據(jù)麥姆斯咨詢介紹,利用鍺(Ge)制成的微型齒輪已證明能夠產(chǎn)生具有軌道角動量(Orbital angular momentum, OAM)的“漩渦光”。
這種新光源可大幅提高通過光學計算傳輸?shù)臄?shù)據(jù)量。軌道角動量特征作為電磁波的矢量特征具有很廣闊的發(fā)展前景,不但可以用于提高頻譜利用率,增大傳輸速率,還以其良好的方向性在無線傳輸安全保密通信領(lǐng)域具有極大的研究價值。光通信通過改變發(fā)射的光子數(shù)或在兩個偏振態(tài)之間切換來攜帶信息。利用軌道角動量或漩渦光,每個光扭轉(zhuǎn)可以表示不同的值或字母,能夠用更少的光來編碼更多的信息。
因此,這種新型微齒輪可以用來提升光學芯片的計算和通信能力。據(jù)麥姆斯咨詢報道,英國南安普頓大學(University of Southampton)、日本東京大學(University of Tokyo)、日本豐橋技術(shù)大學(Toyohashi University of Technology)和日立(Hitachi)公司的研究人員,利用具有高質(zhì)量鍺晶體層的Ge-on-SOI晶圓,在硅柱上構(gòu)建了一種微型齒輪。其微型齒輪在邊緣處是獨立的,可以通過在其結(jié)構(gòu)上沉積氧化膜來拉伸。該特性可以在不破壞鍺晶體結(jié)構(gòu)的前提下施加拉伸應變。微型齒輪支撐在硅柱上,硅柱將它們連接到硅襯底的頂部,使熱量可以在運行期間消散。這種微齒輪的半徑不到1um,可在1平方毫米的計算機芯片中集成250000個這樣的微齒輪。
鍺微型齒輪
硅柱上鍺微齒輪的制造工藝
目前,硅作為發(fā)光材料的低效率,限制了硅上微型光源的應用。研究人員稱,雖然鍺也具有類似的局限特性,但通過施加拉伸應變可以提高其發(fā)光效率。
英國南安普頓大學的Abdelrahman Al-Attili設(shè)計了這款新的微型齒輪,并開發(fā)了用鍺制造微型齒輪的方法
“之前,在不破壞材料的前提下,對鍺材料施加的拉伸應變,不足以高效地產(chǎn)生光,” 英國南安普頓大學研究人員Abdelrahman Al-Attili說,“我們的新型微齒輪設(shè)計可以克服這一挑戰(zhàn)?!睘榱蓑炞C他們的新設(shè)計,研究人員利用電子束光刻技術(shù)制造形成了微型齒狀結(jié)構(gòu)的精細物理特征。然后,使用不會發(fā)射漩渦光的標準綠激光照射微型齒輪。微齒輪吸收綠激光后,自身產(chǎn)生光子,這些光子圍繞在齒輪的邊緣循環(huán),由微齒輪的齒垂直反射出來形成扭轉(zhuǎn)的漩渦光。
該團隊使用計算機模擬測試并調(diào)整其設(shè)計,以模擬光在納秒甚至更短時間內(nèi)在微型齒輪中的傳播方式。通過計算機模擬結(jié)果和原型產(chǎn)品的光發(fā)射對比,研究人員確認微型齒輪產(chǎn)生了漩渦光?!拔覀兛梢跃_地設(shè)計器件,以控制每個漩渦光的旋轉(zhuǎn)次數(shù)和發(fā)射光的波長,”Al-Attili說。目前,研究人員正在努力進一步提高鍺微齒輪的光發(fā)射效率。如果成功,該技術(shù)可以將數(shù)千個激光器集成到硅芯片上以傳輸信息?!拔覀兊男滦臀⑿妄X輪有潛力用于集成在硅襯底上的激光器,這是在計算機上創(chuàng)建集成光學電路所需的最后一個關(guān)鍵組件,”Al-Attili說。研究人員認為,他們的微型齒輪首次展示了在鍺光源內(nèi)生成軌道角動量的漩渦光,并且,這種鍺微齒輪有潛力作為新興應用的CMOS兼容的軌道角動量光源。“為制造電子器件而開發(fā)的硅制造技術(shù),現(xiàn)在也可以用于制造各種光學器件,”Al-Attili說,“我們的微型齒輪只是這些制造技術(shù)在納米級、微米級器件領(lǐng)域的一個應用實例。”
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原文標題:微機械工藝打造鍺微型齒輪,“漩渦光”實現(xiàn)大容量光通信
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