陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術的低成本替代品，現(xiàn)在該技術面臨著新的競爭。微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG應用的市場份額。具體來說，天線陣列穩(wěn)定、農(nóng)業(yè)機械控制
2018-10-18 10:55:34
應用中，被測量的介質(zhì)對于MEMS器件來說是非常嚴酷的。在汽車電子領域，需要測量內(nèi)燃機機油、燃油、冷卻液熱輻射、尾氣排放等的壓力或化學成分。這兩個領域?qū)ζ骷家缶哂懈呖煽啃院蜆O端堅固的特點。所以
2010-12-29 15:44:12
制造設施的建設。現(xiàn)在，ADI公司已能夠滿足業(yè)界一直以來的需求：量產(chǎn)、可靠、高性能、小尺寸的MEMS開關取代衰老的繼電器技術。ADI公司與MEMS技術有著深厚的歷史淵源。世界上第一款成功開發(fā)、制造并商用
2018-10-17 10:52:05
，MEMS規(guī)模的器件，小到可以使用與目前集成電路類似的批量生產(chǎn)工藝制造。如同集成電路產(chǎn)業(yè)一樣，批量制造能顯著降低大規(guī)模生產(chǎn)的成本。在一般情況下，微機電系統(tǒng)也需要非常量小的材料以進行生產(chǎn)，可進
2018-11-07 11:00:01
了安全、快速、衛(wèi)生、無痛、無創(chuàng)的胃部舒適檢查新時代。傳統(tǒng)胃鏡檢查對患有胃部疾病的人來說簡直如同噩夢，而采用MEMS技術制作的膠囊胃鏡，采用自然吞服的方式，極大減輕痛苦，其內(nèi)置高清攝像頭，可在體內(nèi)全方位
2018-10-15 10:47:43
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設計和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
近來全球各大半導體廠似乎掀起一股MEMS熱，無論是最上游的IC設計公司、晶圓代工廠、一直到最終端的封裝測試廠，就連半導體機器設備商，也一頭栽進MEMS世界，甚至近來半導體公司工程人員見面不乏問一句，你們家MEMS了嗎!由此已可看出MEMS對于多數(shù)全球半導體大廠來說，已成為必須發(fā)展的產(chǎn)品線!
2019-10-12 09:52:43
作者：Mark Looney簡介MEMS加速度計終于達到了能夠測量廣泛機器平臺振動的階段。其最近的能力進步，加上MEMS加速度計已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06
工欲善其事，必先利其器，對MEMS和BLE這對璧人來說那就是需要那就是MEMS需要將自己迷人的曲線展現(xiàn)出來，BLE需要將內(nèi)心的話說出來。
2019-09-11 11:52:38
，還應該考慮MEMS在PCB上的裝配問題。當前微機電系統(tǒng)(MEMS)可以說是最熱門的談論話題之一，但究竟什么是MEMS？它為什么會成為人們關注的焦點？它又主要應用在哪些方面呢？簡單地說，MEMS就是對系統(tǒng)級
2014-08-19 15:50:19
與體積小，產(chǎn)品種類數(shù)以萬計。這種產(chǎn)業(yè)特性讓MEMS傳感器制造企業(yè)陷于尷尬，是用高投入晚回報來全方位切入MEMS各系列產(chǎn)品的開發(fā)？還是主攻某一品種的生產(chǎn)研發(fā)，但難以形成規(guī)模經(jīng)濟和范圍經(jīng)濟？ 2014年9月
2014-08-13 13:49:08
MEMS麥克風制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
中國初創(chuàng)企業(yè)（芯奧微、敏芯），所以樓氏電子的市場份額將繼續(xù)下滑。MEMS麥克風廠商們都在研發(fā)創(chuàng)新的技術和制造解決方案，并及時申請專利來保護自己的發(fā)明。蘋果iPhone6中的MEMS麥克風在一項專利侵權(quán)
2015-05-15 15:17:00
的應用，為新型麥克風技術的發(fā)展創(chuàng)造了機會。新技術應當能改善上述缺點，讓制造商生產(chǎn)出更高質(zhì)量、更加可靠的設備。微機電系統(tǒng)(MEMS)技術是電容麥克風變革的中堅力量。MEMS麥克風利用了過去數(shù)十年來硅技術
2019-11-05 08:00:00
，減小ASIC噪聲對傳感器噪聲的影響。需要注意的是，k值會改變MEMS單元的諧振頻率。在開環(huán)傳感器中，諧振頻率設定了傳感器帶寬的上限，而對閉環(huán)系統(tǒng)來說不是這樣。因此k值可以根據(jù)動態(tài)范圍和噪聲要求進行設置
2018-12-05 15:12:05
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構(gòu)建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
生產(chǎn)基地，消耗了全球二分之一的 MEMS 器件， 吸引了全球的目光。同時中國 MEMS 傳感器產(chǎn)業(yè)的生態(tài)環(huán)境已經(jīng)完善，目前 MEMS 產(chǎn)業(yè)的機遇和挑戰(zhàn)并存，如何抓住機遇攻堅克難從而獲得物聯(lián)網(wǎng)時代的紅利
2020-08-06 06:03:50
什么是壓電MEMS揚聲器？壓電MEMS揚聲器UT-P 2016的指標規(guī)格有哪些？壓電MEMS揚聲器UT-P 2016的應用有哪些？
2021-06-16 08:50:27
、制造、銷售與服務于一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產(chǎn)和銷售光纖連接類產(chǎn)品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分復用器，PLC光分路器，MEMS光開關等核心光無源基礎器件，廣泛應用于光纖到戶、4G/5G移動通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國防通信等領域。`
2020-05-12 17:27:14
做一個基于MEMS的轉(zhuǎn)臺伺服控制系統(tǒng)，原理已經(jīng)初步設計，硬件有人做，缺一個對MEMS了解，熟悉自動控制系統(tǒng)開發(fā)的合作伙伴，有意者回信。dodmail@qq.com注明：MEMS
2014-12-15 18:43:05
——加速度（包括平移運動，如位置和方向）、振動、沖擊、傾斜和旋轉(zhuǎn)，各自的可能性，可以超越當今大量MEMS應用的范圍，極大地擴大應用選項。MEMS加速度計和陀螺儀如何通過五類運動檢測實現(xiàn)各類最終產(chǎn)品的變革？接下來我們舉例來說明~
2019-07-16 06:49:53
如果一款移動電話設計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設計的下一波技術。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 08:16:54
如果一款移動電話設計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設計的下一波技術。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 06:22:58
的第二大應用產(chǎn)品。MEMS麥克風銷售額2015年已經(jīng)突破10億美元，美國IHS全球產(chǎn)業(yè)研究報告表示全球MEMS麥克風市場仍將連續(xù)5年維持18%的年復合成長率（CAGR）。還有一些MEMS傳感器或剛進入市場
2016-12-07 15:43:48
的壓電性，以電反饋來創(chuàng)造特定頻率的共振或振蕩，并由晶體諧振器的大小、切割和電鍍來控制。為了支持電子產(chǎn)業(yè)所需的范圍寬廣的頻率，頻率控制供應供應商必須設計、儲存和制造數(shù)百、甚至數(shù)千種不同的定制晶體諧振器。除了
2014-08-20 15:39:07
本人剛剛接觸
MEMS陀螺，現(xiàn)在需要選擇一款合適的
mems角度傳感器，適合飛行器用的，要求精度，零偏等指標比較好，最好是三軸（帶加速度計更好），兩軸的，單軸的也可以，就是指標要求的比較高，希望大神們能給推薦幾款，謝了！?。?/div>
2015-04-19 17:12:04
易譜科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中國區(qū)的產(chǎn)品銷售與技術支持服務。Radant 是一家專業(yè)設計、生產(chǎn)射頻/微波開關的廠商，目前產(chǎn)品已在美國以及亞洲市場有了廣泛的應用，與無線通信
2014-10-24 11:36:26
泵，并使心臟搭橋移植和人工細胞組織成為現(xiàn)實中可實際使用的治療方式；在可穿戴應用中，MEMS傳感器可實現(xiàn)運動追蹤、心跳速率測量等。汽車電子MEMS傳感器的應用汽車電子產(chǎn)業(yè)被認為是MEMS傳感器的第一波
2016-12-07 15:42:36
電子設備和通信系統(tǒng)設備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結(jié)構(gòu)構(gòu)成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補償，以及制造校準
2020-05-30 13:25:53
組件整合到產(chǎn)品中的過程?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS芯片在消費性電子裝置中的應用日益廣泛，可為終端產(chǎn)品提供影像穩(wěn)定、室內(nèi)導航等等傳統(tǒng)電子組件無法提供的先進功能；但目前各家MEMS傳感器元 件制造商所采用的接口各不相同
2018-11-13 16:11:08
的應用。一般來說，噪聲性能不夠低，診斷性應用要求高頻率范圍具有低噪聲，帶寬超過10 kHz。當前的低噪聲MEMS加速度計，其噪聲密度水平介于10 μg/√Hz和100 μg/√Hz之間，但帶寬只有幾kHz
2019-07-17 06:38:53
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-12 10:23:29
微機電系統(tǒng)(MEMS)是一門新興的交叉學科。MEMS 能夠?qū)崿F(xiàn)各類產(chǎn)品的微型化、集成化、便攜化，在諸多領域有廣泛的應用與產(chǎn)業(yè)前景。本文概括地介紹了MEMS 產(chǎn)業(yè)化的意義，并用SW
2009-12-14 09:39:01
16 “MEMS的應用與機遇”研討會探索MEMS廣闊市場
MEMS是多學科交叉融合的前沿技術，是未來的主導產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢，在消費電子、醫(yī)療電子集汽車電子等
2010-02-22 11:18:02
503 MEMS產(chǎn)業(yè)預強勢發(fā)展
2008年，TSMC宣布開始進入MEMS代工。一石激起千層浪，MEMS頓時成為半導體代工行業(yè)的明星。2009年Q1，SMIC也宣布開始MEMS量產(chǎn)。
2010-03-17 11:19:33479 MEMS交換,MEMS交換原理是什么?
采用微電子機械技術（MEMS）的光交換。這種光交換的結(jié)構(gòu)實質(zhì)上是一個二維易鏡片陣，當進行光交換時
2010-03-20 11:03:48664 MEMS,什么是MEMS
MEMS（Micro Electromechanical System，即微電子機械系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通
2010-03-20 16:08:241030 據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS市場簡報，各國政府要求采用汽車安全傳感器的法規(guī)，2012年仍將是推動全球MEMS產(chǎn)業(yè)增長的重要因素，幫助汽車MEMS營業(yè)收入實現(xiàn)7%的健康增長。
2012-03-29 08:34:23576 Douglas Sparks博士在發(fā)言中介紹，罕王微電子投資建設的中國首條也是唯一一條專注于MEMS的8英寸大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線已經(jīng)成功投入運營。通過此前對Maxim（美信）公司MEMS傳感器業(yè)務
2017-11-16 17:06:463613 我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展也面臨著重大機遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。
2018-02-26 15:10:05972 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要
2018-05-21 09:36:00746 
據(jù)麥姆斯咨詢報道，2017年對MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)來說是個好年景，且這種增長趨勢會持續(xù)下去。
2018-09-10 11:06:434065 射頻微機電系統(tǒng)（RF MEMS）是MEMS技術的重要應用領域之一，也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中的信號處理，是一項將能對現(xiàn)有雷達和通訊中射頻結(jié)構(gòu)產(chǎn)生重大影響的技術。
2019-02-04 16:54:004331 卡西歐早年就以電機馬達、繼電器等機電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一，用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所以，PRO TREK嚴格來說是一塊真正電子表，它的三重感應器的功能也是以電路的形態(tài)集成到SoC芯片里面的。
2019-06-02 10:53:474255 深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075189 
MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機電系統(tǒng)。在半導體集成電路技術之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。 國外技術發(fā)展日趨成熟 上世紀80年代
2020-04-03 15:27:421773 一文了解MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈 一、MEMS簡介MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)利用半導體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機械機構(gòu)、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般
2020-05-11 09:13:121782 敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風。
2020-06-12 09:42:2275919 卡西歐早年就以電機馬達、繼電器等機電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一，用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所以，PRO TREK嚴格來說是一塊真正電子表，它的三重感應器的功能也是以電路的形態(tài)集成到SoC芯片里面的。
2020-06-16 15:29:503628 MEMS是多學科交叉的復雜系統(tǒng)，整個產(chǎn)業(yè)鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應用方案環(huán)節(jié)。
2020-07-14 16:07:056461 MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結(jié)構(gòu)，三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈包括用戶、產(chǎn)品公司和制造體系。由于MEMS傳感器的個性化特點，其產(chǎn)品開發(fā)必須與用戶密切結(jié)合，用戶是其產(chǎn)業(yè)鏈中的一個重要環(huán)節(jié)；產(chǎn)品公司根據(jù)用戶需求，進行MEMS傳感器產(chǎn)品開發(fā)
2020-08-28 11:22:23729 2020年是國家“十三五”規(guī)劃的收官之年?！笆濉逼陂g，作為傳感器領域的重要增長點，MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展成果尤為豐碩，中國已經(jīng)成為全球MEMS市場發(fā)展最快的地區(qū)。
2020-09-04 16:15:00672 MEMS加工和MEMS代工企業(yè)都是隨著MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而發(fā)展起來的，尤其在中國，MEMS加工和MEMS代工是MEMS產(chǎn)業(yè)的特色。國內(nèi)的MEMS的發(fā)展是落后于國外的。尤其當下，國際形勢不穩(wěn)定，MEMS產(chǎn)業(yè)遇到的技術問題還是比較棘手的，會制約中國MEMS發(fā)展速度。
2020-10-13 17:00:231915 白皮書指出，中國作為全球最大的電子產(chǎn)品生產(chǎn)基地，消耗了全球近二分之一的MEMS器件，中國MEMS產(chǎn)業(yè)迅速向全國地區(qū)滲透，已在長三角和京津冀地區(qū)建立完整的產(chǎn)學研布局，MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)模和資源主要集中在東部沿海地區(qū)。
2020-10-30 15:51:03523 MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41237 產(chǎn)業(yè)鏈呈現(xiàn)微笑曲線，制造產(chǎn)業(yè)有望率先實現(xiàn)國別轉(zhuǎn)移,定制化特性推動國內(nèi)細分領域加速國產(chǎn)替代:國內(nèi)整體產(chǎn)業(yè)鏈分散。伴隨國內(nèi)半導體制造工藝逐漸升級，加之本地化服務與成本優(yōu)勢，且MEMS體量較小，更加適合
2022-06-06 11:30:150 MEMS技術日益成熟，并已在在各類電子產(chǎn)品上快速普及，從產(chǎn)值來看，有數(shù)據(jù)顯示目前MEMS傳感器約占整體傳感器市場一半以上產(chǎn)值。MEMS傳感器如此重要，然而大部分人，包括技術人員對MEMS技術還是比較
2022-10-25 10:14:19981 MEMS的產(chǎn)品特點是一款產(chǎn)品一種工藝，技術門檻很高，對于公司來說，優(yōu)勢在于公司的 MEMS 的基因，李剛博士本科到博士主攻MEMS專業(yè)，公司團隊也是國內(nèi)領域發(fā)展的推動者，推動了國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，戰(zhàn)略上來看，在很多工藝技術上有相通性，未來的發(fā)展格局還是多產(chǎn)品線發(fā)展，提高產(chǎn)品的主動性。
2023-03-09 11:38:15636 英唐極光微成立于2022年11月，專注于MEMS微振鏡產(chǎn)品的研發(fā)、制造、生產(chǎn)和銷售，獨立高效推動公司MEMS微振鏡募投項目——“深圳市英唐智能控制股份有限公司MEMS微振鏡研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目”，未來擬引入產(chǎn)業(yè)鏈相關投資者，共同推動MEMS項目進一步的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化推廣。
2023-06-06 14:53:34649 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨的晶圓成本高昂，會延長上市時間，而且只能生產(chǎn)小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文涵蓋了MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的所有與流程與知識，力求用最簡短的內(nèi)容，最全面的視野，幫我們梳理、了解整個MEMS產(chǎn)業(yè)鏈最新的情況， 部分行業(yè)資料 數(shù)據(jù)已整理至2023年10月份最新內(nèi)容。 MEMS傳感器
2023-10-31 08:39:29432 
MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術，在微納米的體積下塑造傳感器的機械結(jié)構(gòu)。本文
2023-11-02 08:37:09777 
和封裝成本。本文討論不同的半導體 MEMS 制造方法及其進展。 半導體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng)，可以控制或感測化學、光學或物理量，例如流體、加速度或輻射。MEMS 設備/傳感器擁有與外界的電氣接口，通常通過 IC 實現(xiàn)，IC 提供必要的智能，使設備能
2023-11-24 09:19:31287 
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