2018年三大Micro LED技術(shù)回顧

2018年即將過去，Micro LED技術(shù)的發(fā)展無疑是2018年LED產(chǎn)業(yè)最受矚目的區(qū)塊，在迎接2019年之前，先讓我們來回顧一下幾個Micro LED的重要時刻。

一、KAIST垂直可撓式MicroLED促進頭發(fā)生長

韓國科學(xué)技術(shù)院（KAIST）日前開發(fā)出一種Micro LED可穿戴裝置，運用垂直Micro LED，成功幫助小鼠重新長出毛發(fā)。

該裝置采用一組有900個垂直Micro LED的靈活陣列，在剃光毛發(fā)的小鼠背上進行了測試。經(jīng)過連續(xù)20天的治療，小鼠毛發(fā)生長的速度明顯快于未接受治療的小鼠。而且治療后小鼠新長出的毛發(fā)更長，毛發(fā)面積也更寬。

KAIST指出，Micro LED不會升溫到損害人體的皮膚，并且與傳統(tǒng)的光療激光器相比，每單位面積的能耗只是其千分之一。該研究成果可以為治療人類落發(fā)提供一個新的方法。

二、強化Micro LED的新基板材料問世

法國的Soitec更在制作氮化銦鎵高亮度藍色LED中，發(fā)明了一新基板InGaNOX，各色LED可同時于基板上長晶。在基板材料相同之下，三原色Micro LED便可用相同電壓驅(qū)動與控制。

三、新創(chuàng)與研究中心推創(chuàng)新Micro LED解決方案

英國公司Optovate成立于2008年，在開發(fā)Micro/Mini LED技術(shù)方面有悠久的歷史。今年3月，該公司宣布其在Micro LED方面取得兩項突破。首先，Optovate開發(fā)了一種使用紫外線雷射和可調(diào)整圖案掩膜的Micro LED剝離移轉(zhuǎn)技術(shù)，用于將Micro LED芯片從基板上打下并直接落在接收基板上。其次，Optovate還開發(fā)了光學(xué)陣列，可以將從Micro LED芯片射出的光線利用折射和反射原理匯聚集中。這一技術(shù)可控制微米級芯片出光，達到更高的效率，當(dāng)用于LCD和OLED面板背光、Micro LED面板等時，又能使應(yīng)用設(shè)計更加薄型化。

而比利時微電子研究中心(imec)也早已積極投入Micro LED設(shè)備的開發(fā)，著眼于將Micro LED芯片快速移轉(zhuǎn)至基板上的技術(shù)。透過其開發(fā)出的CSM機臺彈簧結(jié)構(gòu)，可將Micro LED芯片轉(zhuǎn)移至不同的基板上，并且同時可以調(diào)整芯片的間距，增加轉(zhuǎn)移與組裝效率。Imec***區(qū)總經(jīng)理Peter Lemmens認為，頭戴裝置或是智慧眼鏡等應(yīng)用將可望最先受惠于Micro LED的技術(shù)發(fā)展。

此外香港的JBD也設(shè)計出可以實現(xiàn)單色紅色、綠色、藍色的Micro LED陣列模塊顯示器的異質(zhì)整合技術(shù)。LEDinside今年也在3月訪談過JBD，并曾撰寫JBD采用晶圓接合 (Wafer Bonding) 的方式將Micro LED 做晶圓級轉(zhuǎn)移 (Wafer Level Transfer)，來做成單色的Micro LED模塊，特別是其綠光的Micro LED陣列模塊亮度高達50K nits。

Micro LED具微型化芯片與巨量轉(zhuǎn)移特質(zhì)，需要的不同層次的晶圓片生產(chǎn)與處理制程，因此產(chǎn)業(yè)對于設(shè)備的需求與以往更加不同，為了讓Micro LED技術(shù)發(fā)展能持續(xù)推展，設(shè)備商今年也紛紛推出自家在強化Micro LED生產(chǎn)制造的技術(shù)。

兩大MOCVD廠商AIXTRON與Veeco皆展現(xiàn)其設(shè)備在生產(chǎn)波長一致性較高、缺陷密度較低的高質(zhì)量磊晶硅晶圓片上的優(yōu)勢。其中，Veeco與ALLOS Semiconductor結(jié)盟，于11月時展示 ALLOS 200 mm 硅基氮化鎵磊晶硅晶圓產(chǎn)品技術(shù)在 Veeco Propel? MOCVD 反應(yīng)器上的可復(fù)制性。

而AIXTRON也不惶多讓，旗下AIX G5+C與AIX 2800-G4 TM兩個平臺皆提供MOCVD解決方案，并且能實現(xiàn)高產(chǎn)量的生產(chǎn)目標(biāo)。旗下采用GasFoilRotation?(GFR) 的Planetary Reactor?技術(shù)，是一種結(jié)合單晶圓旋轉(zhuǎn)和間歇式反應(yīng)器處理的混合解決方案。其衛(wèi)星控制功能使用GFR來實現(xiàn)對單個晶圓的溫度控制和流量調(diào)節(jié)。而AIXTRON在Micro LED技術(shù)的研究開發(fā)也獲得LEDinside所舉辦的Micro LED前瞻技術(shù)比賽首獎。