據(jù)***《經(jīng)濟日報》消息,臺積電3nm工廠通過***環(huán)保署的環(huán)境評測環(huán)評大會。依據(jù)原定時程,全球第一座3nm廠有望在2020年動工,最快2022年底實現(xiàn)量產(chǎn)。
目前臺積電的7nm工藝已經(jīng)量產(chǎn),臺積電計劃2019年投產(chǎn)改進版本,將首次使用EUV極紫外光刻技術(shù)。此外,5nm工藝 將在2019年第一季度投入風(fēng)險性試產(chǎn),量產(chǎn)時間未定,估計也就在2019年年內(nèi)。
臺積電表示,5nm會在***南部科技園(STSP)的工廠里投產(chǎn),但后續(xù)產(chǎn)能擴充仍要視環(huán)境評估而定。
而對于3nm工藝,但工廠的選址一直懸而未決。
自從2016年臺積電宣佈將發(fā)展3nm制程后,已經(jīng)投入了數(shù)百名工程師。不過,對于3nm工廠的選址問題,臺積電便一直在評估,甚至將美國納入考慮。隨后在***政府承諾解決水電等相關(guān)問題后,也考量到對***經(jīng)濟的重要性,臺積電最后終于宣布將新廠將落腳在***的南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)臺南園區(qū)。
臺積電對3nm量產(chǎn)時程一直保密,除了防止對手三星加快投資腳步,也是因為環(huán)評案未過關(guān),避免橫生波折,如今隨著3nm環(huán)評案通過,讓臺積電可以順利興建晶圓18廠第四到六期新廠。
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臺積電
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原文標題:臺積電3nm工廠通過環(huán)評,最快2022年底量產(chǎn)
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