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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>關于濕法蝕刻工藝對銅及其合金蝕刻劑的評述

關于濕法蝕刻工藝對銅及其合金蝕刻劑的評述

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2023-11-08 13:59:52146

等離子體基銅蝕刻工藝及可靠性

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2023-11-08 09:46:21188

PCB表面鍍金工藝有這么多講究!

。 特別說明 1、目前鍍厚金采用金鈷合金,此工藝一般用于PCB插頭或者接觸焊盤開關; 2、對于全板鍍厚金,需要評估厚金位置是否有SMT或BGA的表面貼裝焊盤,如果有,需要和客戶說明存在可焊性不良的隱患
2023-10-27 11:25:48

PCB表面鍍金工藝,還有這么多講究!

設計; ⑥ 采用手撕引線或者修引線工藝制作。 ● 特別說明 1、目前鍍厚金采用金鈷合金,此工藝一般用于PCB插頭或者接觸焊盤開關; 2、對于全板鍍厚金,需要評估厚金位置是否有SMT或BGA的表面貼裝焊盤,如果有
2023-10-24 18:49:18

無氫氟蝕刻劑中鈦選擇性濕蝕刻銅的研究

眾所周知,微尺度和納米尺度的地形結構對真核細胞和原核細胞的行為都有顯著的影響。例如,具有特殊尺寸的納米線、納米柱、納米管已被證明具有抗菌性能。開發(fā)這種結構提供了一種無藥物的方法來對抗感染,這被認為是一種替代釋放抗菌劑的常見抗菌表面的替代品。
2023-10-23 09:43:16136

等離子刻蝕工藝技術基本介紹

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2023-10-18 09:53:19788

印制電路噴淋蝕刻精細線路流體力學模型分析

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2023-10-17 15:15:35164

PCB印制電路中影響蝕刻液特性的因素

蝕刻液的化學成分的組成:蝕刻液的化學組分不同,其蝕刻速率就不相同,蝕刻系數(shù)也不同。如普遍使用的酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常是&;堿性氯化銅蝕刻液系數(shù)可達3.5-4。而正處在開發(fā)階段的以硝酸為主的蝕刻液可以達到幾乎沒有側蝕問題,蝕刻后的導線側壁接近垂直。
2023-10-16 15:04:35553

東京電子3D NAND蝕刻新技術或挑戰(zhàn)泛林市場領導地位

據(jù)悉,東京電子新技術的目標是能夠長時間儲存數(shù)據(jù)的3d nand閃存。該公司開發(fā)了一種新的通道孔蝕刻方法,該方法是將垂直孔快速深插入存儲單元。3D nand的存儲器容量可以通過將存儲器單元層垂直堆積來增加,如果層數(shù)增加,就需要性能更高的裝置。
2023-10-16 14:39:49368

基于Cl2/BCl3電感偶聯(lián)等離子體的氮化鎵干蝕特性

氮化鎵(GaN)具有六方纖鋅礦結構,直接帶隙約為3.4eV,目前已成為實現(xiàn)藍光發(fā)光二極管(led)的主導材料。由于GaN的高化學穩(wěn)定性,在室溫下用濕法化學蝕刻蝕刻或圖案化GaN是非常困難的。與濕法
2023-10-12 14:11:32244

關于氮化鎵的干蝕刻綜述

GaN及相關合金可用于制造藍色/綠色/紫外線發(fā)射器以及高溫、高功率電子器件。由于 III 族氮化物的濕法化學蝕刻結果有限,因此人們投入了大量精力來開發(fā)干法蝕刻工藝。干法蝕刻開發(fā)一開始集中于臺面結構,其中需要高蝕刻速率、各向異性輪廓、光滑側壁和不同材料的同等蝕刻。
2023-10-07 15:43:56319

降低半導體金屬線電阻的沉積和蝕刻技術

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2023-09-22 09:57:23281

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2023-06-20 17:28:31258

半導體八大工藝之刻蝕工藝:干法刻蝕

在干法蝕刻中,氣體受高頻(主要為 13.56 MHz 或 2.45 GHz)激發(fā)。在 1 到 100 Pa 的壓力下,其平均自由程為幾毫米到幾厘米。
2023-06-20 09:49:163689

半導體八大工藝之刻蝕工藝-干法刻蝕

離子束蝕刻 (Ion beam etch) 是一種物理干法蝕刻工藝。由此,氬離子以約1至3keV的離子束輻射到表面上。由于離子的能量,它們會撞擊表面的材料。晶圓垂直或傾斜入離子束,蝕刻過程是絕對
2023-06-20 09:48:563989

上海伯東大口徑射頻離子源成功應用于12英寸IBE 離子束蝕刻

均勻性(1 σ)達到 離子束刻蝕屬于干法刻蝕, 其核心部件為離子源. 作為蝕刻機的核心部件,?KRi? 射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的寬束離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時間更長, 滿足
2023-06-15 14:58:47665

利用氧化和“轉化-蝕刻”機制對富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導體工業(yè)開發(fā)先進的工藝技術。近年來,原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經(jīng)成為小型化的重要加工技術。ALD是一種沉積技術,它基于連續(xù)的、自限性的表面反應。ALE是一種蝕刻技術,允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續(xù)反應。
2023-06-15 11:05:05526

遠程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預計將在互補金屬氧化物半導體技術中被采用。3D MOS架構為蝕刻應用帶來了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

電鍍對印制PCB電路板的重要性有哪些?

:線路電鍍和全板鍍銅,現(xiàn)敘述如下。 1、線路電鍍 該工藝中只在設計有電路圖形和通孔的地方接受層的生成和蝕刻金屬電鍍。在線路電鍍過程中,線路和焊墊每一側增加的寬度與電鍍表面增加的厚度大體相當,因此
2023-06-09 14:19:07

重點闡述濕法刻蝕

刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕。
2023-06-08 10:52:353320

一文了解DPC陶瓷基板工藝流程

直接鍍銅陶瓷基板(Direct Plating Copper, DPC)是在陶瓷薄膜工藝加工基礎上發(fā)展起來的陶瓷電路加工工藝。以氮化鋁/氧化鋁陶瓷作為線路的基板,采用濺鍍工藝于基板表面復合金屬層,并以電鍍和光刻工藝形成電路。
2023-05-31 10:32:021587

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優(yōu)化內(nèi)部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發(fā)現(xiàn)了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數(shù)據(jù),提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現(xiàn)出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業(yè)人員。因此,英思特開發(fā)了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩(wěn)定,蝕刻率就會變化,因而影響產(chǎn)品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

熱環(huán)境中結晶硅的蝕刻工藝研究

微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是將機械元件和電子電路集成在一個共同的基板上,通過使用微量制造技術來實現(xiàn)尺寸從小于一微米到幾微米的高性能器件。由于現(xiàn)有的表面加工技術,目前大多數(shù)的MEMS器件都是基于硅的。
2023-05-19 10:19:26352

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484917

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(tǒng)(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

了解pcb設計鋪的意義及優(yōu)缺點

的。 PCB鋪的優(yōu)點與缺點 優(yōu)點 一、對于EMC(電磁兼容性)要求,大面積的地或電源需鋪,會起到屏蔽作用,有些特殊地,如PGND(保護地)起到防護作用。 二、對于PCB工藝制造要求,一般為了保證電鍍
2023-05-12 10:56:32

簡述晶圓減薄的幾種方法

減薄晶片有四種主要方法,(1)機械研磨,(2)化學機械平面化,(3)濕法蝕刻(4)等離子體干法化學蝕刻(ADP DCE)。四種晶片減薄技術由兩組組成:研磨和蝕刻。為了研磨晶片,將砂輪和水或化學漿液結合起來與晶片反應并使之變薄,而蝕刻則使用化學物質來使基板變薄。
2023-05-09 10:20:06979

PCB主板不同顏色代表什么意思?

其實不同顏色的PCB,它們的制造的材料、制造工序都是一樣的,包括敷銅層的位置也是一樣的,經(jīng)過蝕刻工藝后就在PCB上留下了最終的布線,例如下圖這塊剛經(jīng)過蝕刻工藝的PCB,敷銅走線就是原本的銅色,而PCB基板略顯微黃色。
2023-05-09 10:02:431699

PCB工藝設計要考慮的基本問題

的載流量和允許的工作溫度,可參考IPC-D-275第3.5條中的經(jīng)驗曲線確定。   c)焊盤表面處理   注:一般有以下幾種:   1)一般采用噴錫鉛合金HASL工藝,錫層表面應該平整無露。只要確保6
2023-04-25 16:52:12

《炬豐科技-半導體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

PCB制造過程分步指南

了一層薄薄的。從外層光致抗蝕臺的面板的暴露部分接受電鍍銅。在最初的鍍銅浴之后,通常會在面板上鍍錫,這樣可以清除板上預定要清除的所有。錫保護板的一部分,以便在下一個蝕刻階段保持被覆蓋。蝕刻去除
2023-04-21 15:55:18

印制電路板PCB的制作及檢驗

導線及符號等。蝕刻有許多種類,常用的蝕刻溶液有酸性氯化銅、堿性氯化銅、三氯化鐵等。  三氯化鐵(FeCl3)在電子學、印制電路、照相制版、金屬精飾等加工和生產(chǎn)中,被廣泛用作、銅合金、Ni-Fe合金
2023-04-20 15:25:28

工業(yè)泵在半導體濕法腐蝕清洗設備中的應用

【摘要】 在半導體濕法工藝中,后道清洗因使用有機藥液而與前道有著明顯區(qū)別。本文主要將以濕法清洗后道工藝幾種常用藥液及設備進行對比研究,論述不同藥液與機臺的清洗原理,清洗特點與清洗局限性。【關鍵詞
2023-04-20 11:45:00823

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業(yè)中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

關于PCB工藝制作的詳細流程介紹

將孔和線路銅層加鍍到一定的厚度(20-25um),以滿足最終PCB板成品銅厚的要求。并將板面沒有用的銅蝕刻掉,露出有用的線路圖形。
2023-04-13 15:18:491681

干法蝕刻濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

從頭到尾的半導體技術

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

濕式半導體工藝中的案例研究

半導體行業(yè)的許多工藝步驟都會排放有害廢氣。對于使用非?;顫姷臍怏w的化學氣相沉積或干法蝕刻,所謂的靠近源頭的廢氣使用點處理是常見的做法。相比之下,對于濕法化學工藝,使用中央濕式洗滌器處理廢氣是一種公認
2023-04-06 09:26:48408

多晶硅蝕刻工藝講解

了革命性的變化,這種布局完全不同于90nm節(jié)點。從45nm節(jié)點后,雙重圖形化技術已經(jīng)應用在柵圖形化工藝中。隨著技術節(jié)點的繼續(xù)縮小,MOSFET柵極關鍵尺寸CD繼續(xù)縮小遇到了困難,IC設計人員開始減少柵極之間的間距。
2023-04-03 09:39:402452

氮化鋁單晶的濕法化學蝕刻

清洗過程在半導體制造過程中,在技術上和經(jīng)濟上都起著重要的作用。超薄晶片表面必須實現(xiàn)無顆粒、無金屬雜質、無有機、無水分、無天然氧化物、無表面微粗糙度、無充電、無氫。硅片表面的主要容器可分為顆粒、金屬雜質和有機物三類。
2023-03-31 10:56:19314

低溫蝕刻重新出現(xiàn)_

經(jīng)過多年的研發(fā),隨著該行業(yè)在內(nèi)存和邏輯方面面臨新的挑戰(zhàn),一種稱為低溫蝕刻的技術正在重新出現(xiàn),成為一種可能的生產(chǎn)選擇。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

新技術使蝕刻半導體更容易

研究表明,半導體的物理特性會根據(jù)其結構而變化,因此半導體晶圓在組裝成芯片之前被蝕刻成可調整其電氣和光學特性以及連接性的結構。
2023-03-28 09:58:34251

板內(nèi)盤中孔設計狂飆,細密間距線路中招

鍍銅覆蓋孔上樹脂層的做法,簡稱POFV工藝.,也有叫做VIPPO。盤中孔的工藝流程:先鉆盤中孔→鍍孔→塞樹脂→固化→打磨→減→去溢膠→鉆其它非盤中孔(通常是除指盤中孔以外的所有元件孔和工具孔)→鍍非
2023-03-27 14:33:01

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

pcb線路板入門基礎培訓

一. 雙面板工藝流程:覆銅板(CCL)下料(Cut)→鉆孔(Drilling)→沉(PTH)→全板鍍銅(Panel Plating)→圖形轉移(Pattern)油墨或干膜→圖形電鍍(Pattern
2023-03-24 11:24:22

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