由一系列并排運行的波導(dǎo)組成(頂部圖片所示)的壓力傳感器。當(dāng)波導(dǎo)之間的間隙變窄,來自通道1的光線可以跳入到通道2(底部圖片所示)。壓力越大,間隙越窄,因此更多的光線會從通道1進入通道2。圖片來源:韓國大田電子和電信研究所據(jù)麥姆斯咨詢報道,韓國科學(xué)家研發(fā)出一種基于光照的新型壓力傳感器,它可以創(chuàng)建更為敏感的人造皮膚,使機器人、可穿戴人體血壓監(jiān)測儀和光學(xué)透明的觸摸屏及設(shè)備更好的觸摸感。
研究人員在光學(xué)學(xué)會(OSA)的期刊Optics Letters上報告了這種新型壓力傳感器。該傳感器通過分析嵌入在聚二甲基硅氧烷(PDMS,一種常見的有機硅)中的微小隧道的光量變化來檢測壓力。研究人員表示,與之前的壓力傳感器相比,哪怕是非常輕微的壓力,這種靈活、透明的設(shè)備也能感應(yīng)到,而且不易發(fā)生故障,因此將嵌入式光學(xué)傳感器穿過大面積區(qū)域也是可行的。韓國大田電子和電信研究所的Suntak Park說:“有機硅片可以放在顯示器面板上以啟用觸摸屏,或者可以作為人造皮膚層包裹在機器人表面,用于觸覺交互??紤]到PDMS是一種非常知名的生物兼容且無毒的材料,傳感器片甚至可以應(yīng)用于人體上或人體內(nèi)部,例如,可用于人體血壓監(jiān)測?!痹谥T如空氣動力學(xué)和流體動力學(xué)等研究領(lǐng)域,測量曲面上的壓力分布非常重要。Park表示,該傳感器可用于研究飛機、汽車和船舶表面的壓力效應(yīng)。
避免干擾
如今現(xiàn)有的壓力傳感器大多數(shù)都是基于電子器件的。例如,通常用作加速度計、流量計和氣壓傳感器的壓阻傳感器,在受到機械應(yīng)變時會改變其電阻大小。而電子系統(tǒng)的問題在于它們可能會受到來自電源、附近儀器和帶電物體的電磁干擾。它們還含有金屬成分,可以阻擋光線進入并受到侵蝕?!拔覀兊膫鞲衅骶筒粫霈F(xiàn)這些問題,因為傳感裝置嵌入在硅橡膠板中間。”Park說,“與電氣方法相比,我們的光學(xué)方法更適用于大面積的、抗電磁干擾和高視覺透明度的應(yīng)用?!?/p>
利用光照感測壓力
文章開頭提到的裝置的工作原理是通過精確排列的一對微管(即光子隧道結(jié)陣列)來測量光的流動?!皦好艄庾铀淼澜Y(jié)陣列由光導(dǎo)通道組成,外部壓力會改變通過它們傳輸?shù)墓獾牧炼??!盤ark說,“這就類似于閥門或水龍頭在分流節(jié)點上的工作方式?!边@些管道或波導(dǎo)彼此平行嵌入在PDMS中。有一部分管道之間距離足夠近,就能夠使通過第一管道(通道1)的光進入到第二通道(通道2)。當(dāng)施加壓力時,PDMS被壓縮,就可以改變通道之間的間距,那么會有更多的光進入通道2。同時,壓力的增加還會引起PDMS中光線折射率的改變。光線通過一端的光纖進入設(shè)備,由另一端的光電二極管收集。隨著壓力的增加,通道1中的光線越來越少,更多的光線涌入到通道2中。通過測量來自每條通道遠端的光的亮度,研究人員可以知曉施加了多少壓力。雖然已經(jīng)開發(fā)出了其他光學(xué)壓力傳感器,但這是第一個將傳感結(jié)構(gòu)嵌入到PDMS內(nèi)的器件。而嵌入式設(shè)備可以保護系統(tǒng)免受侵害。
測試結(jié)果
為了測試該裝置,研究人員在傳感器頂部放置了一個“壓力觸點”并逐漸增加壓力。在一個長度為5mm的傳感器中嵌入50μm厚的PDMS板,研究人員在大約40千帕(kPa)的壓力下,測量出光學(xué)功率的變化為140%。這個實驗表明,該裝置能夠檢測低至1kPa的壓力,與人類手指的敏感度大致相同。而心跳之間的血壓變化約為5千帕,因此該裝置完全可用于人體血壓監(jiān)測。Park說,我們需要采取幾個步驟讓傳感器從實驗室走出,應(yīng)用到實際設(shè)備上。一是開發(fā)一種更簡單的方式來連接將光線移入和移出傳感器的光纖。在開發(fā)原型時,研究小組就使用了精密校準(zhǔn)工具,不過這對于大多數(shù)商業(yè)應(yīng)用來說過于昂貴和耗時。如今有一種被稱為尾纖的替代方法,電信公司用它來耦合系統(tǒng)中的光纖,應(yīng)該會讓這個過程更容易一點。此外,該小組還使用了一維傳感器測試了他們的設(shè)備,而大多數(shù)應(yīng)用需要二維傳感器陣列。該測試通過將一維薄片旋轉(zhuǎn)90度,再將其放置在另一個薄片上面,從而創(chuàng)建交叉陰影陣列來實現(xiàn)。傳感器的尺寸和間距需要針對不同的應(yīng)用進行改變或優(yōu)化。
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原文標(biāo)題:新型光學(xué)壓力傳感器賦予人造皮膚更好的觸摸感
文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
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