灰塵傳感器在半導體集成電路生產(chǎn)潔凈室中的應(yīng)用

對于許多生產(chǎn)車間來說，車間環(huán)境和潔凈度都有嚴格的要求，比如半導體集成電路生產(chǎn)就需要在一個超級潔凈的環(huán)境中進行，不同的制造流程對車間潔凈度的要求也不同。為了更直觀準確地體現(xiàn)生產(chǎn)車間的潔凈度，灰塵傳感器不可或缺。

半導體集成電路在生產(chǎn)過程中會接觸到很多污染物，比如無機離子、有機物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，廣義而言，不適當?shù)臏囟?、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。其中，當顆粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時，集成電路產(chǎn)品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導致電路報廢。通常，污染導致的電路產(chǎn)品故障率可能高達60%。

簡言之，集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而缺陷密度與空氣中的粒子數(shù)有關(guān)。因此，隨著集成電路的迅速發(fā)展，不僅對控制空氣中顆粒的大小要求極高，而且對控制顆粒的數(shù)量也要求極高。同時，對超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間項目的化學污染控制也有相關(guān)要求。

鑒于這種情況，就需要使用灰塵傳感器來對半導體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進行監(jiān)測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準。

勒夫邁灰塵傳感器型號推薦：LD15激光灰塵傳感器，產(chǎn)品特性：

◆ 激光米氏MIE球形散射原理結(jié)合勒夫邁空間測量專利實現(xiàn)精準測量

◆ 零錯誤報警率

◆ 實時響應(yīng)并支持連續(xù)采集

◆ 最小分辨粒徑0.1μm

◆ 電控器件壽命≥8年，平均工作無故障時間≥5年

◆ 六面全方位屏蔽結(jié)合軟件抗干擾算法，抗干擾性能更強

◆ 適用范圍廣，無需再進行風道設(shè)計，兼容多協(xié)議輸出

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