵制程之一的微影，也得持續(xù)縮短光束波長(zhǎng)。 一直以來(lái)，業(yè)界習(xí)慣以空氣為媒介，是「干式」的微影，但此技術(shù)卻已「撞墻」，在157 納米波長(zhǎng)卡關(guān)。 而當(dāng)時(shí)任職臺(tái)積電的林本堅(jiān)卻跳脫框架，退回157 納米波長(zhǎng)的上一世代，改用水做為介質(zhì)，發(fā)展出「浸潤(rùn)式微影」技術(shù)，讓光束波長(zhǎng)一舉縮短至134 納米，突破瓶頸。

這樣的破框思維，起初卻是孤獨(dú)，甚至遭受敵意。

因其他業(yè)者已投入共計(jì)逾十億美元研發(fā)經(jīng)費(fèi)在干式顯影上，接近當(dāng)時(shí)臺(tái)積電一整年的資本支出。 林本堅(jiān)的理論若被采用，等于宣告其他人前功盡棄。 臺(tái)積電前共同營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)蔣尚義為林本堅(jiān)寫(xiě)序：「（當(dāng)年）確實(shí)有大公司的高層主管表達(dá)嚴(yán)重關(guān)切，希望我能管管他（林本堅(jiān)），不要攪局。 」

對(duì)內(nèi)，林本堅(jiān)要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單，對(duì)外，則要說(shuō)服業(yè)界拋棄原有投入。

他的秘訣，是「徹底」2 字，徹底的思考，并徹底執(zhí)行。 「像下棋一樣，要先想好后面好幾步，」林本堅(jiān)說(shuō)，做事前，推演至窮盡，是他一直以來(lái)的習(xí)慣，「把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。 」

一位曾和林本堅(jiān)走過(guò)那一役的臺(tái)積電主管記得，起初反對(duì)方常在國(guó)際研討會(huì)上與臺(tái)積電針?shù)h相對(duì)，質(zhì)疑以水做為介質(zhì)易產(chǎn)生污染，且水中的氣泡會(huì)影響曝光等等。對(duì)外界疑慮有備而來(lái)的林本堅(jiān)，決定更徹底解決，便帶著團(tuán)隊(duì)在半年內(nèi)完成三篇論文，投稿到國(guó)際期刊，連還未被提出的質(zhì)疑也一并設(shè)想、響應(yīng)。 「原本一個(gè)美國(guó)大廠的代表說(shuō)他們絕不用這技術(shù)，結(jié)果一個(gè)（半導(dǎo)體制程）世代后，他們也用了。 」

除了論理，林本堅(jiān)的溝通也做得徹底，當(dāng)時(shí)他跑遍美國(guó)、日本、荷蘭與德國(guó)等地，一一拜會(huì)業(yè)界，促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉(zhuǎn)向。 他說(shuō)，溝通，是他從張忠謀身上學(xué)到重要的一課。

從他2000 年加入臺(tái)積電以來(lái)，張忠謀每一季便固定與三級(jí)主管們分兩梯次共進(jìn)午餐，與副總經(jīng)理們則每月聚會(huì)。 會(huì)中張忠謀與主管們可從公司發(fā)展聊到國(guó)際政經(jīng)情勢(shì)，包括臺(tái)積電最核心的「誠(chéng)信正直」、「承諾」等價(jià)值，也在其中凝聚，「董事長(zhǎng)會(huì)鼓勵(lì)大家問(wèn)他問(wèn)題，有時(shí)候大家問(wèn)得好，他就很高興的回答，什么都不吃了。 」

「想得徹底、做得徹底，是他的習(xí)慣，」和林本堅(jiān)牽手50 年的妻子黃修慧舉例，他擔(dān)任教會(huì)詩(shī)班指揮，許多成員不擅長(zhǎng)讀五線譜，遇到重復(fù)段落的符號(hào)，常忘記回頭重唱，一般指揮會(huì)不斷糾正提醒，但林本堅(jiān)則徹底解決問(wèn)題，重新謄打歌譜， 把重復(fù)符號(hào)后的譜直接寫(xiě)出來(lái)，讓所有人能順利唱下去。

不過(guò)，林本堅(jiān)的「徹底」帶著巧勁，他認(rèn)為遇到困難，有時(shí)不妨先停下、休息，甚至繞道，再前進(jìn)，會(huì)比只是遵循前人道路，一味的「愚公移山」好。 當(dāng)初他提出浸潤(rùn)式微影，就是繞出業(yè)界的慣常道路，迸出靈光。

「他常說(shuō)，想象可以無(wú)窮，只是實(shí)際運(yùn)用時(shí)，要謹(jǐn)慎，他從來(lái)不抑制工程師的任何想法，」前述臺(tái)積電主管表示，林本堅(jiān)相當(dāng)鼓勵(lì)部屬想象，如此才可能創(chuàng)新。

兩年前開(kāi)始在大學(xué)任教后，林本堅(jiān)也如此期許學(xué)生，不要成為填鴨教育「惡補(bǔ)的奴隸」。 他鼓勵(lì)學(xué)生們合作，規(guī)定有些作業(yè)必須組隊(duì)完成，就像他過(guò)去扭轉(zhuǎn)半導(dǎo)體規(guī)則，雖由他一人提出想法，后續(xù)卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持，并在外找到盟友，才能實(shí)踐劃時(shí)代的技術(shù)。

「我希望能盡量把一些有價(jià)值的事傳承給下一代，」和寫(xiě)書(shū)的初衷一樣，今年76歲的林本堅(jiān)，要持續(xù)以學(xué)校做為平臺(tái)，傳授思考與實(shí)踐之道。

芯禾應(yīng)用

芯禾科技為射頻芯片設(shè)計(jì)和生產(chǎn)提供了一個(gè)集成在cadence Virtuoso平臺(tái)上的工具集，內(nèi)嵌基于矩量法的三維全波電磁場(chǎng)仿真器，全面考慮導(dǎo)體趨膚效應(yīng)、臨近效應(yīng)以及介質(zhì)損耗等，

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