吉時(shí)利集成C-V模塊及軟件實(shí)現(xiàn)更快速測(cè)試

　　吉時(shí)利儀器公司(NYSE:KEI)，宣布為其功能強(qiáng)大的4200-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)新增一套C-V測(cè)量功能—— 4200-CVU。 4200-CVU能以測(cè)量模塊的形式插入 4200-SCS的任意可用儀器插槽中，能在10KHz到10MHz的頻率范圍內(nèi)快速而方便地測(cè)量飛法(fF)和納法(nF)級(jí)電容。在 4200-CVU的創(chuàng)新設(shè)計(jì)中采用當(dāng)前最先進(jìn)的高性能電路，有8項(xiàng)專利正在申請(qǐng)中。該設(shè)備具有直觀的點(diǎn)擊式配置界面，線纜連接簡(jiǎn)單，內(nèi)置的元件模型能夠使用戶直接獲得有效的C-V測(cè)量結(jié)果。無(wú)論用戶是否具有相關(guān)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)，都能使用該儀器實(shí)現(xiàn)專業(yè)級(jí)的C-V測(cè)量。

　　4200-CVU附帶最完整的測(cè)試庫(kù)，極大提高了測(cè)量效率。如果與吉時(shí)利 4200-LS-LC-12結(jié)合使用將實(shí)現(xiàn)更高測(cè)量效率。 4200-LS-LC-12是帶有電纜和適配器的專用開(kāi)關(guān)矩陣卡，通過(guò)單針探測(cè)能實(shí)現(xiàn)高度集成的C-V/I-V測(cè)試。4200-PROBER-KIT為可選模塊，使用該模塊能輕松將 4200-SCS與各種廣泛使用的探頭相連，最終幫助用戶如I-V測(cè)試一樣輕松配置和執(zhí)行功能全面的C-V測(cè)試。

　　廣泛的應(yīng)用支持

　　通過(guò)對(duì)4200-SCS系列產(chǎn)品功能的進(jìn)一步增強(qiáng)，吉時(shí)利繼續(xù)保持在C-V測(cè)量領(lǐng)域領(lǐng)先地位，僅4200這一種半導(dǎo)體測(cè)量?jī)x器就能滿足非常廣泛的測(cè)量應(yīng)用需求，其中涵蓋了種類豐富的探測(cè)器、器件類型、制造工藝以及包括脈沖I-V在內(nèi)的測(cè)量方法學(xué)。 4200-CVU及其可選模塊可解決其他特征分析系統(tǒng)無(wú)法解決的問(wèn)題，例如無(wú)法提供完整的C-V/I-V/脈沖，或者用戶接口和軟件庫(kù)支持不足。此外，該系統(tǒng)靈活而強(qiáng)大的測(cè)試執(zhí)行引擎能夠十分方便地在同一測(cè)試序列中整合C-V、I-V和脈沖測(cè)試。因此，4200-SCS能夠憑借其單一的、緊密集成的特征分析解決方案替代多種電路測(cè)試工具。

　　此外，吉時(shí)利公司4200-SCS仍然支持利用各種第三方測(cè)試設(shè)備進(jìn)行C-V/I-V/脈沖測(cè)試的測(cè)試方法。這些特點(diǎn)使得4200-SCS/CVU非常適合于：

　　*半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā) 、工藝研發(fā)和可靠性研究實(shí)驗(yàn)室;

　　*材料與器件研究實(shí)驗(yàn)室和機(jī)構(gòu);

　　*需要臺(tái)式DC或脈沖測(cè)試設(shè)備的實(shí)驗(yàn)室;

　　*需要體積小而功能多、儀器多的非專業(yè)實(shí)驗(yàn)室與用戶。

　　強(qiáng)大的軟件

　　現(xiàn)今市場(chǎng)流行的半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)中，吉時(shí)利4200-SCS具有最直觀的基于Windows的界面(GUI)。據(jù)多年客戶交互和反饋的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，新型4200-CVU硬件和軟件模塊仍將保持易于使用的特點(diǎn)，是4200-SCS交互式測(cè)試環(huán)境和執(zhí)行引擎的自然延伸。吉時(shí)利為4200-CVU的硬件提供大量程序范例、測(cè)試庫(kù)、以及唾手可得的內(nèi)置參數(shù)提取實(shí)例。八個(gè)軟件庫(kù)提供最廣泛的C-V測(cè)試和分析功能，涵蓋所有標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，其中包括針對(duì)高K和低K材料、MOSFET、BJT、二極管、Flash存儲(chǔ)器、光電池單元、III-V族化合物器件、碳納米管(CNT)器件的C-V、C-t、C-f測(cè)量與分析。除測(cè)量結(jié)電容、管腳間電容以及互連線電容之外，系統(tǒng)提供的分析與參數(shù)提取軟件還能夠?qū)崿F(xiàn)摻雜分布、TOX、游離子和載流子壽命的分析功能。這些測(cè)試包括各種線性的和自定義的C-V掃描、C與時(shí)間的關(guān)系、C與頻率的關(guān)系分析功能。

　　不同于其它特征分析系統(tǒng)，吉時(shí)利C-V/I-V分析提取工具提供定義清晰的開(kāi)放式環(huán)境，用戶能夠很方便地修改和定制測(cè)試?yán)獭＜獣r(shí)利工程師根據(jù)其豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)開(kāi)發(fā)的多個(gè)工程范例，能夠大大縮短用戶程序開(kāi)發(fā)時(shí)間。

　　4200-CVU提供多種先進(jìn)的診斷工具，幫助用戶確保C-V測(cè)量結(jié)果的正確性。在用戶不能確定測(cè)試結(jié)果是否準(zhǔn)確時(shí)，僅需點(diǎn)擊屏幕上“Confidence Check”按鈕，或者使用實(shí)時(shí)面板屏蔽部分測(cè)試設(shè)置進(jìn)行驗(yàn)證即可。

　　通過(guò)簡(jiǎn)短學(xué)習(xí)操作，功能強(qiáng)大的4200-SCS就能提供最佳的使用體驗(yàn)，并順利解決提高器件特征分析和建模的產(chǎn)能和效率這一長(zhǎng)期困擾半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室管理者的問(wèn)題。

　　針對(duì)更高產(chǎn)能的設(shè)計(jì)

　　4200-CVU具有無(wú)可比擬的測(cè)量精度、速度和效率，這主要得益于 4200-SCS的高速數(shù)字測(cè)量硬件以及軟硬件系統(tǒng)的密切配合，以及吉時(shí)利一貫堅(jiān)持的低噪聲系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則。兩項(xiàng)優(yōu)勢(shì)的結(jié)合意味著，無(wú)論簡(jiǎn)單的任務(wù)，如配置一次測(cè)量操作或者通過(guò)一次鼠標(biāo)點(diǎn)擊操作執(zhí)行一個(gè)預(yù)定的測(cè)試序列，還是復(fù)雜的任務(wù)，如觸發(fā)并繪制多重C-V 掃描曲線， 4200-CVU都能極大提高測(cè)試產(chǎn)能。4200-CVU系統(tǒng)采用高速數(shù)字架構(gòu)，與其他對(duì)手的C-V測(cè)量?jī)x器相比，能夠更快速地運(yùn)行、描繪出實(shí)時(shí)C-V掃描曲線。

　　高度通用的測(cè)試環(huán)境

　　除能在功能靈活、高度集成的測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)I-V、C-V和脈沖測(cè)試之外， 4200-SCS還為用戶提供多種備選功能，主要包括8個(gè)中、高功率的DC源測(cè)量單元(SMU)、雙通道脈沖、波形發(fā)生器和一個(gè)完整的數(shù)字示波器。同 4200-CVU一樣，所有設(shè)備都可插入到 4200-SCS的設(shè)備插槽中，并且通過(guò)功能強(qiáng)大的吉時(shí)利交互式測(cè)試環(huán)境(KTEI，7.0版)進(jìn)行控制。其點(diǎn)擊式用戶界面能幫助用戶輕松實(shí)現(xiàn)一系列測(cè)試設(shè)置、測(cè)試序列控制和數(shù)據(jù)分析操作。 KTEI還能控制外部設(shè)備，包括大部分常用的探測(cè)器、高溫卡盤(hot chuck)和測(cè)試夾具，以及吉時(shí)利高集成度的、當(dāng)前業(yè)界連接功能最靈活的開(kāi)關(guān)矩陣。