三大半導(dǎo)體廠微影技術(shù)進(jìn)度一覽
半導(dǎo)體微影技術(shù)(lithography)終于迎來全新世代交替,過去10年主導(dǎo)半導(dǎo)體關(guān)鍵制程的浸潤(rùn)式(immersion)微影技術(shù),將在今年開始轉(zhuǎn)向新一代的極紫外光(EUV)。晶圓代工龍頭臺(tái)積電將在3月開始啟動(dòng)支援EUV技術(shù)的7nm量產(chǎn)計(jì)畫,支援EUV的5nm亦將同步進(jìn)入試產(chǎn)。
臺(tái)積電EUV制程進(jìn)入量產(chǎn)階段,對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言是一項(xiàng)重大里程碑,EUV技術(shù)可以讓摩爾定律持續(xù)走下去,理論上將可推進(jìn)半導(dǎo)體制程至1nm。
雖然臺(tái)積電第一代支援EUV技術(shù)的7+nm,只有少數(shù)幾層光罩層會(huì)利用EUV完成,但包括海思、英偉達(dá)(NVIDIA)、超微(AMD)、博通、高通等都將陸續(xù)導(dǎo)入7+nm制程量產(chǎn)。
不過根據(jù)業(yè)界消息,蘋果今年下半年推出的新一代A13應(yīng)用處理器,并不會(huì)採(cǎi)用臺(tái)積電支援EUV技術(shù)的7+nm,而是會(huì)採(cǎi)用加強(qiáng)版7nm(7nm Pro)制程量產(chǎn)。業(yè)界預(yù)期,蘋果正在研發(fā)中的A14應(yīng)用處理器才會(huì)是首款採(cǎi)用EUV的晶片,預(yù)期明年採(cǎi)用臺(tái)積電5nm制程量產(chǎn)。
為了加快EUV制程學(xué)習(xí)曲線,臺(tái)積電支援EUV的7+nm量產(chǎn)之際,預(yù)期有一半光罩層會(huì)採(cǎi)用EUV技術(shù)的5nm,亦將同步進(jìn)入風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)階段。臺(tái)積電與大同盟(Grand Alliance)伙伴密切合作打造EUV生態(tài)系統(tǒng),包括業(yè)界傳出臺(tái)積電已對(duì)EUV設(shè)備大廠艾司摩爾(ASML)擴(kuò)大採(cǎi)購(gòu)30臺(tái)設(shè)備,晶圓傳載方案廠家登亦成為最主要的EUV光罩盒供應(yīng)商。
臺(tái)積電總裁暨執(zhí)行長(zhǎng)魏哲家在日前法人說明會(huì)中指出,7+nm良率推進(jìn)情況良好,預(yù)期第二季后進(jìn)入量產(chǎn)階段,臺(tái)積電已經(jīng)與數(shù)家客戶合作,協(xié)助其第二代或第三代產(chǎn)品設(shè)計(jì)導(dǎo)入7+nm制程。臺(tái)積電預(yù)期價(jià)格更好的7+nm量產(chǎn)后,將可在未來幾年為7nm世代帶來更大的成長(zhǎng)空間。至于5nm目前研發(fā)進(jìn)度符合預(yù)期,今年上半年會(huì)有客戶完成晶片設(shè)計(jì)定案(tape-out),明年上半年將進(jìn)入量產(chǎn)階段。
臺(tái)積電7+nm雖然只有部份光罩層採(cǎi)用EUV技術(shù),但仍可提升電晶體密度約20%,并在同一運(yùn)作效能下降低功耗約10%。至于5nm采用EUV光罩層更多,與7nm相較預(yù)期可提升電晶體密度達(dá)1.8倍或縮小晶片尺寸約45%,同一功耗下提升運(yùn)算效能15%,或同一運(yùn)算效能下降低功耗20%。臺(tái)積電亦計(jì)畫在5nm世代加入極低臨界電壓(Extremely Low Threshold Voltage,ELTV)技術(shù),協(xié)助客戶將運(yùn)算效能提升至25%。
EUV技術(shù) 為摩爾定律延命
隨著晶片功能愈趨強(qiáng)大,在半導(dǎo)體制程愈趨復(fù)雜的情況下,摩爾定律的推進(jìn)已經(jīng)放緩,以臺(tái)積電、三星、英特爾等三大半導(dǎo)體廠目前採(cǎi)用的浸潤(rùn)式(immersion)微影及多重曝影(multi-patterning)技術(shù)來說,若要維持摩爾定律的制程推進(jìn)速度,晶片成本會(huì)呈現(xiàn)等比級(jí)數(shù)般飆升。也因此,能夠明顯減少晶片光罩層數(shù)的極紫外光(EUV)微影技術(shù),將可為摩爾定律延命。
摩爾定律除了每18~24個(gè)月可讓晶片中電晶體數(shù)量增倍的技術(shù)推進(jìn),還包含了經(jīng)濟(jì)層面上的益處。事實(shí)上,過去20年因?yàn)槟柖傻耐七M(jìn)順利,晶片的單位制造成本可以逐年降低,并造就了個(gè)人電腦的普及,以及智慧型手機(jī)的人手?jǐn)?shù)機(jī)的情況。若半導(dǎo)體市場(chǎng)沒有摩爾定律的存在,晶片的成本難以有效降低,要用1,000美元以下價(jià)格買到電腦或手機(jī)幾乎是不可能的事。
不過,因?yàn)榫瞥痰某掷m(xù)推進(jìn),電路要再進(jìn)行微縮的難度愈來愈高,成本的提升速度也愈來愈快。以目前業(yè)界普遍量產(chǎn)中的14/16奈米邏輯制程來看,設(shè)備的投資是28奈米的數(shù)倍,換算下來晶片單位制造成本的降幅已經(jīng)趨緩,而制程進(jìn)入10奈米或7奈米后,晶片成本幾乎降不下來。也就是說,摩爾定律推進(jìn)放緩,蘋果及三星等新款旗艦手機(jī)功能又要愈多,增加的晶片用量或功能要愈多,價(jià)格自然愈墊愈高。
為了解決這個(gè)問題,業(yè)界早在10年前就已經(jīng)在討論在浸潤(rùn)式微影技術(shù)之后,會(huì)不會(huì)有更好的技術(shù)來為摩爾定律延命。如今,隨著臺(tái)積電7+奈米進(jìn)入量產(chǎn),EUV技術(shù)正式接棒演出,摩爾定律至少可再延續(xù)至3奈米或1奈米世代,雖說先進(jìn)制程價(jià)格仍然居高不下,但長(zhǎng)期來看,基于摩爾定律發(fā)展的經(jīng)濟(jì)層面益處將可延續(xù)下去。
日月光投控營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)吳田玉曾指出,過去半導(dǎo)體業(yè)的創(chuàng)新就是摩爾定律,所以大家跟著走,但現(xiàn)在業(yè)界覺得摩爾定律的推進(jìn)變慢了,但以他來看不是變慢,而是業(yè)界降低成本(cost down)的本領(lǐng)不夠,導(dǎo)致摩爾定律的時(shí)間拉長(zhǎng),但摩爾定律另一個(gè)層面代表的經(jīng)濟(jì)定律卻沒有變。
當(dāng)然,靠EUV就要讓摩爾定律延續(xù)下去仍有許多挑戰(zhàn),除了制程上的微縮,具異質(zhì)晶片整合優(yōu)勢(shì)的系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)技術(shù),也被視為能讓摩爾定律持續(xù)下去的重要解決方案。也就是說,未來晶片不會(huì)是單一的晶片,而是一個(gè)次系統(tǒng)或微系統(tǒng)的概念,異質(zhì)整合將是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)另一重要發(fā)展方向。
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原文標(biāo)題:宣告進(jìn)入EUV新時(shí)代;臺(tái)積電7nm EUV量產(chǎn),5nm EUV試產(chǎn)!
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