美國(guó)高端技術(shù)封鎖，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化能否加速進(jìn)程？

正值建軍節(jié)當(dāng)天，美國(guó)卻把矛頭指向了我國(guó)的軍工企業(yè)。美國(guó)商務(wù)部宣布，BIS（美國(guó)商務(wù)部工業(yè)安全局）以國(guó)家安全和外交利益為由，將44家中國(guó)企業(yè)列入出口管制實(shí)體清單，而這44家企業(yè)大多為軍工研究企業(yè)，主要涉及中國(guó)航天科學(xué)與工業(yè)總公司（航天科工）及中國(guó)電子科技集團(tuán)公司（中國(guó)電科）旗下部分企業(yè)。

這意味著，美國(guó)正式對(duì)我國(guó)部分企業(yè)進(jìn)行高端技術(shù)封鎖。

眾所周知，我國(guó)軍工企業(yè)及高校自1989年年末就在北約國(guó)家禁運(yùn)名單上了。很多人一致認(rèn)為，經(jīng)過(guò)30年的發(fā)展，我國(guó)軍工企業(yè)國(guó)產(chǎn)化及自主化程度已很高，對(duì)美國(guó)的依賴(lài)度極低。事實(shí)上，負(fù)責(zé)軍品研究與制造的企業(yè)，受影響不大，但另外一部分涉及到民用產(chǎn)品的企業(yè)卻與美國(guó)公司有諸多直接或間接的來(lái)往。

據(jù)《財(cái)經(jīng)》報(bào)道，多位相關(guān)人士表示，此前美國(guó)一直態(tài)度模糊，這是第一次明確、公開(kāi)實(shí)施“出口管制”。同時(shí)，因?yàn)闃I(yè)務(wù)范圍不同，44家公司受影響程度也不同。同時(shí)，報(bào)道稱(chēng)，一位國(guó)外芯片代理商銷(xiāo)售總監(jiān)表示，一些芯片代理商已經(jīng)停止向這44家企業(yè)發(fā)貨，而這些企業(yè)的備件最多只能周轉(zhuǎn)三個(gè)月。

國(guó)產(chǎn)替代仍需時(shí)日，美國(guó)高端技術(shù)封鎖是否向半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域蔓延備受關(guān)注

盡管此次美國(guó)高端技術(shù)封鎖，涉及到的是中國(guó)電科下屬的研究所以及研究所下屬的公司。但不少業(yè)內(nèi)人士擔(dān)心技術(shù)封鎖會(huì)延伸到半導(dǎo)體設(shè)備或者材料領(lǐng)域。

此前，市場(chǎng)就表現(xiàn)出了對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備被特朗普政府納入出口管制清單的極度擔(dān)憂(yōu)，這種擔(dān)憂(yōu)在美國(guó)市場(chǎng)與中國(guó)市場(chǎng)同樣存在。前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中，美國(guó)廠商占據(jù)了近一半的席位，在我國(guó)大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的背景下，國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商紛紛表示要助力中國(guó)半導(dǎo)體成長(zhǎng)，并看好自身在中國(guó)市場(chǎng)的機(jī)遇；而半導(dǎo)體設(shè)備一直是我國(guó)最薄弱的一個(gè)環(huán)節(jié)，主要依賴(lài)于進(jìn)口，本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商市占率僅占全球份額的1-2%。

天風(fēng)證券研究所研究報(bào)顯示，當(dāng)前我國(guó)處于中端設(shè)備實(shí)現(xiàn)突破、初步產(chǎn)業(yè)鏈成套布局的階段，高端制程/產(chǎn)品仍需攻克，短期內(nèi)可通過(guò)與非美海外企業(yè)合作，降低對(duì)美國(guó)的依賴(lài)。

北京半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)技術(shù)研究部部長(zhǎng)朱晶曾表示，這44家軍工企業(yè)的部分業(yè)務(wù)是長(zhǎng)期被技術(shù)封鎖的，目前影響并不好估計(jì)，有很多觀點(diǎn)說(shuō)利好國(guó)內(nèi)設(shè)備，但其實(shí)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備替代的過(guò)程相當(dāng)漫長(zhǎng)，所以一旦技術(shù)封鎖升級(jí)到涉及民用業(yè)務(wù)，受傷害的會(huì)是半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈，沒(méi)有一個(gè)環(huán)節(jié)，一個(gè)公司可以避開(kāi)影響。

綜合以上觀點(diǎn)，尋求國(guó)產(chǎn)設(shè)備替代仍需一些時(shí)間。

那么，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備究竟是怎樣的水平？美國(guó)對(duì)我國(guó)的高端技術(shù)封鎖是否會(huì)對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備廠商產(chǎn)生影響？下面我們就結(jié)合天風(fēng)證券的研究報(bào)告來(lái)解析一下這些問(wèn)題。

我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展水平現(xiàn)狀

我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商起步晚，整體規(guī)模較小。根據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2016年我國(guó)前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商共完成銷(xiāo)售48.34億元人民幣，與國(guó)內(nèi)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模相距甚遠(yuǎn)。2017年體量最大的中電科和晶盛機(jī)電營(yíng)收在10億元左右體量徘徊，我們估算國(guó)內(nèi)設(shè)備銷(xiāo)售額總量占世界半導(dǎo)體銷(xiāo)售規(guī)模僅2%左右。

半導(dǎo)體設(shè)備類(lèi)型極其繁多，可按照工藝流程可分為晶圓制造設(shè)備、測(cè)試設(shè)備、封裝設(shè)備、前端相關(guān)設(shè)備四大類(lèi)，其中，晶圓制造設(shè)備又可分為8類(lèi)。賽迪顧問(wèn)股份有限公司副總裁李珂曾表示，我國(guó)設(shè)備僅在部分品種實(shí)現(xiàn)了單點(diǎn)突破，等離子刻蝕機(jī)、MOCVD、清洗劑等設(shè)備已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，但尚不具備面向先進(jìn)工藝的成套工藝能力。

天風(fēng)證券研究數(shù)據(jù)表明，國(guó)產(chǎn)設(shè)備已形成初步產(chǎn)業(yè)鏈成套布局，部分設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用，預(yù)計(jì)部分設(shè)備在短期1-2年內(nèi)可逐步實(shí)現(xiàn)訂單轉(zhuǎn)移。目國(guó)內(nèi)設(shè)備在關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了產(chǎn)業(yè)鏈成套布局——曝光Liho、刻蝕ETCH、薄膜CVD、濕法WET、檢測(cè)、熱處理、測(cè)試等環(huán)節(jié)，且部分工藝制程能夠滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)客戶(hù)的需求，目前已有多項(xiàng)產(chǎn)品已經(jīng)批量出貨，其中主要的廠商有北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、 睿勵(lì)科儀和上海盛美半導(dǎo)體等。

此外，由上圖可以看到我國(guó)在光刻機(jī)等領(lǐng)域，技術(shù)節(jié)點(diǎn)要落后國(guó)際先進(jìn)水平很多。天風(fēng)證券研究數(shù)據(jù)顯示，目前世界半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)水平處于12英寸7nm，生產(chǎn)水平達(dá)到12英寸14nm；而我國(guó)設(shè)備研發(fā)水平還處于12英寸14nm，生產(chǎn)水平為12英寸65-28nm?？傮w來(lái)看，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在先進(jìn)制程上與國(guó)際先進(jìn)水平有2-6年的時(shí)間差；具體來(lái)看，65/55/40/28nm光刻機(jī)、40/28nm的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)國(guó)產(chǎn)化率依然為0，28nm化學(xué)氣相沉積設(shè)備、快速退火設(shè)備、國(guó)產(chǎn)化率很低。

我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備落后的原因是多方面的，并非是設(shè)備廠商自身的原因，大家都知道精密的設(shè)備需要精密的組件，而精密的組件又需要精密的設(shè)備來(lái)制作，因此產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展是半導(dǎo)體設(shè)備取得突破的關(guān)鍵。目前看，半導(dǎo)體設(shè)備尤其是高端半導(dǎo)體設(shè)備，即便是自主化的設(shè)備，很多關(guān)鍵零部件與流程設(shè)計(jì)仍掌握在美日韓歐的企業(yè)手中。

將天風(fēng)證券研究匯總的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)內(nèi)主要參與者與被列入管制名單的44家企業(yè)進(jìn)行比對(duì)，可發(fā)現(xiàn)這些參與者并未被列入新增的出口管制實(shí)體清單。這在一定程度上說(shuō)明，這些企業(yè)在關(guān)鍵零部件與流程設(shè)計(jì)上或許被未被嚴(yán)格“扼殺”。

目前看，我國(guó)在中端設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的突破。但光刻機(jī)領(lǐng)域，一直是我國(guó)的一個(gè)最大短板，國(guó)產(chǎn)化率極低，且高端的EUV光刻機(jī)只能從ASML采購(gòu)。

2008年之前我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備基本全靠進(jìn)口，隨后我國(guó)通過(guò)設(shè)立“02專(zhuān)項(xiàng)”實(shí)現(xiàn)了部分設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，縮小了與國(guó)際領(lǐng)先水平的差距——介質(zhì)刻蝕機(jī)方面：中微半導(dǎo)體進(jìn)入7nm制程，成為臺(tái)積電五大供貨商之一；硅刻蝕機(jī)方面，北方華創(chuàng)進(jìn)入中芯國(guó)際28nm生產(chǎn)線(xiàn)；沈陽(yáng)拓荊量產(chǎn)12英寸65nm的PECVD設(shè)備等。封裝制程工藝設(shè)備：刻蝕機(jī)、 PVD、光刻機(jī)、清洗機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備已經(jīng)基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)顯示，蝕刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率從10年0%提升到16年的96%，封裝PVD設(shè)備從12年0%提升到16年的68%。

可見(jiàn)，我國(guó)在自主半導(dǎo)體設(shè)備尤其是光刻機(jī)及相關(guān)配套設(shè)備的推進(jìn)過(guò)程中，是極其艱難的。

助力我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備上市公司不斷擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)布局

北方華創(chuàng)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭

北方華創(chuàng)由七星電子和北方微電子戰(zhàn)略重組而成，主要產(chǎn)品包括高端電子工藝裝備和精密電子器件，構(gòu)建了半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備和精密電子元器件四大產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，已完成ETCH、PVD、清洗機(jī)、氧化爐、LOCVD（低氣壓化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）和氣體質(zhì)量控制器（MFC）等多個(gè)項(xiàng)目，是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，研發(fā)能力全國(guó)領(lǐng)先，訂單持續(xù)驗(yàn)證。如今，北方華創(chuàng)28mm設(shè)備陸續(xù)實(shí)現(xiàn)商用化，應(yīng)用于14mm制程的等離子刻蝕機(jī)處于研發(fā)階段。

北方華創(chuàng)也在不斷擴(kuò)大其產(chǎn)業(yè)布局及生產(chǎn)能力，例如2017年收購(gòu)美國(guó)Akrion Systems LLC公司，拓展其清洗機(jī)設(shè)備產(chǎn)品線(xiàn)；今年5月北方華創(chuàng)二期項(xiàng)目（微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目）正式投入生產(chǎn)，預(yù)計(jì)可新增百余臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)能力，產(chǎn)能大幅提升。

與此同時(shí)，進(jìn)一步加快同中芯國(guó)際等企業(yè)合作，完善集成電路產(chǎn)業(yè)布局。

晶盛機(jī)電，硅片制造設(shè)備

2012年，晶盛機(jī)電承擔(dān)02專(zhuān)項(xiàng)硅單晶設(shè)備研制項(xiàng)目，成功生長(zhǎng)出目前國(guó)內(nèi)最大的18英寸半導(dǎo)體級(jí)硅單晶棒。目前，晶盛機(jī)電已掌握12英寸集成電路用硅片晶體生長(zhǎng)技術(shù)，并成功銷(xiāo)往***；同時(shí)6-8英寸的設(shè)備也被多家國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)采購(gòu)。

晶盛機(jī)電是國(guó)內(nèi)技術(shù)先進(jìn)的光伏及半導(dǎo)體晶體硅生長(zhǎng)設(shè)備供應(yīng)商，主要產(chǎn)品有單晶生長(zhǎng)爐、多晶硅鑄錠爐、藍(lán)寶石晶體爐、區(qū)熔硅單晶爐、單晶硅滾圓機(jī)、單晶硅截?cái)鄼C(jī)等，已覆蓋大硅片多數(shù)中后端加工設(shè)備，其下游客戶(hù)涵蓋了除隆基以外的所有硅片廠家，包括中環(huán)、晶科、晶澳、保利協(xié)鑫等。

晶盛機(jī)電采取綁定客戶(hù)共同成長(zhǎng)的策略，半導(dǎo)體設(shè)備有望接力光伏設(shè)備產(chǎn)品，成為其新的增長(zhǎng)點(diǎn)。中環(huán)集團(tuán)為公司的光伏和半導(dǎo)體設(shè)備的大客戶(hù)，公司前瞻性的通過(guò)投資參股形式共同成立單晶硅生長(zhǎng)企業(yè)“中環(huán)領(lǐng)先”，該項(xiàng)目致力于“半導(dǎo)體級(jí)單晶硅”領(lǐng)域的突破。既能幫助晶盛機(jī)電進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)，又利于半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)擴(kuò)展。今年7月，晶盛機(jī)電發(fā)布公告稱(chēng)，收到中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司的中標(biāo)通知書(shū)，成功中標(biāo)中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司集成電路用8-12 英寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目四工段設(shè)備采購(gòu)第一包和第二包，共計(jì)4.03億元人民幣。

長(zhǎng)川科技，后端設(shè)備

長(zhǎng)川科技主要產(chǎn)品包括集成電路后端生產(chǎn)過(guò)程所需測(cè)試機(jī)、分選機(jī)和探針臺(tái)等，其中明星產(chǎn)品為測(cè)試機(jī)和分選機(jī)，并占據(jù)公司大部分營(yíng)收份額，下游主要客戶(hù)為集成電路封裝測(cè)試企業(yè)、晶圓制造企業(yè)、芯片設(shè)計(jì)企業(yè)。

據(jù)悉，截至2016年底，長(zhǎng)川科技在測(cè)試機(jī)、分選機(jī)兩大核心產(chǎn)品領(lǐng)域已取得57項(xiàng)專(zhuān)利權(quán)，29項(xiàng)軟件著作權(quán)，打破了被國(guó)外壟斷的技術(shù)壁壘。自2013年起，長(zhǎng)川科技將產(chǎn)品升級(jí)作為銷(xiāo)量核心驅(qū)動(dòng)力，持續(xù)推出新產(chǎn)品并進(jìn)行產(chǎn)品升級(jí)，不斷打破行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加強(qiáng)對(duì)企業(yè)毛利帶來(lái)的局限，準(zhǔn)確把握國(guó)產(chǎn)替代機(jī)遇。

貿(mào)易戰(zhàn)或促使半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速，可與非美海外企業(yè)合作

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)預(yù)計(jì)，未來(lái)17-20年間投產(chǎn)的62座晶圓廠中26座設(shè)于大陸，其中半導(dǎo)體設(shè)備是晶圓代工廠的最大投資項(xiàng)，約占70-80%。后續(xù)隨著國(guó)內(nèi)在建產(chǎn)線(xiàn)的落地，以及良率的爬升、產(chǎn)能的擴(kuò)充，屆時(shí)對(duì)設(shè)備的需求會(huì)進(jìn)一步提升，在未來(lái)幾年內(nèi)仍會(huì)是出現(xiàn)一個(gè)設(shè)備需求的高峰期。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的業(yè)務(wù)基本集中于國(guó)內(nèi)，在不受高端技術(shù)封鎖的前提下，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商受貿(mào)易戰(zhàn)影響甚微，而這些廠商也將成為在這次晶圓廠建設(shè)的浪潮中深度受益者，例如晶盛機(jī)電。

且不提此次美國(guó)發(fā)起的貿(mào)易戰(zhàn)與高端技術(shù)封鎖，多年來(lái)，在“瓦圣納協(xié)議”的技術(shù)封鎖下，我國(guó)在半導(dǎo)體核心設(shè)備特別是晶圓制造設(shè)備的采購(gòu)中面臨諸多困難，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化必然的選擇。業(yè)內(nèi)人士表示，美國(guó)發(fā)起的貿(mào)易戰(zhàn)與高端技術(shù)封，讓我們?cè)俅紊羁桃庾R(shí)到我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)存在的短板，這將促使半導(dǎo)體設(shè)備加速?lài)?guó)產(chǎn)化。當(dāng)然，這仍需要一個(gè)漫長(zhǎng)的過(guò)程，可加強(qiáng)與非美海外企業(yè)合作，加速這一過(guò)程。這恰與天風(fēng)證券研究員的觀點(diǎn)一致。