定向去除微污染物,可助力半導體制造高效除污,確保材料純度 幾乎所有進入晶圓廠的物質(zhì),包括液體、氣體和環(huán)境空氣,都有可能攜帶污染物,會對晶圓和器件的性能造成不利.... Entegris應特格微電子 發(fā)表于 09-25 16:50 ?501次閱讀 Entegris中國技術中心為本地客戶提供專項服務與支持 Entegris為半導體、生命科學以及其他高科技行業(yè)提供先進材料和制程解決方案,持續(xù)加速亞洲產(chǎn)能布局.... Entegris應特格微電子 發(fā)表于 07-27 09:18 ?926次閱讀