XD302系列超小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡的應(yīng)用及參數(shù)

XD302系列為開(kāi)環(huán)式二維θX、θY運(yùn)動(dòng)的壓電偏轉(zhuǎn)鏡，是專為高動(dòng)態(tài)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，空載諧振頻率高達(dá)15kHz，且體積小巧，適于空間受限的應(yīng)用。

特點(diǎn)：二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；體積緊湊開(kāi)環(huán)，高分辨率；適于高動(dòng)態(tài)應(yīng)用。

應(yīng)用：XD302系列小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡適于激光加工快速掃描、激光光路穩(wěn)定等各種光路調(diào)節(jié)等。

XD302系列二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，具有XD302-D1與XD302-D2兩種型號(hào)，兩種型號(hào)的位移分別為3mrad、1.5mrad，兩個(gè)版本的空載諧振頻率都高達(dá)15kHz。并且，它們的體積非常緊湊，外徑僅15.6mm，高分別為30mm、21mm。

XD302-D1技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：XD302-D1；運(yùn)動(dòng)方向：θx、θy；標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：3或±1.5mrad；開(kāi)環(huán)分辨率：0.03μrad；空載諧振頻率：15 kHz；帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片）：10 kHz；靜電容量：1.6μF/軸；材料：鈦合金、鋼；質(zhì)量：30g；驅(qū)動(dòng)控制：三路驅(qū)動(dòng)（含1路恒壓）；外徑/高：15.6/30mm。

XD302-D2技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：XD302-D2；標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：1.5或±0.75mrad；開(kāi)環(huán)分辨率：0.02μrad；空載諧振頻率：15 kHz；帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片)：10 kHz；靜電容量：0.7μF/軸；材料：鈦合金、鋼；質(zhì)量：20g；驅(qū)動(dòng)控制：三路驅(qū)動(dòng)（含1路恒壓）；外徑/高：15.6/21mm。

偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動(dòng)電壓曲線

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