半導(dǎo)體制造企業(yè)凈化廠房清潔度、純凈度的調(diào)查報(bào)告

　　一般來(lái)說(shuō)，污物的量包括種類、形狀、尺寸、數(shù)量、重量等衡量指標(biāo);具體用何種指標(biāo)取決于不同污物對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產(chǎn)品是由零件經(jīng)過(guò)設(shè)備加工裝配而成，所以清潔度分為零件清潔度和產(chǎn)品清潔度。產(chǎn)品的清潔度與零件的清潔度有直接的關(guān)系，同時(shí)還與生產(chǎn)工藝過(guò)程、潔凈車(chē)間環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備及人員有密切關(guān)系。
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　　清潔度：清潔度表示零件或產(chǎn)品在清洗后在其表面上殘留的污物的量。一般來(lái)說(shuō)，污物的量包括種類、形狀、尺寸、數(shù)量、重量等衡量指標(biāo);具體用何種指標(biāo)取決于不同污物對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產(chǎn)品是由零件經(jīng)過(guò)設(shè)備加工裝配而成，所以清潔度分為零件清潔度和產(chǎn)品清潔度。產(chǎn)品的清潔度與零件的清潔度有直接的關(guān)系，同時(shí)還與生產(chǎn)工藝過(guò)程、潔凈車(chē)間環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備及人員有密切關(guān)系。

　　純凈度(潔凈度)潔凈度的理解：潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵(包括微生物)量多少的程度。
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　　生產(chǎn)環(huán)境潔凈：半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很?chē)?yán)，要求恒溫、恒濕，按單位體積中規(guī)定的尺寸灰塵粒子為標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級(jí)。一般分為10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。
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　　檢測(cè)(顆粒測(cè)試儀)
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　　1)浮游粒子潔凈度的檢測(cè)(顆粒測(cè)試儀)

　　采樣：任何潔凈區(qū)的取樣點(diǎn)不少于2個(gè)，除受潔凈區(qū)劃內(nèi)的設(shè)備限制外，取樣點(diǎn)應(yīng)在整個(gè)潔凈區(qū)均勻分布，每個(gè)選定的取樣點(diǎn)應(yīng)至少取樣一次。在一個(gè)區(qū)內(nèi)總共應(yīng)最少取樣5次，每個(gè)取樣點(diǎn)取樣應(yīng)多于一次，而不同的取樣點(diǎn)取樣次可以不同。
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　　2)取樣量度和取樣時(shí)間：取樣量不少于0.00283立方米(合0.1立方英尺)，并且計(jì)算所得取樣量結(jié)果不得四舍五入。取樣時(shí)間可以用取樣量除以取樣速率來(lái)計(jì)算。
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　　潔凈度潔凈室達(dá)到潔凈度要求的必要條件：
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　　一、送風(fēng)潔凈度
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　　要保證送風(fēng)潔凈度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器的性能和安裝。凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器一般采用高效過(guò)濾器或亞高效過(guò)濾器。按我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，高效過(guò)濾器效率分四檔：A類為≥99.9%，B類為≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為(對(duì)≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦稱超高效過(guò)濾器);亞高效過(guò)濾器為(對(duì)≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高，過(guò)濾器的價(jià)格也越貴。100萬(wàn)級(jí)可選用高中效過(guò)濾器;低于1萬(wàn)級(jí)可選用亞高效或A類高效過(guò)濾器;1萬(wàn)~100級(jí)選用B類過(guò)濾器;100~1級(jí)選用C類過(guò)濾器。

　　二、氣流組織

　　1) 垂直單向流：只適用于4m以上高大潔凈室，對(duì)于相對(duì)兩側(cè)格柵的板和相對(duì)兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口的回風(fēng)方式僅適用兩側(cè)凈間距小于6m的潔凈室;單側(cè)墻下部布回風(fēng)口僅適用對(duì)墻間距較小(如≤<2~3m)的潔凈室。
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　　2) 水平單向流：僅適用于同一房間工藝過(guò)程有不同潔凈度要求的潔凈室;送風(fēng)墻局部布高效過(guò)濾器較滿布水平送可減少高效過(guò)濾器用量，節(jié)約初投資，但局部區(qū)域有渦流。
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　　3) 亂流型氣流：高效過(guò)濾器風(fēng)口頂送具有系統(tǒng)簡(jiǎn)單、高效過(guò)濾器后無(wú)管道、潔凈氣流直接送達(dá)工作區(qū)等優(yōu)點(diǎn)，但潔凈氣流擴(kuò)散緩慢，工作區(qū)氣流較均勻;不過(guò)當(dāng)均勻地布置多個(gè)風(fēng)口或采用帶擴(kuò)散板地高效過(guò)濾器風(fēng)口時(shí)，也可使得工作區(qū)氣流較均勻;但在系統(tǒng)非連續(xù)運(yùn)行地情況下，擴(kuò)散板易積塵。
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　　三、送風(fēng)量或風(fēng)速

　　100萬(wàn)級(jí)潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮;當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔凈室高效過(guò)濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過(guò)濾器時(shí)，可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。
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　　四、靜壓差

　　我國(guó)潔凈室建設(shè)初期由于圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風(fēng)量;目前維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風(fēng)量;維持≥10Pa也只要2~3次/h送風(fēng)量。我國(guó)設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定：不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于0.5mmH20(~5Pa)，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于1.0mmH20(~l0Pa)。
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　　例如某公司車(chē)間擴(kuò)散間是1萬(wàn)級(jí)，其它區(qū)域是潔凈度以每立方米(或叫每立方英尺)空氣中的最大允許粒子來(lái)確定。等級(jí)名稱為每立方米空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數(shù)的常用對(duì)數(shù)值(以10為底)，(英制單位是等級(jí)名稱為每立方英尺空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數(shù))。潔凈技術(shù)是關(guān)鍵子系統(tǒng)(包括半導(dǎo)體和平面顯示器工業(yè)中的流體和氣體配給系統(tǒng))的最大供應(yīng)商之一。該公司的技術(shù)副總裁兼技術(shù)總監(jiān)Sowmya Krishnan博士說(shuō)，該公司在全球四分之一的工廠都建了這些系統(tǒng)，每個(gè)系統(tǒng)都擁有幾千平方英尺的潔凈室。潔凈等級(jí)在1級(jí)(ISO 3級(jí))到1000級(jí)(ISO 6級(jí))之間，真正地實(shí)現(xiàn)無(wú)污染、無(wú)粉塵的系統(tǒng)生產(chǎn)。

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