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備用石英管清洗
1.清洗石英管的整個過程應(yīng)嚴(yán)格按照擴(kuò)散工序相關(guān)工藝安全標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行。
2.清洗槽內(nèi)如果存有以前用過的氫氨酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產(chǎn)人員調(diào)配）;如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應(yīng)全部排空并洗凈槽體，然后通知生產(chǎn)人員配液；如果槽內(nèi)無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請生產(chǎn)人員配液。
3.清洗人員必須佩戴好防護(hù)眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機(jī)靠近里面的槽內(nèi)，管口朝向制絨間，管尾指向擴(kuò)散爐所在方向。拉下防護(hù)門，將酸槽清洗時間設(shè)定為30min,按下控制面板中'酸槽啟動'按鈕
4.酸槽清洗時間的設(shè)定：
新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應(yīng)以將管內(nèi)壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為準(zhǔn)。清洗用過的管子，有的要1到2天時間。在酸槽未啟動的情況下，應(yīng)每隔2個小時將石英管旋轉(zhuǎn)180°。
5.清洗人員戴好防護(hù)眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內(nèi)的水排空后用水槍沖洗石英管內(nèi)外壁約5分鐘。沖洗石英管內(nèi)壁時不要按下'水槽啟動'按鈕，如果已經(jīng)按下了應(yīng)再按下'水槽結(jié)束'按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內(nèi)壁。沖洗時應(yīng)仔細(xì)認(rèn)真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。2分鐘后，將石英管旋轉(zhuǎn)180°,再用同樣方式?jīng)_洗2分鐘。
6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準(zhǔn)。拉下防護(hù)門，然后將水槽清洗時間設(shè)定為30min,按下'水槽啟動'按鈕。
7.重復(fù)第6步，再清洗一遍。
8.水槽結(jié)束后，將水槽內(nèi)的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內(nèi)/外壁。重點(diǎn)沖洗內(nèi)壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個小通氣管，重點(diǎn)同樣是管內(nèi)壁。沖洗2分鐘后再繼續(xù)從管口方向沖洗。此步清洗時間應(yīng)不少于15min,以管內(nèi)外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標(biāo)志。
9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。
10.將管口和尾管用專用鋁滔密封。
注：1.搬運(yùn)石英管或?qū)⑹⒐芊湃肭逑床?從清洗槽取出時應(yīng)使用專門的塑料套管。
2.石英管應(yīng)輕拿輕放，切勿與清洗槽或其他物品發(fā)生碰撞或接觸。
3.放入槽內(nèi)的位置應(yīng)以管口抵住槽體最右側(cè)底部的限位轉(zhuǎn)子為準(zhǔn)。
4.清洗后如果超過1星期未使用，應(yīng)重新進(jìn)行清洗。
5.搬運(yùn)過程中不能抓尾部的小管，清洗后也不能抓管口。
二、
備用碳化硅漿清洗
1.將硅漿放入生產(chǎn)人員配好的氫氟酸溶液中浸泡，時間以表面沉積的白色五氧化二磷能夠用水槍沖掉為標(biāo)準(zhǔn)。
2.將硅漿放入水槽，用水槍反復(fù)沖洗。要把沉積在硅漿上的五氧化二磷盡可能地沖掉，實在沖不掉的可以用潔凈的石英片刮去。
3.將水槽放水，沒過硅漿。然后將水反復(fù)灌入漿的空心槽內(nèi)再倒出。3分鐘后將漿浸泡在水中30min。
4.排空水槽內(nèi)的水，用氨氣槍吹干硅漿。
5.更換潔凈的手套，墊上潔凈無塵布將硅漿抬出，放在已經(jīng)鋪好無塵布的桌面上。放置時應(yīng)使硅漿扁平一端高于方截面的一端，這樣有利于空心槽內(nèi)殘留的水流出。
6.待空心槽內(nèi)已經(jīng)干燥，硅漿便可以使用。
注：1.清洗碳化硅漿過程可結(jié)合石英管清洗過程進(jìn)行，這樣可以大大節(jié)省清洗時間。
2.硅漿應(yīng)輕拿輕放，不可猛烈撞擊
3.在硅漿被氨氣吹干后，應(yīng)墊上潔凈無塵布，更換新pvc手套后方可觸動/搬運(yùn)。
4.清洗后如果超過1星期未使用，應(yīng)重新進(jìn)行清洗。
卸下硅漿
卸下硅漿及上面的石英絕熱擋圈和石英擋板、石英爐門、不銹鋼爐門系統(tǒng)及硅漿承載舟、尾部氣體連接、尾氣管、源恒溫控制箱；拉出爐體上的三根測溫?zé)犭娕肌?/p>
1.卸下硅漿上的石英絕熱擋圈和石英擋板。
特殊情況的處理：
個別絕熱擋圈會粘在碳化硅漿上難以取下。這時應(yīng)把絕熱擋圈和碳化硅漿一并取下，放入石英管清洗機(jī)內(nèi)，注意絕熱擋圈和硅漿結(jié)合槽部位朝下放置。然后用石英片將硅漿兩端墊起，不要使絕熱擋圈和周圍物品接觸。這些都準(zhǔn)備好后將槽內(nèi)放水，水位沒過硅漿和擋圈結(jié)合槽1cm左右即可。每隔一段時間輕微搬動一下?lián)跞?，直至擋圈能順利從硅漿上脫落為止。此過程應(yīng)注意不要將水灌到擋圈側(cè)面的小圓孔內(nèi)。
2.將硅漿、石英爐門、不銹鋼爐門系統(tǒng)及硅漿承載舟卸下。
1.可將上述部件一并卸下，然后再將硅漿和石英爐門拆下用氨氟酸浸泡清洗；不銹鋼爐門系統(tǒng)用濕抹布擦洗，長期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者鐵絲團(tuán)除去。
2.石英爐門清洗前要把橡膠密封圈取下，石英爐門浸泡時間以上面的黑色碳粘污能夠用水槍沖洗掉為準(zhǔn)。
3.石英爐門從氫氟酸中取出后要用水槍反復(fù)沖洗15min左右。有些難以去除的黑色污染物可用小石英片刮去。
4.沖洗干凈后用氨氣槍將爐門吹干放入凈化櫥內(nèi)備用。
3.拆下爐口的不銹鋼擋板，用自來水沖洗，長期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者坐刀除去。
4.拆下爐管尾部的氣體連接，取出尾氣管和校準(zhǔn)熱電偶（長沙管子沒有）。
注：1.尾氣管非常長，在取出和放入過程中要十分小心，要絕對保證石英尾氣管能夠輕松滑入/滑出。
2.石英尾氣管取下后應(yīng)和螺旋尾氣管一并放入氫氟酸中浸泡，時間應(yīng)不低于兩小時。取出后用純水清洗步驟同大石英管清洗步驟。
3.石英尾氣管在清洗潔凈后安裝時，不能用手直接觸摸，要戴上潔凈PVC手套，墊上新無塵布拿放。
5.拉出爐體管壁上的測溫?zé)犭娕疾?biāo)記位置。
注：測溫?zé)犭娕际遣逶跔t體側(cè)面的，很短，長度只有10厘米左右；而校準(zhǔn)熱電偶是插在石英管尾部的長度大約150厘米的，外部有細(xì)石英管保護(hù)。目前長沙擴(kuò)散爐沒有校準(zhǔn)熱電偶。
6.抬下源溫控制箱，更換源溫控制箱內(nèi)的冷卻水。
注：長沙源溫控制箱為冷卻水外接方式，在取下源溫控制箱之前要先將冷卻水入口與出口用接頭對接密閉，防止冷卻水噴出損壞電氣設(shè)備。
四、
拆卸石英管
抬出石英管。
注：1.抬石英管過程要十分小心，多人配合。千萬不要用蠻勁，不要使石英管觸碰倒周圍部件。
2.北京擴(kuò)散爐爐腔內(nèi)沒有石英棉保護(hù)，拉/放石英管過程中石英管會直接與爐絲摩擦。所以在拉石英管過程中應(yīng)先將石英管拉出約20cm,然后將滑動墊片從管尾的底部插入，以避免管壁底部與爐絲摩擦。
清理爐口
六、
清洗從大石英管尾部
清洗從大石英管尾部拔出的校準(zhǔn)熱電偶外部的石英保護(hù)管、絕熱擋圈和穩(wěn)流板。注：1.清洗校準(zhǔn)熱電偶外部的石英管時，應(yīng)當(dāng)注意不要損壞熱電偶，也不要把熱電偶及其接頭直接浸入水或氫氟酸溶液當(dāng)中。可以把熱電偶的接頭一端架在溶液外面。在沒有把握完好恢復(fù)原樣的情況下，不要把熱電偶從石英管中抽出來。
2.穩(wěn)流板清洗步驟和其他石英物品相同，只是在氫氟酸中浸泡時間為30min。
3.絕熱擋圓不能直接浸泡在氫氟酸中，可將擋圓開小孔的一面朝上，小孔用攝子將PVC手套塞入。然后用無塵布蘸氨氟酸溶液擦拭。待無污物后用水槍沖洗15min,用氣槍吹干后放入凈化柜內(nèi)備用。
七、
安裝石英管
安裝石英管、石英爐門、硅漿、尾氣管、校準(zhǔn)熱電偶、尾部氣體連接、源溫控制箱。并把爐體側(cè)面的三個測溫?zé)犭娕疾迦氲揭越佑|到石英管外壁，緊固。
1.將石英管放回爐膛。
注：此過程操作要點(diǎn)參考第四步。
2.安裝硅漿承載舟、不銹鋼爐門系統(tǒng)、石纏爐門和硅漿。
*注：1.此過程絕對不能用手直接觸碰硅漿，戴手套也不可以。應(yīng)該勤換手套，將硅漿墊上潔凈無塵布才能觸碰、拿放。
2.石英爐門位置應(yīng)調(diào)整到和石英管口正對，在上料過程結(jié)束后爐門和管口密封良好，爐門和管口之間不能有肉眼可見的縫隙或偏斜。和管口之間不能有肉眼可見的縫隙或偏斜。
3.插入尾氣管和校準(zhǔn)熱電偶。
注：進(jìn)行此步操作時應(yīng)更換新PVC手套，墊上潔凈無塵布后取放石英管。
4.連接尾部氣體管路。
5.將爐體側(cè)面的測溫?zé)犭娕驾p輕插入，當(dāng)接觸到石英管外壁時將固定螺絲旋緊。
八、
安裝其他石英配件
1.將洗凈的絕熱擋圈放在硅漿上，使其左端距石英爐門8cm。
2.將石英擋板放到硅漿上，第一塊擋板放在距擋圈15cm處；第二塊擋板和第一塊擋板之間距離為6cm;第三塊擋板的兩個槽大小不同，將其放在硅漿上使兩個槽和硅漿之間的橫向隆隙約為3mm;第四塊擋板放在距離硅漿末端（靠近爐口端）4cm處。
九、
將拆下的石英管
將拆下的石英管和碳化硅漿放入HF內(nèi)浸泡、清洗。清洗過程同備用件清洗。注：1.石英管清洗后放到凈化間的空地上，下面墊上專用的泡沫。并將管口和尾管用專用鋁陷密封。
2.碳化硅漿放到備件柜中，下次使用前仍需進(jìn)行清洗。如果在清洗后一兩天內(nèi)使用，則將其保存在石英管清洗機(jī)內(nèi)，注意不要被弄臟。升溫（200度，400600800各2小時）
1.放入潔凈石英舟后關(guān)閉爐門，將溫度設(shè)定為200°,持續(xù)時間為2小時。2.將溫度設(shè)定為400°,持續(xù)時間為2小時。3.將溫度設(shè)定為600°,持續(xù)時間為2小時。4.將溫度設(shè)定為800°,持續(xù)時間為2小時。5.將溫度設(shè)定為940℃。
十一、
TCA清洗、飽和
1.?清洗和飽和程序見下表：
2.北京擴(kuò)散爐清洗和飽和程序另有詳細(xì)說明。
3.北京擴(kuò)散爐由于氧氣流量最大只能到3slpm,所以將TCA清洗的小氨流量降為0.15slpm,時間延長至四個小時。
4.長沙擴(kuò)散爐目前溫度設(shè)定不能超過950℃，所以在TCA清洗和飽和時把溫度設(shè)定在940℃。
5.TCA清洗之前要用TCA源瓶替換擴(kuò)散源瓶，在清洗結(jié)束后將擴(kuò)散源瓶換回。
十二、
清洗后首次擴(kuò)散，注：首次擴(kuò)散時工藝人員應(yīng)當(dāng)監(jiān)控其方塊電阻、少子壽命和擴(kuò)散爐工作是否正常，待確認(rèn)一切正常之后可交付生產(chǎn)人員正常使用。注：1.石英管更換清洗過程中石英物品和碳化硅漿都是高值易碎品，所以操作過程中需格外小心，不要由于粗心大意而導(dǎo)致不必要的損失。
1.?擴(kuò)散工藝是太陽電池制造過程中對潔凈度要求最高的環(huán)節(jié)。參與擴(kuò)散爐清洗的人員務(wù)必嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作。如果清洗過程中任一環(huán)節(jié)引入了額外污染，都會給電池效率帶來致命影響。
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工商網(wǎng)監(jiān)
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