關(guān)于壓力敏感元件、壓力傳感器、壓力敏感電阻

關(guān)于壓力敏感元件、壓力傳感器、壓力敏感電阻

目前，中國天地衛(wèi)星股份有限公司引進英國Senstronics公司研制生產(chǎn)的濺射薄膜壓
力傳感器，為壓力傳感器領(lǐng)域增加新亮點。
英國Senstronics公司近年來推出的濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器，在國際上是領(lǐng)
先的，具有前沿性技術(shù)水準。它延用了測量壓力的金屬彈型膜片原理，再注入新的離子束濺
射等先進工藝手段和微機械加工方法，制成敏感壓力的橋路電阻，使它具有如下特點：
1、不銹鋼類型的彈性膜片材料（17-4PH）耐腐蝕；無隔離膜片，不用灌油充液，體積小，
質(zhì)量輕；
2、沒有PN結(jié)帶來的高、低溫誤差大和工作溫區(qū)小的問題；
3、不受原始貼片方法帶來的蠕變、老化缺陷的影響，測量壓力穩(wěn)定性好。
歸納起來，這種濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器的優(yōu)點為寬的工作溫度范圍（敏感元
件為-40~+200C，整機為-40~+150C），溫度漂移小0.001%C；測量壓力范圍寬
（0.7MPa~220MPa）；體積小（敏感膜片直徑僅為Φ7mm），金屬一體化結(jié)構(gòu)，結(jié)實可靠；測
量精度可達0.05%（包括非線性、遲滯和重復(fù)性）；在-40~+150C工作條件下精度為±
0.25%；高穩(wěn)定性，（1000萬次壓力循環(huán)，其漂移量< 0.1%）；過裁壓力為1.4~2.2倍。
利用這種壓力敏感元件可制成適用工業(yè)各領(lǐng)域使用的壓力傳感器。特別是它的高可靠性，高
穩(wěn)定性，寬溫度范圍和小體積輕質(zhì)量的特點，更適用于航天、航空、坦克、兵器、艦船等軍
事部門，它的批量生產(chǎn)能力，亦適用于大量使用的汽車工業(yè)。它的耐腐蝕性能力，可為石
油、化工行業(yè)測量壓力服務(wù)。