集成電路 | 高縱橫比間距下 TiN 殘留物的解決方案

討論在標(biāo)準(zhǔn) 0.18μm CMOS 邏輯平臺上加入一次性編程單元（OTP Cell）后，工藝所面臨的問題。由于 OTP Cell 的設(shè)計尺寸遠(yuǎn)小于 0.18μm 技術(shù)代的設(shè)計要求，導(dǎo)致用傳統(tǒng)工藝對 OTP Cell 中具有高縱橫比的間距進(jìn)行填充時，會出現(xiàn)空洞。該空洞貫通前后接觸孔（CT），使得后續(xù)在沉積 TiN 時，TiN 會殘留在空洞側(cè)壁上，使相鄰接觸孔短路，從而導(dǎo)致 OTP 失效。為了解決這個問題，從多個方面進(jìn)行了方案設(shè)計，包括硼磷硅玻璃（BPSG）中硼（B）和磷（P）的濃度，BPSG 的厚度，回流溫度以及在 BPSG 之前先沉積一層高密度等離子體氧化物（HDP USG）。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，只有在 BPSG 之前先沉積一層 HDP USG 的工藝方案才是有效的，才可以消除空洞，從而消除 TiN 殘留物。同時，器件性能不受影響，并實(shí)現(xiàn)了高良率。

1 引言

在集成電路工藝中，0.18μm 制程作為一種低成本工藝制程，目前還是被大量、廣泛運(yùn)用于制造一些集成電路產(chǎn)品，尤其是一些中低端產(chǎn)品或?qū)€寬尺寸不是很敏感的領(lǐng)域如汽車電子。通常的 0.18μm 制程，接觸孔 CT（Contact）的形成工藝是，首先，生長一層刻蝕終止層（Etching Stop Layer），接著沉積摻有元素硼（B）和磷（P）的硼磷硅玻璃 BPSG，在高溫回流工藝后再沉積一層等離子體增強(qiáng)型氧化層（PE-TEOS），然后用化學(xué)機(jī)械拋光法進(jìn)行表面平整化，接著進(jìn)行干式刻蝕形成接觸孔。緊接著在接觸孔四周側(cè)壁上沉積黏結(jié)層 Ti/TiN，隨后填埋鎢（W）作為連接導(dǎo)體。這對標(biāo)準(zhǔn)的 0.18 μm 技術(shù)代設(shè)計準(zhǔn)則來說，工藝很成熟，不會有任何問題，但如果在這個技術(shù)平臺上加入一些其他的器件或工藝如 OTP（One Time Program）工藝，為了降低成本，提高產(chǎn)品競爭力，我們通常超越設(shè)計準(zhǔn)則，使得這些器件或 OTP 尺寸做的非常小，不可避免地造成高縱橫比間距，這會帶來一些工藝上的問題。本論文討論的就是在 0.18μm 通用平臺的基礎(chǔ)上加入一個尺寸非常小的 OTP 單元后工藝上所面臨的問題和挑戰(zhàn)，以及相應(yīng)的解決方案。

圖 1 為我們使用的 OTP Cell，覆蓋浮柵的相鄰 SAB（金屬硅化物阻擋層）的間距非常小，只有 0.28μm，而標(biāo)準(zhǔn)的 0.18μm 工藝平臺，相鄰 SAB 的最小間距為 0.42μm。這么小的間距，加上浮柵高度和特別為 OTP 工藝加厚的 SAB 厚度，形成了很高的縱橫比間距。如果在刻蝕終止層上直接沉積 BPSG，很容易導(dǎo)致間距頂已被 BPSG 合攏，但下面還沒填實(shí)，出現(xiàn)空洞，這些空洞會前后貫通，盡管接下來有 BPSG的高溫回流工藝，但該回流是一個微流動，有別于通常的流體流動，所以，這個空洞不會因?yàn)?BPSG 的高溫回流而消失。接觸孔側(cè)壁在形成 Ti/TiN 黏結(jié)層的過程中，采用的是化學(xué)氣相沉積（CVD）的形成方式，所以 TiN 同時也會在空洞的側(cè)壁上沉積，由于空洞是前后貫通的，導(dǎo)致其側(cè)壁上的 TiN 貫通前后接觸孔而造成 Bit Line 短路，從而使芯片失效，如圖 2 所示，其中 SEM 俯視圖顯示前后接觸孔被連起來了，TEM 剖面圖所示空洞側(cè)壁上有殘留物，SMIS 表明此殘留物含 Ti 和 N 元素，與接觸孔側(cè)壁上的黏結(jié)層是同一種物質(zhì)，即 TiN。

2 實(shí)驗(yàn)方案

為了解決高縱橫比間距下的 TiN 殘留物問題，我們從多個角度出發(fā)，改變工藝條件進(jìn)行了研究，首先從物理層面確定工藝條件，然后從器件電性和芯片良率層面進(jìn)一步驗(yàn)證該工藝條件的有效性。我們所用的樣品都取自于全工藝流程的晶圓，采用的是在標(biāo)準(zhǔn)的 0.18μm CMOS 工藝上加入 OTP 制程。這些晶圓除了變化的工藝步驟外，其他的工藝完全相同。表 1 所列為實(shí)驗(yàn)方案，其中方案編號 #1 為當(dāng)前工藝，作為對比的控制組；我們分別從 BPSG 中摻雜的 B和 P 濃度，BPSG 厚度，BPSG 回流溫度設(shè)計了編號 #2～#4 的實(shí)驗(yàn)方案，其目的是增加 BPSG的流動性，使其回流過程中填補(bǔ)其沉積時出現(xiàn)的空洞，為了控制整個厚度，以減少對后續(xù)化學(xué)機(jī)械研磨（CMP）和接觸孔刻蝕工藝的影響，我們同時調(diào)整了方案編號 #3 和 #4 中 TEOS 的厚度。方案編號#5 在 BPSG 之前，我們先沉積了一層高密度等離子體氧化物（HDP USG），這主要是考慮了 HDP 卓越的填洞能力，尤其在高縱橫比間距的情況下。

3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論

表 2 為實(shí)驗(yàn)結(jié)果，圖 3 為相應(yīng)的 SEM 俯視圖，在所設(shè)計的方案中只有方案 #5 才能實(shí)現(xiàn)無 TiN 殘留物的目標(biāo)。表中“嚴(yán)重程度”表示殘留物的多少，最嚴(yán)重的情況是前后兩個接觸孔已被空洞側(cè)壁上的 TiN 殘留物短路了。BPSG 的回流特性對摻雜的 B 和 P 的濃度非常敏感[1]，濃度稍有升高，回流溫度降低明顯，BPSG 的回流效果就越好，但濃度并非越高越好，P 高了，會影響 BPSG 的穩(wěn)定性和可靠性，B 高了抗潮能力會減弱。在標(biāo)準(zhǔn) 0.18μm 工藝中，B/P 通常在 4.6%／3.5% 左右。BPSG 的回流性能還跟溫度有關(guān)，溫度越高，回流性能越好。在方案 #2 中，B/P 濃度增加到 4.9%／4.4%，回流溫度提升至 700℃，雙管齊下改善回流性能，在回流平坦化過程中使空洞消失，從而消除 Ti N殘留物，然而，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，盡管本方案較當(dāng)前工藝 #1 有改善，但仍然存在 TiN 殘留物。而且，器件性能因過高的回流溫度而徹底改變，閾值電壓 Vt 相較當(dāng)前工藝 #1，NMOS漂了 25%，而 PMOS 更是漂了 40%。方案 #3，BPSG 的厚度從 2 k 增加到 3 k，以確保 BPSG 在回流平坦化過程中有足夠的量來填充空洞使其消失。從而消除 TiN 殘留物，但實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，TiN 殘留物狀況未見明顯改善，說明空洞依然存在。為了改善回流特性，同時盡量減少回流溫度對前端器件性能的影響，方案 #4 在方案 #3 的基礎(chǔ)上，回流溫度略微增加至 650℃。同樣，該方案無法消除空洞，TiN 殘留物也未見其明顯好轉(zhuǎn)。以上方案表明，通過 BPSG 厚度，B/P 濃度以及回流溫度來解決 TiN 殘留物，收效甚微，必須另辟蹊徑。

眾所周知，用高密度等離子體法（HDP）沉積氧化物能實(shí)現(xiàn)非常好的臺階覆蓋（Step coverage），特別適合填充高縱橫比間隙，具有卓越的填洞能力[2]。在 HDP 氧化物形成過程中，通過調(diào)節(jié)其刻蝕（Etch）和沉積（Deposition）之比來實(shí)現(xiàn)其最佳的填充效果，達(dá)到消除空洞的目標(biāo)。然而，HDP 中含有大量的離子，同時，通過濺射（Sputter）來實(shí)現(xiàn)的刻蝕，也能產(chǎn)生大量的電子、缺陷，這些離子、電子、缺陷對 OTP 的數(shù)據(jù)保持（Data Retention）是有害的。為了消除空洞，我們在方案 #5 中用了 2 k 的 HDP 氧化物，該 HDP 氧化物先于 BPSG 沉積。在沉積時，特別優(yōu)化了刻蝕和沉積之比，以盡量減少離子、電子、缺陷對 Data Retention 的影響。另外，在該方案中，我們把 BPSG 增加到 3 k，同時降低 TEOS 的厚度到 6 k，以保持總厚度不變。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，空洞沒有了，空洞側(cè)壁上的 TiN 殘留物也隨之消失了，如圖 3 所示。在電性層面，我們對晶圓進(jìn)行了測試，結(jié)果顯示，無論是 MOS 器件的性能（Ids，Vt 等），還是接觸孔的電阻值，都與當(dāng)前工藝一致。良率方面，由于最主要的 Data Retention 性能未見下降，所以得到了很高的良率。這充分說明，方案 #5 是有效的。用該方案作為我們生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)后，從出貨的幾十萬片晶圓數(shù)據(jù)來看，再一次證明該方案是非常成功的。

4 結(jié)語

本文討論的是標(biāo)準(zhǔn) 0.18μm CMOS 邏輯平臺上引入了超越規(guī)則的 OTP Cell 后，工藝所面臨的問題。用傳統(tǒng)工藝對 OTP Cell 中的高縱橫比間距進(jìn)行填充時，會留下貫通前后接觸孔的空洞，在接觸孔沉積 TiN 時，TiN 同樣會殘留在空洞側(cè)壁上，使相鄰接觸孔短路，從而導(dǎo)致 OTP 失效。為了解決這個問題，我們從 BPSG 中 B/P 的濃度，BPSG 厚度，回流溫度，以及在 BPSG 之前先沉積一層 HDP USG 的方式進(jìn)行了多個方案設(shè)計。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，只有在 BPSG 之前先沉積一層 HDP USG 的工藝方案才是有效的，才可以消除 TiN 殘留物，同時，器件性能不受影響，并實(shí)現(xiàn)了高良率，以此為量產(chǎn)工藝條件生產(chǎn)出的幾十萬片晶圓數(shù)據(jù)進(jìn)一步驗(yàn)證了該方案的有效性和可靠性。