國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”通過驗收

11月29日，由中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”通過驗收，該裝備用365nm波長的紫外光單次成像實現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學超材料/超表面、第三代光學器件、傳感芯片等納米光學加工提供了全新的解決途徑。

本項目利用表面等離子體（surface plasma，SP）超分辨成像原理，突破了衍射極限，開辟了“新”光刻技術和裝備，并擁有完全自主產權，解決了產業(yè)應用難題。項目完成驗收的消息一出，立即刷爆了所內職工、同學的朋友圈，卻也引發(fā)了行業(yè)內和公眾的爭論和質疑。

“中國芯片白菜價在即”、“彎道超車”這些詞匯，讓不明真相的群眾振奮不已，也讓光學、精密機械、微電子等領域的人士生疑和擔憂。這些其實都是部分媒體對國產***的過度宣傳所致。***因能生產芯片而被人們熟知，是除了印鈔機以外，大概最能賺錢的機器。然而光電所研制的超分辨***與ASML、尼康等公司的***定位不同，并不用于IC（Integrated Circuit，集成電路）芯片的生產，媒體的誤導性宣傳讓超分辨***項目成果和相關科研人員受到了不應有的質疑。

光電所自2003年起在超分辨成像光刻技術方面進行了深入系統(tǒng)地探索，取得了多項技術突破。2012年承擔了國家重大科研裝備——超分辨光刻裝備項目，在近7年間，先后實現(xiàn)了50nm、45nm、32nm超分辨成像光刻，到目前單次曝光最高線寬分辨力達到22nm的結果，是經過了長期的技術攻關、積累和沉淀的。

超分辨光刻裝備研制項目目前已獲得了授權國內發(fā)明專利47項，國外發(fā)明專利4項，擁有完全自主知識產權。

***不止于制造芯片，本項目所研制的光刻設備用于多種納米功能器件的制造，并已為多所高校及研究所制備大口徑薄膜鏡、超導納米線單光子探測器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片、超表面成像器件等，達到實用化水平。

驗收會上，光電所稱超分辨光刻設備用于芯片生產還需要攻克一系列技術難關，與國際領先技術的距離還很遙遠。然而，光電所經過多年的技術積累和沉淀，開辟“新”光刻技術和裝備，技術完全自主可控，達到實用化水平，在超分辨成像光刻領域仍是國際領先水平。

科學工作者們深知飯要一口一口吃的道理，項目通過驗收后，光電所專家們將繼續(xù)擴展超分辨光刻裝備的功能。而媒體也應在宣傳我國科研力量崛起的同時，尊重事實，讓大眾了解真相，也避免科研人員背鍋。