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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>三維硅MEMS結(jié)構(gòu)的灰階微加工 光刻和深反應(yīng)離子蝕刻

三維硅MEMS結(jié)構(gòu)的灰階微加工 光刻和深反應(yīng)離子蝕刻

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2023-07-20 13:55:55

AMEYA360分析蔡司用于亞10納米級(jí)應(yīng)用的離子束顯微鏡

蔡司用于亞10納米級(jí)應(yīng)用的離子束顯微鏡ORION NanoFab,集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION
2023-07-19 15:45:07244

光刻掩膜版測(cè)溫儀,光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)測(cè)溫儀

GK-1000光刻掩膜版測(cè)溫儀,光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)測(cè)溫儀光刻機(jī)是一種用于納米加工的設(shè)備,主要用于制造集成電路、光電子器件、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等微細(xì)結(jié)構(gòu)。光刻機(jī)是一種光學(xué)投影技術(shù),通過(guò)將光線通過(guò)
2023-07-07 11:46:07

數(shù)字鄉(xiāng)村三維可視化,智能化農(nóng)業(yè)管理系統(tǒng)

三維
阿梨是蘋(píng)果發(fā)布于 2023-07-06 09:51:34

166. Amesim三維機(jī)械系統(tǒng)庫(kù) #硬聲創(chuàng)作季

三維
充八萬(wàn)發(fā)布于 2023-07-06 03:58:34

激光跟蹤三維測(cè)量?jī)x

激光跟蹤三維測(cè)量?jī)x在大尺度空間測(cè)量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高精度和重要性,是同時(shí)具有μm級(jí)別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。 在大尺寸精密測(cè)量領(lǐng)域,激光跟蹤儀具有測(cè)量范圍大、精度高、功能多
2023-06-29 14:26:42

鋁等離子蝕刻率的限制

都使用Cl基蝕刻化學(xué)物質(zhì)。當(dāng)在等離子體放電中分解時(shí),CCl為還原物質(zhì)提供了來(lái)源,并用于去除表面氧化物和Cl,與下面的Al反應(yīng)。
2023-06-27 13:24:11318

鍺、硅、SiNx薄膜的各向同性等離子蝕刻

CMOS和MEMS制造技術(shù),允許相對(duì)于其他薄膜選擇性地去除薄膜,在器件集成中一直具有很高的實(shí)用性。這種化學(xué)性質(zhì)非常有用,但是當(dāng)存在其他材料并且也已知在HF中蝕刻時(shí),這就成了問(wèn)題。由于器件的靜摩擦、緩慢的蝕刻速率以及橫向或分層膜的蝕刻速率降低,濕法化學(xué)也會(huì)有問(wèn)題。
2023-06-26 13:32:441053

三維掃描儀 移動(dòng)橋架坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測(cè),也可以對(duì)軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測(cè)量。 中圖儀器MarsClassic系列三維掃描儀移動(dòng)橋架坐標(biāo)測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是開(kāi)
2023-06-25 10:54:11

冰壺運(yùn)動(dòng)數(shù)字孿生,物理引擎碰撞三維可視化

三維
阿梨是蘋(píng)果發(fā)布于 2023-06-25 10:23:29

電池微結(jié)構(gòu)三維成像方法簡(jiǎn)介

在數(shù)字化的大背景下,電池結(jié)構(gòu)的數(shù)字化建模和管控成為研究熱點(diǎn)。過(guò)去二十年中,層析成像工具的快速發(fā)展為研究人員提供了常規(guī)表征電池電極微結(jié)構(gòu)的工具。鋰離子電池材料的電化學(xué)和機(jī)械性能很大程度上取決于其三維微觀結(jié)構(gòu)特性,了解隨機(jī)微觀結(jié)構(gòu)的定量影響對(duì)于預(yù)測(cè)材料特性和指導(dǎo)合成過(guò)程以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)至關(guān)重要。
2023-06-21 15:29:33500

工業(yè)測(cè)量?jī)x器三維激光跟蹤儀

激光跟蹤儀是建立在激光和自動(dòng)控制技術(shù)基礎(chǔ)上的一種高精度三維測(cè)量系統(tǒng),主要用于大尺寸空間坐標(biāo)測(cè)量領(lǐng)域。它集中了激光干涉測(cè)距、角度測(cè)量等先進(jìn)技術(shù),基于球坐標(biāo)法測(cè)量原理,通過(guò)測(cè)角、測(cè)距實(shí)現(xiàn)三維坐標(biāo)的精密
2023-06-20 10:16:46

三維坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

Mars系列三維坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是移動(dòng)橋式的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。采用中圖儀器自主研發(fā)的設(shè)計(jì)與測(cè)量系統(tǒng),提供了測(cè)量機(jī)的高精度性能,測(cè)量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm,結(jié)合多樣化
2023-06-20 10:12:21

上海伯東大口徑射頻離子源成功應(yīng)用于12英寸IBE 離子蝕刻機(jī)

上海伯東美國(guó)?KRi?考夫曼公司大口徑射頻離子源?RFICP 380, RFICP 220 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸?IBE 離子蝕刻機(jī), 實(shí)現(xiàn) 300mm 和 200mm 硅片蝕刻, 刻蝕
2023-06-15 14:58:47665

利用氧化和“轉(zhuǎn)化-蝕刻”機(jī)制對(duì)富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導(dǎo)體工業(yè)開(kāi)發(fā)先進(jìn)的工藝技術(shù)。近年來(lái),原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經(jīng)成為小型化的重要加工技術(shù)。ALD是一種沉積技術(shù),它基于連續(xù)的、自限性的表面反應(yīng)。ALE是一種蝕刻技術(shù),允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續(xù)反應(yīng)
2023-06-15 11:05:05526

光學(xué)白光干涉儀

顯重要。通過(guò)對(duì)三維形貌的測(cè)量可以比較全面地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的
2023-06-14 14:09:27

遠(yuǎn)程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設(shè)計(jì)(如全圍柵(GAA)場(chǎng)電子晶體管(FET ))預(yù)計(jì)將在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)中被采用。3D MOS架構(gòu)為蝕刻應(yīng)用帶來(lái)了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設(shè)備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設(shè)備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

VT6000共聚焦顯微鏡 超高清三維形貌成像系統(tǒng)

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中,共聚焦顯微鏡主要測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比,它具有更高
2023-05-25 11:27:02

高速硅濕式各向異性蝕刻技術(shù)在批量微加工中的應(yīng)用

蝕刻是微結(jié)構(gòu)制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進(jìn)一步細(xì)分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的硅體微加工和太陽(yáng)能電池應(yīng)用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

激光三維跟蹤測(cè)量?jī)x

中圖儀器GTS激光三維跟蹤測(cè)量?jī)x集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體,主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測(cè)量。功能強(qiáng)的主機(jī)測(cè)量系統(tǒng)1.集成化控制
2023-05-16 16:34:32

二次元三維影像測(cè)量?jī)x

。 中圖儀器Novator二次元三維影像測(cè)量?jī)x將傳統(tǒng)影像測(cè)量與激光測(cè)量掃描技術(shù)相結(jié)合,還支持頻閃照明和飛拍功能,可進(jìn)行高速測(cè)量,大幅提升測(cè)量效率;具有可獨(dú)立升降和
2023-05-15 11:29:26

全面解讀光刻膠工藝制造流程

光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板。
2023-05-11 16:10:492775

EUV光刻的無(wú)名英雄

晶圓廠通常使用光刻膠來(lái)圖案化抗蝕刻硬掩模,然后依靠硬掩模來(lái)保護(hù)晶圓。但是,如果光刻膠太薄,它可能會(huì)在第一個(gè)轉(zhuǎn)移步驟完成之前被侵蝕掉。隨著光刻膠厚度的減小,底層厚度也應(yīng)該減小。
2023-04-27 16:25:00689

三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡

以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡,是用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。 中圖儀器VT6000系列三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描模塊
2023-04-20 10:52:25

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應(yīng)離子蝕刻

反應(yīng)離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導(dǎo)體工業(yè)中使用的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

喜訊!華秋榮獲創(chuàng)想三維2023年度優(yōu)秀質(zhì)量獎(jiǎng)一獎(jiǎng)項(xiàng)

4月10日,創(chuàng)想三維2023年度戰(zhàn)略供應(yīng)商大會(huì)在惠州成功舉辦,高可靠多層板制造商華秋出席了本次活動(dòng)并取得了《優(yōu)秀質(zhì)量獎(jiǎng)》一獎(jiǎng)項(xiàng)。大會(huì)現(xiàn)場(chǎng),創(chuàng)想三維董事長(zhǎng)陳春指出公司的持續(xù)發(fā)展與供應(yīng)鏈高質(zhì)量的交付
2023-04-14 11:29:30

高可靠多層板制造服務(wù)再獲認(rèn)可!華秋榮獲創(chuàng)想三維優(yōu)秀質(zhì)量獎(jiǎng)

4月10日,創(chuàng)想三維2023年度戰(zhàn)略供應(yīng)商大會(huì)在惠州成功舉辦,高可靠多層板制造商華秋出席了本次活動(dòng)并取得了《優(yōu)秀質(zhì)量獎(jiǎng)》一獎(jiǎng)項(xiàng)。大會(huì)現(xiàn)場(chǎng),創(chuàng)想三維董事長(zhǎng)陳春指出公司的持續(xù)發(fā)展與供應(yīng)鏈高質(zhì)量的交付
2023-04-14 11:27:20

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應(yīng)用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭(zhēng)論是微電子制造商在項(xiàng)目開(kāi)始時(shí)必須解決的首要問(wèn)題之一。必須考慮許多因素來(lái)決定應(yīng)在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來(lái)制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

三維激光掃描儀安全使用,小設(shè)備大用途

三維激光掃描儀
泰來(lái)三維發(fā)布于 2023-04-11 16:24:29

三維掃描儀安全使用,小設(shè)備大用途,摔不得 技能必備,

三維掃描儀
泰來(lái)三維發(fā)布于 2023-03-31 11:47:27

尋Labview 三維云圖程序編寫(xiě)

因項(xiàng)目需求,需外包Labview 三維云圖程序編寫(xiě),做過(guò)類似項(xiàng)目的請(qǐng)回復(fù),我聯(lián)系您。
2023-03-31 09:36:47

廣州彩色三維掃描水果芒果表面積及體積檢測(cè)技術(shù)服務(wù)-CASAIM

三維掃描
中科院廣州電子發(fā)布于 2023-03-29 14:21:59

PCB加工蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過(guò)程是一個(gè)比較復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程,本文就對(duì)其最后的一步--蝕刻進(jìn)行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

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