摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術之一。在21世紀，它具有革命性的工業(yè)和結合以硅為基礎的微電子產(chǎn)品微加工技術。它的技術和微系統(tǒng)電子設備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統(tǒng)文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00
259 本文介紹ADI公司在微機電系統(tǒng)（MEMS）開關技術方面的突破。與傳統(tǒng)的機電繼電器相比，ADI公司的MEMS開關技術在RF和DC開關性能、可靠性和小型化方面實現(xiàn)了巨大的飛躍。
2023-01-05 14:29:24791 
微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種使能技術。它將半導體技術的多功能性與機械結構的功能融為一體，開辟了全新的應用領域。MEMS技術使智能手機能夠提供方向，或健身追蹤器來檢測我們何時跑步，坐著或睡覺。但是，MEMS技術可以做的不僅僅是“感覺”。它可以作為系統(tǒng)的輸入，或輸出（執(zhí)行器）和控制或反饋回路的組成部分。
2022-10-14 11:11:48718 射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在RF MEMS器件中，開關的機械組件大小只在微米級別。與電燈開關不同的是，RF MEMS開關傳輸?shù)氖巧漕l信號。
2022-05-18 10:22:071597 
什么是射頻微機電系統(tǒng)開關？ ? 射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在
2022-05-16 16:14:203488 
什么是射頻微機電系統(tǒng)開關？ 射頻微機電系統(tǒng) （RF MEMS） 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在RF
2022-05-12 17:19:151579 
來源：Simon? 半導體芯科技 微機電系統(tǒng)或稱MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技術制造的小型化機械電子器件（即設備和結構）。MEMS的物理
2022-03-04 18:49:071379 MEMS（微機電系統(tǒng)）元件的失效機制從本質上講和與之相對應的宏觀（肉眼可見）元件，具有很大差別并且是獨特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機制。需要強調的是，MEMS裝置的組裝使用散裝表面
2021-12-13 09:37:37938 
系統(tǒng)技術基礎所涉及的材料、微機械設計和模、微細加工技術以及微封裝與測試等領域,并對微機電系統(tǒng)的應用、典型的微器件、國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀及前景進行全面分析. 在此基礎上,論述了MEMS 技術目前存在
2009-03-17 15:29:51
基于壓力發(fā)電的遠程微機電電源系統(tǒng)
2021-07-05 11:37:20
4 ：更小的尺寸、更加廣泛的應用，以及即使是在低壓、極短的放映時間內(nèi)也能達到精確的氣體密度測量。 1.什么是MEMS技術： MEMS的全稱，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微機電系統(tǒng)，該技術是基于硅半導體技術的基礎上，在復雜的微系統(tǒng)中結合了微電子和微機械等功能。是在
2020-12-28 15:42:4018757 MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng)，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。
2020-12-25 15:34:493638 專有的基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的硅芯片，推動實現(xiàn)商業(yè)化，并加快Evonetix的首款產(chǎn)品（DNA桌面寫入器）的開發(fā)。
2020-09-27 12:04:342121 微機電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術批量制作的、集微型傳感器、微型機構、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統(tǒng)。
2020-07-10 16:23:201998 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第二部分
2019-08-21 06:05:001573 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第四部分
2019-08-13 06:00:001578 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第三部分
2019-08-06 06:18:002782 、無法使用連續(xù)滾壓的Roll to Roll方式量產(chǎn)、制作結構復雜時可能出現(xiàn)累積誤差的現(xiàn)象等等，而這些問題也成為未來要強化MEMS在顯示應用上的發(fā)展時，所必須克服的挑戰(zhàn)。 投影機為MEMS顯示應用典范 由于奈米技術的躍升，微機電系統(tǒng)（MEMS；Mic
2018-11-22 18:09:01325 MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。
2018-07-17 08:28:001352 微機電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工藝更加精密，需要更高的技術，微機電系統(tǒng)早在國外就有應用，我國起步晚，在MEMS方面的投入逐漸增大，所占市場股份越來越大。微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是現(xiàn)代科學創(chuàng)新思維的結果，也是微觀尺度制造技術方面的進化和革命。
2018-04-26 15:58:1010743 
硅基MEMS加工技術主要包括體硅MEMS加工技術和表面MEMS加工技術。體硅MEMS加工技術的主要特點是對硅
2018-04-12 08:40:449081 
數(shù)十年來，振蕩器和時鐘始終依靠石英晶體來構建穩(wěn)定的參考頻率。晶體在許多應用中表現(xiàn)出十分優(yōu)異的性能。但十年前，用MEMS諧振器代替石英晶體的微機電系統(tǒng)（ Microelectromechanical System，MEMS）技術進入了市場，并且正在迅速走向成熟。
2018-03-21 16:39:571 、微電子材料科學、微細加工、系統(tǒng)與控制等技術學科和物理、化學、力學、生物學等基礎學科。它將在21世紀的信息、通信、航空航天、生物醫(yī)療等多方面獲得重大突破，從而對世界科技、經(jīng)濟發(fā)展和國防建設帶來深遠響，德國Weissler把MEMS稱為系
2018-01-24 11:08:280 甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號
2017-09-14 09:43:436 美國國家標準與技術研究所（NIST）日前展示一款采用微機電系統(tǒng)（MEMS）的延遲線內(nèi)存控制器，可望作為未來量子電腦的暫存內(nèi)存控制器。
2013-03-21 09:12:171028 微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術、結合加工、逐次加工。
2013-01-30 13:53:529889 
微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的。MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。
2013-01-22 16:50:122132 本文重點描述運用MEMS微機械加工工藝技術設計、加工、生產(chǎn)胎壓傳感器IC芯片，希望對大家學習MEMS有所幫助
2012-12-11 14:17:266894 市場研究機構Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(tǒng)(MEMS)業(yè)者排名。
2012-03-29 09:55:351542 
微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。
2011-09-13 17:36:273036 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。
2011-09-13 17:33:583437 MEMS微機電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統(tǒng)，主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432374 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術知識。
2011-09-13 17:02:18
相信每個人或多或少都聽過報章雜志提到微機電系統(tǒng)(以下簡稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半導體(STMicroelectronic)在
2011-01-27 09:19:051957 
意法半導體(ST)日前最新推出的微機電系統(tǒng)(MEMS)LPS001WP，該壓力感測器成功實現(xiàn)智慧型手機以及其它可攜式裝置能夠確
2010-12-07 09:05:061483 DIGITIMES Research指出，微機電系統(tǒng)(MEMS)慣性組件應用已起飛，目前尤以手機中的應用最被全球業(yè)者所看好，故業(yè)者將
2010-11-23 09:14:55879 摘要：對微機電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析，給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現(xiàn)狀。針對MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的特點，分析了面向MEMS組裝與
2010-11-12 02:10:2945 歐勝世界領先的數(shù)字微機電系統(tǒng)(MEMS)麥克風帶來通透清朗的音頻
中國北京，2010年11月4日 - 歐勝微電子有限公司日前正式發(fā)布其下一代
2010-11-08 21:55:20723 微機電 (MEMS) 技術在電子產(chǎn)品中的地位愈來愈重要，不論是在汽車、工業(yè)、醫(yī)療或軍事上需要用到此類精密的元器件，在信息、通訊和消費性電子等大眾的市場，也可以看到快速增長
2010-07-17 09:33:501204 
創(chuàng)建靈敏的MEMS結構的工藝技術介紹
表面微加工技術可用于創(chuàng)建微機電傳感器及激勵器系統(tǒng)，它能夠通過高適應度的彈性，形成錨
2010-03-11 14:20:49598 微機電系統(tǒng)的發(fā)展及其應用:微機電系統(tǒng)是在微電子技術基礎上產(chǎn)生和發(fā)展起來的多學科交叉的前沿科學研究領域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統(tǒng)產(chǎn)生的背景影響、組成
2009-12-29 23:45:4235 隨著MEMS 加工工藝的發(fā)展，微機電系統(tǒng)的材料特性引起了人們越來越多的關注。由于硅晶材料的殘余應力會降低MEMS 系統(tǒng)結構的使用壽命，頻繁的沖擊會對器件造成致命的傷害。因此
2009-11-23 14:12:3915 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-11-23 13:32:5914 論述了微機電系統(tǒng)設計工具的發(fā)展概況，并針對微機電系統(tǒng)的多樣性對設計工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機電系統(tǒng)設計工具架構。該架構以系統(tǒng)級行為建模與仿真、器
2009-11-16 13:52:3424 微機電系統(tǒng)(MEMS) 和納機電系統(tǒng)(NEMS) 是微米/ 納米技術的重要組成部分。MEMS已在產(chǎn)業(yè)化道路上發(fā)展,NEMS 還處于基礎研究階段。分析了微/ 納機電系統(tǒng)的發(fā)展特點,簡要地介紹了典型
2009-11-16 11:24:079 SOC 片上系統(tǒng)在國民經(jīng)濟與社會生活中，許多行業(yè)生產(chǎn)了所需求的產(chǎn)品。MEMS微機電系統(tǒng)和Smart Dust 智能微塵的出現(xiàn)，不但使生產(chǎn)、生活產(chǎn)生
2009-09-15 08:17:1518 微機電系統(tǒng)是一個新興的技術領域. 闡述了微機電系統(tǒng)的特點、加工工藝、應用及其現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.[關鍵詞] 微機電系統(tǒng);微機械;微傳感器;微細加工技術
2009-06-20 10:59:1935 分析了分布式微機電系統(tǒng)特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統(tǒng)構成進行了研究，提出了采用多主體技術實現(xiàn)分布式MEMS控制的框架。對系統(tǒng)的模型、微機電主體的結構、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-05-25 09:34:026 微機電系統(tǒng)是在微電子技術基礎上產(chǎn)生和發(fā)展起來的多學科交叉的前沿科學研究領域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統(tǒng)產(chǎn)生的背景影響、組成特征和基礎研究內(nèi)容,綜述
2009-03-11 17:16:5528
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