物聯(lián)網(wǎng)需要新的MEMS實現(xiàn)方法

　　據(jù)將要參加7月14日到16日在加州舊金山召開的美國半導(dǎo)體西部大會的演講人員們表示，業(yè)界迫切需要新型的MEMS來推動傳感器和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展。

　　如果物聯(lián)網(wǎng)（IoT）要驅(qū)動下一輪電子產(chǎn)業(yè)增長，它將在很大程度上依賴MEMS和傳感器技術(shù)，因為只有這些MEMS和傳感器技術(shù)才能讓所有這些智能物體與現(xiàn)實世界進行互動。但從新的MEMS設(shè)計到批量生產(chǎn)可能要花很長的時間，并且要花高昂的代價才能滿足物聯(lián)網(wǎng)市場要求，除非這個行業(yè)能夠找到加速MEMS開發(fā)之路。

　　針對現(xiàn)有MEMS設(shè)備的新應(yīng)用正以12%的健康年增長率推動MEMS市場發(fā)展，但突破性新產(chǎn)品進行批量生產(chǎn)的難度可能減緩增長速度，除非這個市場找到如何理順機械器件轉(zhuǎn)換為硅片的方法，YoleDéveloppement公司首席執(zhí)行官兼總裁Jean-Christophe Eloy表示。他將在7月14日于舊金山舉行的2015年美國半導(dǎo)體西部會議上發(fā)表關(guān)于MEMS未來的演講。

　　MEMS完全創(chuàng)新產(chǎn)品已缺席十多年了

　　通過讓更多應(yīng)用更廣泛地采納成熟的MEMS器件，這種更小體積、更高性能、更低成本的漸進式器件創(chuàng)新一直在刺激著傳感器及用它們實現(xiàn)的系統(tǒng)的強勁增長。去年最快的MEMS增長發(fā)生在安華高和Qorvo（以前的Triquint）公司，因為LTE的廣泛普及對用于多模手機的BAW濾波器提出了很大的需求。同樣，更多應(yīng)用對MEMS麥克風(fēng)和慣性傳感器的強勁需求有力地推動更多的傳感器供應(yīng)商邁入2億至3億年收入范圍的行列。

　　“這真的很重要，因為現(xiàn)在有多家公司有潛力發(fā)展為10億美元的公司?！盓loy指出。

　　然而，采用現(xiàn)有種類器件的新應(yīng)用能保持110億業(yè)務(wù)呈兩位數(shù)增長的時間可能是非常有限的。“挑戰(zhàn)在于，最近的完全創(chuàng)新產(chǎn)品還是2003年的Knowles麥克風(fēng)?！盓loy表示，“從那以后，都只是在集成度、更好的封裝等方面做些漸進式創(chuàng)新。雖然這些也是非常重要的創(chuàng)新，但不是突破性的新產(chǎn)品。我們?nèi)栽诘却齅EMS開關(guān)、自動對焦和揚聲器等產(chǎn)品完全過渡到大批量生產(chǎn)階段。”

　　MEMS新平臺開始出現(xiàn)

　　IC行業(yè)已經(jīng)找到在競爭前的研究領(lǐng)域進行合作的方式，而且已經(jīng)有了發(fā)達的商業(yè)支撐性基礎(chǔ)架構(gòu)來支持持續(xù)增長，他表示?！癕EMS行業(yè)需要發(fā)生一些變革，以便簡化和加速設(shè)計過程，并盡快投入批量生產(chǎn)。”

　　將這些新器件投入批量生產(chǎn)、并且滿足市場要求的快速上市時間與低成本要求正在推動這個行業(yè)開發(fā)出一些新的方法。

　　“過去人們過來都是想讓我們實現(xiàn)他們自己獨特的工藝流程，但現(xiàn)在越來越多的人要求我們盡可能使用標(biāo)準(zhǔn)平臺，只做少量的一些修改?！币矊⒃诎雽?dǎo)體西部大會上發(fā)表演講的Teledyne Dalsa公司MEMS代工廠執(zhí)行副總裁兼總經(jīng)理Claude Jean表示。“一個產(chǎn)品，一個工藝的傳統(tǒng)做法還沒有被完全淘汰，但人們越來越多地想用成熟的平臺來開發(fā)產(chǎn)品?！彼a充道。

　　Dalsa公司正在為慣性傳感器、微測輻射熱計、光學(xué)MEMS和壓電器件提供更大范圍的不同平臺，并盡可能地擴展自己的設(shè)計和測試支持業(yè)務(wù)。

　　新平臺技術(shù)也來自研發(fā)實驗室。CEA-Leti公司想與代工廠合作，將公司的壓阻式M&NEMS平臺投入生產(chǎn)以提供給更多的用戶。這種技術(shù)將厚的層（》10？m）用于移動物質(zhì)，將很薄的層（《500nm）用于其邊緣的壓阻式儀表，然后通過壓縮或拉緊改變電阻來檢測其運動。

　　“這種技術(shù)為非常緊密地集成多個傳感器提供了替代性方法，可以幫助像系統(tǒng)或CMOS制造商等沒有自己技術(shù)的新公司很快地開發(fā)出產(chǎn)品來?！北泵缿?zhàn)略合作伙伴副總裁、將在半導(dǎo)體西部大會上發(fā)表演講的另外一位專家Hughes Metras指出，同時他提到了第一位許可商Tronics公司將其六自由度慣性傳感器推向市場的速度。

　　這些基本技術(shù)的成熟如今還意味著MEMS市場開始從共同興趣、像設(shè)備要求或測試操作等方面的一些合作中尋求利益。目前在測量慣性傳感器性能方面還沒有被廣泛接受的標(biāo)準(zhǔn)，也沒有像為設(shè)備制造商規(guī)定未來需求的ITRS路線圖那樣的手段，Dalsa公司的Jean指出。

　　“在MEMS市場要求的成本和可用的先進CMOS設(shè)備之間存在著巨大的差距?！彼J為，“不過，這還需要比為先進CMOS開發(fā)的工藝更簡單、更低成本的TSV工藝等技術(shù)支持?！?/p>

　　Dalsa正在與Alchimer合作開發(fā)低成本的濕法工藝銅via-last MEMS TSV方法?！拔覀冃枰狹EMS制造商和設(shè)備與材料供應(yīng)商之間開展更加緊密的合作，開發(fā)出更低成本的方法來推動大家前進?！彼硎?。

　　在半導(dǎo)體西部會議上，上述演講嘉賓們將討論“MEMS領(lǐng)域中的下一件大事是什么？”。會議上的其它TechXpot議程將涉及物聯(lián)網(wǎng)對半導(dǎo)體行業(yè)的影響、下一代非易失性存儲器的現(xiàn)狀以及生物醫(yī)藥和汽車應(yīng)用。

　　另外，SEMI（就是以前大家熟知的半導(dǎo)體設(shè)備與材料國際貿(mào)易協(xié)會）和MEMS行業(yè)組織將邀請感興趣方參加7月15日在半導(dǎo)體西部大會上成立的參與性工作室，研究潛在的合作性意向，以便幫助該領(lǐng)域向前發(fā)展?！艾F(xiàn)在有許多引人關(guān)注的商業(yè)理由要求為MEMS開發(fā)相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。”將在工作室發(fā)表主旨演講的AM Fitzgerald & Associates組織的Alissa Fitzgerald表示。