不只一臺刻蝕機(jī) 燕東微北京8英寸項(xiàng)目搬入多臺北方華創(chuàng)設(shè)備

近日，燕東微北京8英寸項(xiàng)目首批設(shè)備搬入，而北方華創(chuàng)制造的刻蝕機(jī)作為首臺設(shè)備搬入廠房。

據(jù)北方華創(chuàng)官方最新消息，除首臺搬入的等離子硅刻蝕機(jī)外，北方華創(chuàng)即將搬入的設(shè)備，還包含多晶硅刻蝕機(jī)、金屬刻蝕機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、磁控濺射PVD、高溫?cái)U(kuò)散爐、中溫氧化爐、濕法清洗機(jī)、濕法去膠機(jī)等設(shè)備。

據(jù)悉，燕東微電子8英寸集成電路研發(fā)產(chǎn)業(yè)化及封測平臺項(xiàng)目是北京首條大規(guī)模量產(chǎn)8英寸的集成電路產(chǎn)線，總投資48億元，于2016年9月27日正式啟動。其芯片生產(chǎn)廠房包含一條月產(chǎn)5萬片（25次光刻）0.25um-0.09um（典型工藝為0.11um)、BCD兼容工藝的8英寸芯片生產(chǎn)線。未來擬生產(chǎn)產(chǎn)品包括顯示驅(qū)動電路、功率器件、封測產(chǎn)品等。同時，項(xiàng)目通過與國際頂尖驅(qū)動電路、功率器件廠商合作，將建成國內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的特色工藝產(chǎn)線。

為推進(jìn)該項(xiàng)目的建設(shè)，燕東微電子還于2018年1月發(fā)布增資項(xiàng)目，2018年6月正式敲定增資方案，大基金聯(lián)合三家國企斥資28億實(shí)施入股，電子城等還通過非公開渠道再投資12億元。

燕東微電子隸屬北京電子控股有限責(zé)任公司旗下，后者由北京市電子工業(yè)辦公室轉(zhuǎn)制而來，目前是北京市國資委授權(quán)的以電子信息產(chǎn)業(yè)為主業(yè)的國有特大型高科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。

公開信息顯示，燕東微電子成立于1987年，是一家專業(yè)化的半導(dǎo)體器件芯片設(shè)計(jì)、制造、銷售的全資國有高科技企業(yè)。目前，燕東微電子的客戶涵蓋了包括蘋果、華為、小米等用戶在內(nèi)的客戶群體。