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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>氮化硅陶瓷在氫氟酸水溶液中的水熱分解行為

氮化硅陶瓷在氫氟酸水溶液中的水熱分解行為

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MACOM:GaN無線基站的應(yīng)用

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鍺對氮化硅中紅外集成光子學(xué)的波導(dǎo)

在中紅外波長下,演示了一種具有大纖芯-包層指數(shù)對比度的鍺基平臺(tái)——氮化硅鍺波導(dǎo)。仿真驗(yàn)證了該結(jié)構(gòu)的可行性。這種結(jié)構(gòu)是通過首先將氮化硅沉積的硅上鍺施主晶片鍵合到硅襯底晶片上,然后通過層轉(zhuǎn)移方法獲得氮化硅上鍺結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)的,該結(jié)構(gòu)可擴(kuò)展到所有晶片尺寸。
2021-12-16 17:37:571072

氫氟酸溶液中多孔硅的形成

引言 我們研究了四種硅在高頻水溶液中的陽極電流-電勢特性。根據(jù)不同電位陽極氧化的樣品的表面條件,電流-電位曲線上通常有三個(gè)區(qū)域:電流隨電位指數(shù)變化區(qū)域的多孔硅形成,恒流區(qū)域的硅的電泳拋光,以及
2021-12-28 16:40:16905

用磷酸揭示氮化硅對二氧化硅的選擇性蝕刻機(jī)理

關(guān)鍵詞:氮化硅,二氧化硅,磷酸,選擇性蝕刻,密度泛函理論,焦磷酸 介紹 信息技術(shù)給我們的現(xiàn)代社會(huì)帶來了巨大的轉(zhuǎn)變。為了提高信息技術(shù)器件的存儲(chǔ)密度,我們?nèi)A林科納使用淺溝槽隔離技術(shù)將半導(dǎo)體制造成無漏
2021-12-28 16:38:085458

用于CVD金剛石沉積的氮化硅表面預(yù)處理報(bào)告

氣相沉積裝置中分別進(jìn)行10min和6h。機(jī)械微缺陷樣品的成核密度(Nd1010cm-2在10min后)、薄膜均勻性和粒徑(6h后低于2um)的結(jié)果優(yōu)越,表明化學(xué)蝕刻(冷熱強(qiáng)酸、熔融堿或四氟化碳等離子體)對氮化硅上良好的CVD金剛石質(zhì)量并不重要。 介紹 氮化硅陶瓷被認(rèn)為是金
2022-01-21 15:02:04652

化硅和碳氮化硅薄膜的沉積方法

本文提供了在襯底表面上沉積碳化硅薄膜的方法。這些方法包括使用氣相碳硅烷前體,并且可以釆用等離子體增強(qiáng)原子層沉積工藝。該方法可以在低于600“C的溫度下進(jìn)行,例如在大約23丁和 大約200V之間
2022-02-15 11:11:143427

一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法

本文提供了用于蝕刻膜的方法和設(shè)備。一個(gè)方面涉及一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法,該方法包括:(a)將氟化氣體引入等離子體發(fā)生器并點(diǎn)燃等離子體以a形成含氟蝕刻溶液;(b)從硅源向等離子體提供硅;以及
2022-04-24 14:58:51979

晶片表面沉積氮化硅顆粒的沉積技術(shù)

評估各種清洗技術(shù)的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過所需的清洗工藝處理晶片。國家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖規(guī)定了從硅片上去除顆粒百分比的標(biāo)準(zhǔn)挑戰(zhàn),該挑戰(zhàn)基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:381242

半導(dǎo)體行業(yè)——加熱工藝解析

硅局部氧化(LOCOS)的隔離效果比整面全區(qū)覆蓋式氧化效果好。LOCOS工藝使用一層很 薄的二氧化硅層200-500A作為襯墊層以緩沖LPCVD氮化硅的強(qiáng)張力。經(jīng)過氮化硅刻蝕、光 刻膠剝除和晶圓清洗后,沒有被氮化硅覆蓋的區(qū)域再生長出一層厚度為3000?5000 A的氧化 層。
2022-08-12 11:18:057914

磷酸的腐蝕特性及緩蝕劑 氮化硅濕法蝕刻中熱磷酸的蝕刻率

在半導(dǎo)體濕法蝕刻中, 熱磷酸廣泛地用于對氮化硅的去除工藝, 實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)溫下磷酸對氮化硅蝕刻率很難控制。 從熱磷酸在氮化硅濕法蝕刻中的蝕刻原理出發(fā), 我們?nèi)A林科納分析了影響蝕刻率的各個(gè)因素, 并通過
2022-08-30 16:41:592993

使用稀釋的HCN水溶液的碳化硅清洗方法

的蝕刻去除了金屬污染物。用氰化氫HCN水溶液清洗被金屬污染的碳化硅,然后進(jìn)行RCA清洗,反之亦然,可以完全去除它們。結(jié)果表明,強(qiáng)吸附金屬和粗糙碳化硅表面底部區(qū)域的金屬不能分別用RCA法和HCN法去除。由于
2022-09-08 17:25:461451

了解一下氮化硅陶瓷基板究竟有哪些特點(diǎn)?

材料。而氮化硅陶瓷板在各方面比較均衡,也是綜合性能最好的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。因此,Si3N4氮化硅在電力電子器件陶瓷基板制造領(lǐng)域具有很強(qiáng)的競爭力。 過去,電路基板是由分立元件或集成電路與分立元件組合而成的平面材料,以滿足整
2022-10-07 10:22:001544

氮化硅陶瓷基板有利于提高功率器件的可靠性及高導(dǎo)熱性

。但是,作為絕緣體安裝在陶瓷基板上的半導(dǎo)體元件是散熱還是冷卻,提高作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)的氮化硅陶瓷基板的熱傳導(dǎo)性是主要問題。
2022-10-13 16:29:58668

氮化硅陶瓷基板的5大應(yīng)用你知道嗎?

如今高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板因其優(yōu)異的機(jī)械性能和高導(dǎo)熱性而成為下一代大功率電子器件不可缺少的元件,適用于復(fù)雜和極端環(huán)境中的應(yīng)用。在這里,我們概述了制備高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷的最新進(jìn)展。
2022-11-10 10:01:332010

中國第3代半導(dǎo)體半導(dǎo)體理想封裝材料——高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板突破“卡脖子”難題

2022年9月,威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司生產(chǎn)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)規(guī)模,高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板各項(xiàng)理化指標(biāo)到了國際上行業(yè)領(lǐng)軍的質(zhì)量水平,突破了西方先進(jìn)國家在高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的技術(shù)保護(hù)和應(yīng)用產(chǎn)品對我國“卡脖子”難題。
2022-11-11 16:36:574149

高導(dǎo)熱率氮化硅散熱基板材料的研究進(jìn)展

針對越來越明顯的大功率電子元器件的散熱問題,主要綜述了目前氮化硅陶瓷作為散熱基板材料的研究進(jìn)展。對影響氮化硅陶瓷熱導(dǎo)率的因素、制備高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷的方法、燒結(jié)助劑的選擇、以及氮化硅陶瓷機(jī)械性能和介電性能等方面的最新研究進(jìn)展作了詳細(xì)論述
2022-12-06 09:42:40820

如何提高氮化硅的實(shí)際熱導(dǎo)率實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的問題解決

綜合上述研究可發(fā)現(xiàn),雖然燒結(jié)方式不一樣,但都可以制備出性能優(yōu)異的氮化硅陶瓷。在實(shí)現(xiàn)氮化硅陶瓷大規(guī)模生產(chǎn)時(shí),需要考慮成本、操作難易程度和生產(chǎn)周期等因素,因此找到一種快速、簡便、低成本的燒結(jié)工藝是關(guān)鍵。
2022-12-06 10:30:392407

氮化硅氮化陶瓷基板究竟有何區(qū)別?

等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于電子器件封裝。 由于具有優(yōu)異的硬度、機(jī)械強(qiáng)度和散熱性,氮化硅陶瓷氮化陶瓷基板都可以制成用于電子封裝的陶瓷基板,同時(shí)它們也具有不同的性能和優(yōu)勢。以下就是區(qū)別。 1、散熱差異 氮化硅陶瓷基板的導(dǎo)熱
2022-12-09 17:18:241219

石英坩堝和石墨坩堝升級換代 可重復(fù)利用的高熱導(dǎo)氮化硅陶瓷坩堝5項(xiàng)優(yōu)勢助力我國單晶硅行業(yè)提質(zhì)增效

石英坩堝和石墨坩堝升級換代? 可重復(fù)利用的高熱導(dǎo)氮化硅陶瓷坩堝5項(xiàng)優(yōu)勢助力我國單晶硅行業(yè)提質(zhì)增效 石英坩堝在單晶硅行業(yè)的應(yīng)用 目前,國內(nèi)拉制半導(dǎo)體單晶硅和拉制光伏單晶硅常用的是石英坩堝配合石墨坩堝
2022-12-14 16:27:301260

氮化硅提供從研發(fā)進(jìn)展到量產(chǎn)的靈活性

現(xiàn)今,氮化硅(SiN)為光子集成提供了更多的途徑,包括新的200mm、高產(chǎn)量、汽車級CMOS生產(chǎn)線。在過去的幾年里,SiN緊隨確立已久的硅光子學(xué)之后,該材料平臺(tái)已經(jīng)成熟,并在光子集成電路(PIC)市場上,為那些需要非常低傳播損耗、可見波長或高激光功率的應(yīng)用提供了新的機(jī)會(huì)。
2023-02-15 16:37:09878

關(guān)于碳化硅晶須的制備

。 以往關(guān)于碳化硅晶須的研究較多。碳化硅晶須的強(qiáng)度和模量確實(shí)優(yōu)于氮化硅晶須,但Si3N4晶須比SiC具有更優(yōu)良的耐高溫、高 強(qiáng)度、高模量、低膨脹和良好的化學(xué)穩(wěn)定性,被認(rèn)為是增強(qiáng)金屬和陶瓷材料的理想增強(qiáng)組元。
2023-02-21 09:13:470

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車性能優(yōu)勢

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、輕量化、充電速度、電池成本5項(xiàng)性能優(yōu)勢
2023-03-15 17:22:551016

集成光學(xué)新賽道上的新“跨越”

氮化硅材料的引入,為人們提供了一個(gè)解決方案。氮化硅不僅具有多項(xiàng)優(yōu)異的光學(xué)特性,而且氮化硅片上集成光波導(dǎo)的加工也能完美兼容當(dāng)下標(biāo)準(zhǔn)的CMOS硅芯片制造工藝。目前,世界上僅少數(shù)幾個(gè)實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)了0.01 dB每厘米甚至更低的光傳輸損耗。
2023-03-22 09:49:29506

高效率低能耗干法超細(xì)研磨與分散壓電陶瓷等硬質(zhì)礦物材料技術(shù)升級

氮化硅研磨環(huán)由于研磨環(huán)存在內(nèi)外氣壓差,可以在密閉的真空或者很濃密的場景中快速的上下運(yùn)動(dòng),氮化硅磨介圈在大的球磨機(jī)里不僅起到研磨粉碎的作用,更重要的是眾多的氮化硅磨介圈環(huán)會(huì)發(fā)生共振現(xiàn)象,氮化硅
2023-03-31 11:40:35597

氮化硅陶瓷基板的市場優(yōu)勢和未來前景

氮化硅基板是一種新型的材料,具有高功率密度、高轉(zhuǎn)換效率、高溫性能和高速度等特點(diǎn)。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應(yīng)用前景和市場需求,正因?yàn)槿绱怂估ìF(xiàn)正全力研發(fā)氮化硅作為基材的線路板。
2023-04-11 12:02:401364

誰才是最有發(fā)展前途的封裝材料呢?

目前,常用電子封裝陶瓷基片材料包括氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化鈹(BeO)、碳化硅(SiC)等。那么,誰才是最有發(fā)展前途的封裝材料呢?
2023-04-13 10:44:04801

多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究

近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級工程師趙中堅(jiān)沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過添加一定比例氧化物燒結(jié)助劑,經(jīng)冷等靜壓成型和氣氛保護(hù)無壓燒結(jié)工藝燒結(jié)制備出了能充分滿足高性能導(dǎo)彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461274

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊,國產(chǎn)新能源汽車開啟性能狂飆模式

新能源電動(dòng)汽車爆發(fā)式增長的勢頭不可阻擋,氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,對提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項(xiàng)性能尤為重要。
2023-05-02 09:28:451169

國瓷材料:DPC陶瓷基板國產(chǎn)化突破

氮化鋁為大功率半導(dǎo)體優(yōu)選基板材料。氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、 氮化鋁(AlN)和氮化硅(Si3N4)4 種材料是已經(jīng)投入生產(chǎn)應(yīng)用的主要陶瓷基板 材料,其中氧化鋁技術(shù)成熟度最高、綜合性能好、性價(jià)比高,是功率器件最為常用 的陶瓷基板,市占率達(dá) 80%以上。
2023-05-31 15:58:35876

高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板研究現(xiàn)狀

的要求,傳統(tǒng)的陶瓷基板如AlN、Al2O3、BeO等的缺點(diǎn)也日益突出,如較低的理論熱導(dǎo)率和較差的力學(xué)性能等,嚴(yán)重阻礙了其發(fā)展。相比于傳統(tǒng)陶瓷基板材料,氮化硅陶瓷由于
2022-12-05 10:57:121383

陶瓷基板制備工藝研究進(jìn)展

目前常用的高導(dǎo)熱陶瓷粉體原料有氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)和氧化鈹(BeO)等。隨著國家大力發(fā)展綠色環(huán)保方向,由于氧化鈹有毒性逐漸開始退出歷史的舞臺(tái)。
2023-06-27 15:03:56543

氮化硅陶瓷在四大領(lǐng)域的研究及應(yīng)用進(jìn)展

氮化硅陶瓷軸承球與鋼質(zhì)球相比具有突出的優(yōu)點(diǎn):密度低、耐高溫、自潤滑、耐腐蝕。疲勞壽命破壞方式與鋼質(zhì)球相同。陶瓷球作為高速旋轉(zhuǎn)體產(chǎn)生離心應(yīng)力,氮化硅的低密度降低了高速旋轉(zhuǎn)體外圈上的離心應(yīng)力。
2023-07-05 10:37:061561

氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)工藝 氮化鋁和氮化硅的性能差異

氮化鋁具有較高的熱導(dǎo)性,比氮化硅高得多。這使得氮化鋁在高溫環(huán)境中可以更有效地傳導(dǎo)熱量。
2023-07-06 15:41:231061

氮化硅是半導(dǎo)體材料嗎 氮化硅的性能及用途

氮化硅是一種半導(dǎo)體材料。氮化硅具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛應(yīng)用于高溫、高功率和高頻率電子器件中。它具有較寬的能隙(大約3.2電子伏特),并可通過摻雜來調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性能,因此被視為一種重要的半導(dǎo)體材料。
2023-07-06 15:44:433823

氫氟酸在晶圓中的作用是什么

硅在暴露在空氣中時(shí)會(huì)形成一層氧化硅(SiO2)層。在許多制程步驟中,如在熱處理過程之前,需要移除這層氧化硅氫氟酸是唯一能夠有效清洗硅片表面氧化硅的化學(xué)品。氫氟酸能夠與SiO2發(fā)生反應(yīng),生成揮發(fā)性的氟硅酸,從而清除硅片表面的氧化物層。
2023-08-02 10:40:25543

陶瓷散熱基板投資圖譜

陶瓷散熱基板中的“陶瓷”,并非我們通常認(rèn)知中的陶瓷,屬于電子陶瓷材料,主要用于陶瓷封裝殼體和陶瓷基板,主要成分包括氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)、氧化鈹(BeO)等。與傳統(tǒng)的陶瓷有個(gè)共性,主要化學(xué)成分都是硅、鋁、氧三種元素。
2023-08-23 15:07:30638

沉積氮化硅薄膜的重要制備工藝——PECVD鍍膜

PECVD作為太陽能電池生產(chǎn)中的一種工藝,對其性能的提升起著關(guān)鍵的作用。PECVD可以將氮化硅薄膜沉積在太陽能電池片的表面,從而有效提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換率。但為了清晰客觀的檢測沉積后太陽能電池
2023-09-27 08:35:491772

東風(fēng)首批自主碳化硅功率模塊下線

這是納米碳化硅模塊燒結(jié)工藝,使用銅鍵合技術(shù),高性能氮化硅陶瓷襯板和定制化pin-fin散熱銅基板,熱電阻現(xiàn)有工程相比改善了10%以上,工作溫度可達(dá)175igbt模塊相比損失大幅減少40%以上,車輛行駛距離5 - 8%提高了。
2023-11-02 11:19:18342

國科光芯實(shí)現(xiàn)傳輸損耗-0.1dB/cm(1550 nm波長)級別氮化硅硅光芯片的量產(chǎn)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,經(jīng)過兩年、十余次的設(shè)計(jì)和工藝迭代,國科光芯(海寧)科技股份有限公司(簡稱:國科光芯)在國內(nèi)首個(gè)8英寸低損耗氮化硅硅光量產(chǎn)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了傳輸損耗-0.1 dB/cm(1550 nm波長
2023-11-17 09:04:54654

化硅氮化鎵哪個(gè)好

化硅氮化鎵的區(qū)別? 碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)是兩種常見的寬禁帶半導(dǎo)體材料,在電子、光電和功率電子等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景。雖然它們都是寬禁帶半導(dǎo)體材料,但是碳化硅氮化鎵在物理性質(zhì)
2023-12-08 11:28:51740

京瓷利用SN氮化硅材料研發(fā)高性能FTIR光源

京瓷株式會(huì)社(以下簡稱京瓷)成功研發(fā)用于FTIR※的氮化硅(Silicon Nitride,以下簡稱SN)高性能光源。
2023-12-15 09:18:06234

氮化硅為什么能夠在芯片中扮演重要的地位?

在芯片制造中,有一種材料扮演著至關(guān)重要的角色,那就是氮化硅(SiNx)。
2023-12-20 18:16:09511

氮化鎵功率器件結(jié)構(gòu)和原理

晶體管)結(jié)構(gòu)。GaN HEMT由以下主要部分組成: 襯底:氮化鎵功率器件的襯底采用高熱導(dǎo)率的材料,如氮化硅(Si3N4),以提高器件的熱擴(kuò)散率和散熱能力。 二維電子氣層:氮化鎵襯底上生長一層氮化鎵,形成二維電子氣層。GaN材料的禁帶寬度大,由于
2024-01-09 18:06:41667

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