允升吉電鑄FMM在高世代AMOLED面板量產(chǎn)線上進行了蒸鍍測試

近日，允升吉公司制作的電鑄G 5.5 Q divided mask在高世代AMOLED面板量產(chǎn)線上進行了蒸鍍測試，取得了重大突破。據(jù)業(yè)內(nèi)信息確認，這是電鑄技術(shù)制造的FMM（Fine Metal Mask）首次應(yīng)用于高世代AMOLED量產(chǎn)線進行實際蒸鍍，試驗了各種預(yù)設(shè)工藝參數(shù)和精度，達到了關(guān)鍵參數(shù)可控的目標(biāo)；解決了位置精度（PPA）、開口精度（CD）、焊接性能、熱膨脹、平整度等一系列技術(shù)問題。

圖1.允升吉FMM

目前AMOLED面板量產(chǎn)的主流方式是真空蒸鍍，而真空蒸鍍必須用到FMM。作為關(guān)鍵物料的FMM，主要有蝕刻、電鑄、多重材料復(fù)合三種制作工藝。以前FMM的制作廣泛采用的是蝕刻工藝，但隨著OLED產(chǎn)業(yè)向高世代高分辨率方向發(fā)展，現(xiàn)有的蝕刻工藝一方面面臨原材料（Invar alloy）在技術(shù)上及采購上的限制，另一方面蝕刻工藝在產(chǎn)品精密度上越來越不能滿足要求，而電鑄工藝在制作高世代FMM的優(yōu)勢逐漸體現(xiàn)出來。允升吉公司作為國內(nèi)首家從事OLED蒸鍍用金屬MASK研發(fā)的企業(yè)，在電鑄制作FMM方面擁有10多年的技術(shù)積累，自主承擔(dān)了兩項國家863計劃，目前在OLED蒸鍍用FMM方面申請專利308件。近兩年在OLED蒸鍍用FMM產(chǎn)品研制如下：

1.2017年6月，300ppiFMM樣品制作完成并通過客戶測試；

2.2017年8月，300～800ppiFMM產(chǎn)品開始小批量制作，其中814ppi的屏幕于2018年1月成功點亮發(fā)布，刷新了當(dāng)時國內(nèi)AMOLED屏幕最高像素密度紀錄；

3.2017年12月，6.2"全面屏FMM產(chǎn)品制作完成；

4.2018年9月，1000ppiFMM產(chǎn)品制作完成。

圖2.應(yīng)用允升吉FFM研制的814ppi AMOLED顯示屏

當(dāng)前，維信諾、京東方、華星光電、天馬等國內(nèi)眾多OLED面板廠在各地紛紛布局G 5.5以上高世代AMOLED面板量產(chǎn)線，而國家公布的《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄（2016版）》“新型顯示器件”中明確規(guī)定“5.5代及以上精細金屬掩膜板”為重點發(fā)展方向。允升吉將在用戶的積極配合下，繼續(xù)進行固化數(shù)據(jù)、穩(wěn)定工藝、迭代測試等工作。爭取早日將電鑄技術(shù)的Divided FMM用于實際量產(chǎn)，實現(xiàn)我國AMOLED行業(yè)關(guān)鍵配套材料的國產(chǎn)化跨越式發(fā)展。