中芯寧波廠200mm特種工藝N1產(chǎn)線正式投產(chǎn)

11月2日，中芯集成電路(寧波)有限公司歷經(jīng)七個(gè)月的建設(shè)，200mm特種工藝(晶圓/芯片)N1產(chǎn)線將迎來(lái)正式投產(chǎn)的重要時(shí)刻，同時(shí)，中芯寧波N2項(xiàng)目、南大光電與安集微電子等三個(gè)項(xiàng)目也正式動(dòng)工。

截至目前，芯港小鎮(zhèn)共有中芯寧波、恒碩科技、錦越新材料等19個(gè)項(xiàng)目落戶，涉及芯片制造、關(guān)鍵材料、設(shè)備、設(shè)計(jì)等4大類別，計(jì)劃投資超100億元，大都為國(guó)內(nèi)細(xì)分領(lǐng)域排名第一或打破國(guó)外壟斷實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)零突破的標(biāo)桿項(xiàng)目。

這不僅是項(xiàng)目物理數(shù)量的加法，更是項(xiàng)目間互動(dòng)構(gòu)建起業(yè)態(tài)的乘法，材料生產(chǎn)、IC制造、封裝測(cè)試等產(chǎn)業(yè)生態(tài)相互銜接、襯托、拉動(dòng)，將使產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生驚人的“化學(xué)反應(yīng)”。

“火車頭”引領(lǐng)強(qiáng)勢(shì)增長(zhǎng)

近年來(lái)，北侖在新一輪集成電路發(fā)展大勢(shì)中迅速上位，得益于產(chǎn)業(yè)發(fā)展的龍頭引領(lǐng)效應(yīng)。而龍頭項(xiàng)目的特點(diǎn)之一就是創(chuàng)新工藝?yán)水a(chǎn)業(yè)高度。

在N1產(chǎn)線上，一塊塊晶圓經(jīng)過(guò)多道工序精密加工，變成了一顆顆芯片，這些芯片都將應(yīng)用在手機(jī)、電腦等各種智能裝備領(lǐng)域中。

未來(lái)，中芯寧波將建成中國(guó)最大的模擬半導(dǎo)體特種工藝的研發(fā)、制造產(chǎn)業(yè)基地，采用專業(yè)化晶圓代工與定制產(chǎn)品代工相結(jié)合的新型商業(yè)模式，并提供相關(guān)產(chǎn)品設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)。

而這背后浸透了這兩年來(lái)中芯寧波在基礎(chǔ)工藝設(shè)計(jì)上的沉淀。去年初，中芯寧波完成對(duì)日銀IMP全套高壓模擬工藝及產(chǎn)品知識(shí)產(chǎn)權(quán)收購(gòu)。

4個(gè)月后，2017年5月，依托中芯國(guó)際強(qiáng)大的科研實(shí)力，首款600V BCD高壓模擬工藝及產(chǎn)品5-8英寸轉(zhuǎn)換成功，良率達(dá)到99%，這也標(biāo)志著高壓模擬芯片的國(guó)產(chǎn)化目標(biāo)在寧波獲得成功，并實(shí)現(xiàn)與美的等系統(tǒng)廠商的戰(zhàn)略合作。

相比以往建設(shè)流程，這次中芯在產(chǎn)線引進(jìn)上，同步引入了設(shè)計(jì)工藝，產(chǎn)業(yè)鏈更趨完整，兩年來(lái)，北侖招商團(tuán)隊(duì)等部門和中芯寧波的默默付出和耕耘，正讓“中國(guó)模擬集成電路技術(shù)高地”加快形成。

項(xiàng)目集聚帶來(lái)“馬太效應(yīng)”

領(lǐng)軍型戰(zhàn)略項(xiàng)目鑄就了北侖前半程的產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度，今天，這種龍頭效應(yīng)隨著南大光電、安集微電子等項(xiàng)目的開工，再次激發(fā)了北侖集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新動(dòng)能。

近年來(lái)，一邊是中芯寧波熱火朝天的建設(shè)熱潮，一邊是重大項(xiàng)目接踵而至的強(qiáng)勁勢(shì)頭，這也意味著“馬太效應(yīng)”正在顯現(xiàn)——當(dāng)以重大項(xiàng)目為引領(lǐng)的優(yōu)勢(shì)逐漸顯現(xiàn)，各種要素資源必然更快地向產(chǎn)業(yè)高地匯聚。

寧波南大光電將在國(guó)內(nèi)首次建立ArF光刻膠產(chǎn)品大規(guī)模生產(chǎn)線，形成年產(chǎn)25噸ArF(干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，同時(shí)企業(yè)還將建立國(guó)內(nèi)第一個(gè)專業(yè)用于ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)的檢測(cè)評(píng)估平臺(tái)；

安集材料基地項(xiàng)目計(jì)劃年產(chǎn)高端微電子材料3500噸，致力于服務(wù)國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先的集成電路制造企業(yè)。另外芯港小鎮(zhèn)還有2個(gè)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目將在今年年底前開工建設(shè)，并在2018年底至2020年陸續(xù)建成投產(chǎn)，預(yù)計(jì)這5個(gè)項(xiàng)目年產(chǎn)值達(dá)100億元。

從制造到設(shè)計(jì)，北侖耦合產(chǎn)業(yè)矩陣，打造全新生態(tài)體系。今年上半年，累計(jì)7個(gè)芯片集成電路設(shè)計(jì)及軟件服務(wù)類項(xiàng)目先后落戶我區(qū)，同時(shí)，在談項(xiàng)目涉及材料、設(shè)備、封測(cè)等集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈。

兩年里，北侖圍繞平臺(tái)，聚力發(fā)展集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)、做強(qiáng)特種工藝集成電路產(chǎn)業(yè)、做精特色集成電路材料產(chǎn)業(yè)、做大集成電路制造業(yè)及封裝測(cè)試和配套產(chǎn)業(yè)，構(gòu)建“設(shè)計(jì)—制造—集成—應(yīng)用”較為完善的產(chǎn)業(yè)鏈。

隨著項(xiàng)目的落地，國(guó)內(nèi)外集成電路專家紛至沓來(lái)。目前已吸引院士、博士級(jí)高端人才40余名。同時(shí)，已到崗的中芯寧波團(tuán)隊(duì)人數(shù)超300人，成員都曾是英特爾、英飛凌、霍尼韋爾、臺(tái)積電、中芯國(guó)際等著名企業(yè)的高級(jí)人才。

“店小二”式服務(wù)保證項(xiàng)目順利實(shí)施

從項(xiàng)目落地、資金到位、開工建設(shè)到基礎(chǔ)工程開始，中芯寧波書寫了集成電路產(chǎn)業(yè)的北侖速度、北侖質(zhì)量。

今年5月，中芯寧波提出位于小港的N1產(chǎn)線的熱力管道還未鋪設(shè)，這也就意味著廠房建設(shè)完畢無(wú)法達(dá)到車間環(huán)境要求，無(wú)法進(jìn)行動(dòng)力中心調(diào)試?！捌髽I(yè)對(duì)車間的要求堪比手術(shù)室，必須要有相關(guān)環(huán)境參數(shù)達(dá)到要求后才能開啟設(shè)備?！毙靖坌℃?zhèn)建設(shè)管理中心相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)。

芯港小鎮(zhèn)建設(shè)管理中心立即聯(lián)系了街道、開發(fā)區(qū)熱電等部門，經(jīng)過(guò)多次協(xié)調(diào)，在原有的地下錯(cuò)綜復(fù)雜的管線“夾縫”中設(shè)計(jì)出了唯一一條管線通道，并在一個(gè)月內(nèi)實(shí)現(xiàn)開工建設(shè)，比一般流程縮短了一半以上的時(shí)間。

在連續(xù)生產(chǎn)過(guò)程中，集成電路企業(yè)要求電力運(yùn)行平穩(wěn)，有雙回路電路保證供電安全。芯港小鎮(zhèn)建設(shè)管理中心與區(qū)公建中心、供電局緊密配合，以建設(shè)專線、電力管網(wǎng)等多種方式，滿足企業(yè)需求。

而在企業(yè)外部，芯港小鎮(zhèn)規(guī)劃道路設(shè)計(jì)中單列了抗震要求，未來(lái)在施工過(guò)程中將加入特殊材料，保證運(yùn)輸重型車輛不會(huì)對(duì)周邊集成電路企業(yè)產(chǎn)生影響，這也是全區(qū)少數(shù)單獨(dú)強(qiáng)化抗震強(qiáng)度的區(qū)域。

目前，芯港小鎮(zhèn)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)項(xiàng)目共16個(gè)，其中在建及今年開工項(xiàng)目7個(gè)、前期項(xiàng)目3個(gè)、水電氣配套項(xiàng)目6個(gè)?！拔磥?lái)針對(duì)高端人才的需求，我們還將同步配套公寓樓、辦公設(shè)施，打造宜居宜業(yè)的人文環(huán)境?！痹撠?fù)責(zé)人說(shuō)。