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制造企業(yè)逐步走在智能制造的路上,對產品質量的要求也逐步在提高。從IQC到FQC,OQC,產品的外觀尺寸缺陷等品質檢測也越發(fā)重要。這就不得不說白光干涉測量技術,將其應用到3D表面輪廓儀中,可進行納米級的測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米的工件粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
SuperViewW1白光干涉儀特點
1、復合型掃描算法
結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點的復合型掃描重建算法,能夠適配從超
光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品;
2、雙重防撞保護
1)軟件ZSTOP防撞保護,設置后即以當前位置為位移下限位,不再下移且伴有報警聲;
2)Z向防撞傳感器,當鏡頭碰到樣件表面,鏡頭即回縮,進入緊急停止狀態(tài),不再下移;
3、地面振動&聲波振動隔振防護
氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計,確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾,正常工作;
4、環(huán)境噪聲評價
提供環(huán)境噪聲評價模塊,能夠定量檢測出當前環(huán)境噪聲對儀器的干擾,對儀器的調試和使用提供數據依據;
5、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
中圖儀器研發(fā)生產的光學3d輪廓儀檢測儀對產品進行高品質監(jiān)控時不需要取下產品或停止生產,而且采用的是非接觸式光學測量,在獲得實時數據的同時,不會對產品造成任何損傷,從而有效節(jié)約了生產成本,提高了生產效率,并且在線檢測,沒有滯后性,從而減少不合格品,對表面缺陷檢測亦如此。
產品參數
產品型號:SuperView W1系列
產品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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上傳時間:2024-05-28 10:04
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