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發(fā)布了文章 2023-08-14 10:02
原位拉曼系統(tǒng)--實時監(jiān)測半導(dǎo)體薄膜生長全過程
原位拉曼系統(tǒng)實時監(jiān)測半導(dǎo)體薄膜生長全過程前言原位拉曼系統(tǒng)可以實時監(jiān)測半導(dǎo)體薄膜生長全過程,利用共聚焦拉曼光譜的“In-Situ”方式,在石英爐中原位觀察半導(dǎo)體薄膜生長過程,并且通過監(jiān)控不同的生長因素對薄膜生長的影響,優(yōu)化生長工藝,大大節(jié)省了人力、物力和調(diào)試時間。經(jīng)過實驗證明,該裝置有高度重復(fù)性,并成功幫助半導(dǎo)體薄膜材料研究課題組和多家半導(dǎo)體薄膜材料生產(chǎn)企業(yè)進(jìn) -
發(fā)布了文章 2023-08-04 08:19
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