垂直共振腔面射型雷射(VCSEL)技術(shù)在蘋果iPhone開始采用3D人臉辨識后,突然獲得各界矚目,但這種化合物半導(dǎo)體雷射其實由來已久,在iPhone導(dǎo)入引發(fā)產(chǎn)業(yè)關(guān)注之前,主要是應(yīng)用在短距離光通訊領(lǐng)域,例如資料中心機架間的高速互聯(lián)。而隨著相關(guān)技術(shù)不斷發(fā)展,目前VCSEL的訊號傳輸距離、頻寬都在不斷提升,未來勢必會對傳統(tǒng)邊射型雷射二極體帶來一定的競爭壓力。
而在感測應(yīng)用方面,VCSEL最大的優(yōu)勢在于能實現(xiàn)小巧、低成本的感測陣列,可取得物件的3D輪廓,這項特性能和現(xiàn)有以邊射型雷射為主的測距技術(shù)產(chǎn)生明顯的市場區(qū)隔,并打開更廣泛的應(yīng)用市場。除了從人臉辨識衍生出的各種安防應(yīng)用外,VCSEL也是車用光達從機械式走向全固態(tài),進而讓自駕車更進一步普及所不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)。
在感測應(yīng)用出現(xiàn)之前,VCSEL最重要的應(yīng)用在光通訊市場,特別是資料中心內(nèi)部,機架對機架(Rack to Rack)之間的高速互聯(lián)。但隨著相關(guān)技術(shù)不斷突破,加上光纖業(yè)者努力投資相關(guān)配套,VCSEL進軍FTTx市場,目前看來只是時間問題。
臺大光電研究所所長林恭如(圖1)表示,對光通訊應(yīng)用而言,光源元件最重要的性能指標有二,一是頻寬,二則是傳輸距離。傳輸距離與光的波長有關(guān),波長850納米的光源,傳輸距離通常低于500公尺,因此只適用于資料中心內(nèi)部機架對機架的互聯(lián)應(yīng)用。如果把波長拉高到1,310納米,則傳輸距離便可提升為1~10公里;若能進一步把波長拉高到1,550納米,則有機會實現(xiàn)20~25公里等級的傳輸。
目前已經(jīng)商品化的VCSEL,光波長大多是850納米,主攻的是資料中心內(nèi)的互聯(lián)需求,但學(xué)術(shù)界一直在研究,如何將VCSEL的波長拉長,以便實現(xiàn)更遠的傳輸距離。目前在VCSEL領(lǐng)域,最新的研究成果已經(jīng)可實現(xiàn)10公里訊號傳輸,這對于VCSEL走出資料中心應(yīng)用,是很重要的發(fā)展里程碑。
要改變光波的波長,必須仰賴材料上的突破,如新的摻雜比率、使用新的摻雜材料等。因此,雖然學(xué)術(shù)界跟業(yè)界投入長波VCSEL的研發(fā)已經(jīng)有很長的一段時間,但從實驗室到生產(chǎn)線,還是有不低的門檻需要跨越。
而在頻寬方面,目前臺大光電所開發(fā)出來的850納米VCSEL,已經(jīng)可以滿足25G Baud傳輸速率,并可支援PAM4調(diào)變。就規(guī)格來看,目前臺大光電所研究出的VCSEL已經(jīng)可以滿足市場的主流需求,但研究團隊認為,還有很多細節(jié)可以進一步改善,例如制程技術(shù)上的精進、氧化層厚度的控制。這些細節(jié)上的改善,都可以進一步提升VCSEL的訊號/雜訊比(SNR)跟輸出功率。
該所的吳兆欣教授,目前就致力于VCSEL在高溫環(huán)境下進行高速操作的研究,希望讓VCSEL光源有更穩(wěn)定的表現(xiàn)。相關(guān)研究課題涉及反射層的摻雜、氧化層的薄化,都有一定的挑戰(zhàn)性跟困難度,但也因為吳教授跟全體同仁在相關(guān)領(lǐng)域的投入,使得臺大光電所得以名列全球前四大VCSEL研究基地之一。
至于目前最火紅的感測應(yīng)用,基本上是利用VCSEL陣列來實現(xiàn)。不管是使用飛行時間測距(ToF)原理或是結(jié)構(gòu)光(SL)感測原理,可以進行3D辨識的感測器都是由光源、光學(xué)組件跟光感測器三個部分所組成,其中最重要的就是光源。早期的3D感測是以紅外線LED作為光源,但LED不具備諧振腔結(jié)構(gòu),因此打出來的光束太過發(fā)散,耦合性不佳,難以取得精準的感測結(jié)果。
VCSEL則解決了這光束過于發(fā)散的問題,加上VCSEL技術(shù)具有小型化,容易實現(xiàn)陣列設(shè)計、低功耗、可靠度高等優(yōu)勢,因而能全面取代紅外線LED。不過,有業(yè)界人士指出,結(jié)構(gòu)光感測因為涉及到的演算法比較復(fù)雜,只有蘋果這種具備軟硬體同步開發(fā)能力的業(yè)者能駕馭,因此現(xiàn)階段大多數(shù)元件供應(yīng)商,只提供支援ToF的解決方案。
但即便ToF搭配使用的演算法相對簡單,要實作ToF 3D感測,還是有許多挑戰(zhàn)存在,例如光源的不相干性要高,空間功率的分布要均勻。若無法做到這兩點,則感測的精準度會受到不良影響。此外,如果感測的速度要快,則VCSEL陣列的顆數(shù)要少,但減少陣列顆數(shù)也會影響精準度。目前市場對VCSEL陣列的上升跟下降時間要求,已經(jīng)低于1奈秒,500皮秒以下是比較理想的規(guī)格。要做到這點,技術(shù)上還是相當有挑戰(zhàn)性。
不過,林恭如認為,***廠商在VCSEL感測方面的技術(shù),都已經(jīng)有一定程度的累積,解決方案的成熟度也不錯。臺大光電所雖然是以光通訊作為主要研究方向,但VCSEL實驗室仍具備完善的VCSEL感測器量測、分析能量,***大多數(shù)投入VCSEL 3D感測器研發(fā)的廠商,都跟該所的實驗室有合作關(guān)系,只是因為臺大跟廠商簽有保密協(xié)定,因此不方便透露個別廠商的狀況。
***投入化合物半導(dǎo)體的時間比較早,磊晶技術(shù)的掌握度高,是臺廠能夠快速切入VCSEL感測器市場的重要原因。其實,LED也分成邊射型跟面射型兩種,面射型LED的結(jié)構(gòu)已經(jīng)相當接近VCSEL,差別在于面射型LED沒有反射層構(gòu)成的諧振腔,也沒有用氧化層制程來縮小諧振腔體積跟發(fā)光面積。
所以,對于熟悉面射型LED的業(yè)者來說,要克服的關(guān)卡主要在反射層的磊晶、摻雜以及氧化層的控制。其中,氧化層是LED完全沒有的制程步驟,在這方面會比較有挑戰(zhàn),至于磊晶跟摻雜,對***的LED乃至化合物半導(dǎo)體廠來說,問題應(yīng)該不大。
也因為***廠商已經(jīng)掌握大多數(shù)關(guān)鍵技術(shù),因此在VCSEL感測應(yīng)用竄起的同時,***許多專業(yè)化合物半導(dǎo)體代工廠就已經(jīng)拿到訂單,LED廠商轉(zhuǎn)進VCSEL的動作也十分迅速而積極。另一方面,跟臺系化合物半導(dǎo)體代工廠有長期配合的封裝廠,也跟著在第一時間拿到不少訂單。
在智能手機之后,VCSEL感測器產(chǎn)業(yè)的下一個兵家必爭之地,將是光達由機械式結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)為全固態(tài)結(jié)構(gòu)所帶來的龐大商機。為了取得完整的周遭環(huán)境資訊,讓自動駕駛系統(tǒng)得以判斷其所處的狀況,光達將是自駕車必備的感測系統(tǒng),但過去的車載光達采用機械式設(shè)計,導(dǎo)致其成本偏高,使汽車制造商根本無法在量產(chǎn)車款上搭載光達。
據(jù)了解,一臺機械式光達的報價,最少也在新臺幣40萬~50萬元之間,占了一輛入門款新車售價的7~8成。直到2018年開始,陸續(xù)有光達廠商推出基于半導(dǎo)體技術(shù)的新一代固態(tài)光達,才開始有報價在數(shù)千美元的光達設(shè)備在市場上出現(xiàn)。但這個價格還是偏高,業(yè)界認為,光達的價格必須要壓低到數(shù)百美元,才有可能在汽車市場上大量普及,而促使價格下降的關(guān)鍵,就在VCSEL。也因為如此,部分***化合物半導(dǎo)體廠為了搶食車載光達的市場大餅,已經(jīng)展開布局動作。除了推出車規(guī)等級的制程服務(wù)外,部分生產(chǎn)線也已經(jīng)通過車規(guī)驗證,準備迎接即將到來的訂單。
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原文標題:多應(yīng)用推動,VCSEL前景可期【勤邦裝片機·分析】
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