我國首臺艾司摩爾NXT2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠

此前，***霸主艾司摩爾（ASML）中國區(qū)總裁沈波在中國集成電路制造年會上表示，今年下半年艾司摩爾已開始出貨家族最先進(jìn)的NXT2000i，很快會在中國市場上也見到。如今，該消息正式被證實。12月19日晚間，中國首臺艾司摩爾NXT2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠。

此前有消息稱，艾司摩爾已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i雙工件臺深紫外***），可用于7nm和5nm節(jié)點。

NXT2000i將是NXE3400B EUV***的有效補(bǔ)充，畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。同時，NXT2000i也成為了艾司摩爾旗下套刻精度（overlay）最高的產(chǎn)品，達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm（5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。

據(jù)了解，艾司摩爾今年的EUV***產(chǎn)能將達(dá)到20臺，明后兩年將逐步提升到40臺。有消息稱，中芯國際已向艾司摩爾訂購了一臺EUV***，預(yù)計明年交付，用于7nm節(jié)點。

另外值得注意的是，無錫是SK海力士在中國的DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)基地，目前月產(chǎn)能約為14萬片/月。

此外，SK海力士還成立了SK Hynix System IC公司，開始進(jìn)軍晶圓代工市場。今年7月，SK Hynix還通過SK Hynix System IC（即“SHSI”）子公司跟無錫實業(yè)發(fā)展集團(tuán)達(dá)成合作協(xié)議，雙方合作成立了合資公司海辰半導(dǎo)體（無錫）有限公司。

其中，無錫實業(yè)發(fā)展集團(tuán)占股49.9%，SHSI占股50.1%，雙方將在無錫建設(shè)一座200mm晶圓廠，用于生產(chǎn)傳感器、電源管理芯片等。今年11月，SK海力士再次透過子公司SHSI向無錫晶圓代工事業(yè)出資1，000萬美元，但資金用途視廠房興建計劃而定。